Rasterkraftmikroskopie mit aktiven Sonden mit quattroparallelen Cantilever-Arrays für die Inspektion von Großproben mit hohem Durchsatz

Rastersondenmikroskopie, die auf neuartigen mikroelektromechanischen Systemsonden basiert, werden als aktive Cantilever bezeichnet. Cantilever mit integrierter Betätigung und Sensorik bieten mehrere Vorteile gegenüber passiven Cantilevern, die auf piezoelektrischer Anregung und optischer Strahlablenkungsmessung basieren. Die neueste Entwicklung auf diesem Gebiet ist die Realisierung von Arrays von aktiven Cantilevern für die parallele SPM-Bildgebung mit hohem Durchsatz.

Die Arrays der aktiven Cantilever verwenden integrierte piezoresistive Sensoren, um eine Empfindlichkeit zu bieten, die mit optischen Auslesemethoden ohne Beugungsgrenzen vergleichbar ist, um kleinere, weichere und kompaktere AFM-Sonden zu ermöglichen. Die Ergebnisse dieser Technik ebneten den Weg für den Betrieb und den Bau von Hochdurchsatz-Rasterkraftmikroskopen mit Hochgeschwindigkeits-Mehrkanalelektronik. Die Fortschritte in dieser Technik können in Zukunft den schnelleren und zuverlässigeren Betrieb von massiv parallelen aktiven Cantilever-Systemen ermöglichen.