Microscopia de Força Atômica de Sonda Ativa com Matrizes Cantilever Paralelas Quattro para Inspeção de Amostras em Grande Escala de Alto Rendimento

A microscopia de varredura baseada em novas sondas de sistemas micro eletromecânicos é chamada de cantilevers ativos. Os cantilevers com acionamento e sensoriamento integrados oferecem várias vantagens em relação aos cantilevers passivos, que dependem da excitação piezoelétrica e da medição da deflexão do feixe óptico. O desenvolvimento mais recente neste campo é a realização de matrizes de cantilevers ativos para imagens SPM paralelas de alto rendimento.

Os conjuntos de cantilevers ativos usam sensores piezoresistivos integrados para oferecer sensibilidade comparável aos métodos de leitura óptica sem limites de difração para permitir sondas AFM menores, mais macias e mais compactas. Os resultados dessa técnica abriram caminho para a operação e construção de microscópios de força atômica de alto rendimento usando eletrônica multicanal de alta velocidade. Os avanços nesta técnica podem facilitar a operação mais rápida e confiável de sistemas de cantiléver ativos massivamente paralelos no futuro.