出典:ファイサル・アラムギル、ジョージア工科大学材料工学部、アトランタ、GA
固体材料の顕微鏡構造のイメージング、および画像化された構造成分の解析は、物質的な造図として知られています。定性情報は、例えば、材料に空隙率があるか否か、粒の大きさや形状分布がどのようなものか、あるいは微細構造に異方性があるかどうかが直接観察できる。マトリアリティシリーズの第2部では、統計的手法により、これらの微細構造特性を定量的に測定し、解析を2次元断面から3次元構造に変換することができます。材料サンプル。
このプレゼンテーションでは、光学顕微鏡用の固体材料サンプルの作成に関する技術と手順の概要を説明します。物質的な検査は、光と電子ベースの顕微鏡で行うことができますが、このプレゼンテーションでは、光学顕微鏡用のサンプル調製に焦点を当てます。ただし、光物質撮影用に調製されたサンプルは、電子顕微鏡のスキャンにも最小限の追加ステップで使用できることに留意すべきです。
真の構造を代表するサンプルセクションを取得する最も信頼性の高い方法は、体系的なサンプル調製方法に従うことです。サンプルの調製は、その機械的特性にいくらかカスタマイズする必要がありますが、ここで概説する手順は、一般的にうまく動作し、特に鋼と同様の硬度を持つ材料のためによく動作するはずです。
光学顕微鏡によるマテリアグラフィーのサンプル調製には、まず3次元固体試料を取り付ける。物質学的サンプルは、通常、熱硬化性材料を使用して取り付けられます(ここでは、ベークライト、フェノール熱硬化性樹脂を使用します)。 あるいは、エポキシを使用することもできる。
次に、試料を切断して、試料の代表的な断面表面を露出する。カットは顕微鏡で観察される断面を定義するようにサンプル上に置かれる。微細構造が等方性であると予想されるサンプルでは、カットの向きは任意にすることができます。ただし、非等方性サンプルでは、露出断面の平面法線を定義する切断ベクトルの方向は、サンプル自体のまたは平面内の特定の方向に従って設定する必要があります。
粗研磨、粉砕と呼ばれることもあり、その後の試料のより細かい研磨は、マイクロ構造的特徴を観察し、そこからこの統計分析が可能なサンプルの代表的な断面を明らかにする微細構造を行うことができます。 研磨工程の間に続く原則の1つは、各ステップでの研磨の成功は、前のステップからサンプルに残された傷の完全な除去によって測定することができるということです。研磨剤が顕微鏡の分解能よりも小さくなるまで工程を継続できます。 マイクロ構造をより良く露出させるためには、エッチング工程が通常必要である。このステップは、典型的には、エッチングされた表面をきれいにすすぐる前に、数十秒間希釈酸に試料の研磨面を浸漬してからなる。粒界は穀物よりも原子欠損が多いため、穀物よりも速い速度で酸溶液によってエッチングされます。その結果、光学顕微鏡で粒間のコントラストを高める境界にわずかな凹部が作成されます。
トロイダルインダクタコアは、例えば、電磁干渉を調節する電子アプリケーションで一般的に使用される。これらのコアは、鉄粉を圧縮し、焼結することによって経済的に製造されています。圧縮は軸方向に沿って発生し、コアの全体的な密度を増加させながら、粉末粒子と穀物を変形させる可能性があります。コア材料の多孔率および粒径は、インダクタの電磁特性に影響を及ぼし、またインダクタコアに使用される処理経路を示す。
三次元材料の空隙率と粒径に関する定量的情報は、光学顕微鏡画像における観察された特徴の統計的分析を含む立体学的手法を応用して、慎重に選択した2 次元セクション。
ステップ | メディア | グリット | 時刻 (分) | 速度(回転数) | コメント |
1 | Sic | 600 | 2 分* | 120 | ステップ 2 の前に90° 回転 |
2 | Sic | 1200 | 2 分* | 120 | ステップ 3 の前に 90° 回転 |
3 | アル2O3 | 1μm | 2 分* | 120 | ステップ 4 の前に90° 回転 |
4 | アル2O3 | 0.05メートル | 2 分* | 120 | *または前のステップからの傷が削除されるまで |
表 1.サンプルの研磨スケジュール。
図1の一連の画像、特にエッチングサンプル(図1e)から、このサンプルが作られた粉末プレスプロセスが、非等方性粒度で非円形の細長い形状を持つ粒子をレンダリングしたことを観察することができます。この処理を通じて材料に保持される空隙率のかなりの量があります。マテリアグラフィーシリーズの第2部では、粒状異方性と気孔率の統計を調べます。
図1:試料をa)600グリット、b)1200グリットで研磨し、続いて研磨紙にc)1μm、d)0.01μmアルミナ懸濁液を研磨布に加える。最後に、e)エッチングを20秒間、ニタル溶液が空隙率を明らかにした。
顕微鏡検査用サンプルの断面を調製するための標準的な方法です。ここで詳述する手順は、光顕微鏡で最良の結果を得るために最適化されていますが、一部の手順は走査型電子顕微鏡には不要であり、透過型電子顕微鏡には不十分です。後者の 2 つの場合は、別々のサンプル準備手順に従う必要があります。
ここで説明する物質図調製物は、2次元情報を用いた三次元材料の内部微細構造解析に向けた必要な第一歩である。例えば、膜材料がガスの梨の可能性に影響を与えるので、膜材料がいかに多孔性であるかを知ることに興味があるかもしれません。2D断面のボイド構造を解析すると、実際の3D構造の空隙率が何であるかを強く示します(サンプリング統計量が高い場合)。別のアプリケーションは、例えば、石油パイプライン合金中の多結晶粒の向きを分析するであろう。配向分布関数(ODF)は、パイプの軸および横方向の機械的強度に直接関連することができるので、サンプル調製手順はそのような分析の重要な構成要素です。
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