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Fabrication du capteur d’Image Flexible basé sur latérale Mikael Phototransistors

Nous présentons une méthode détaillée pour fabriquer un tableau déformable du phototransistor Mikael latéral pour les capteurs d’images courbes. Le tableau de phototransistor avec une forme de mailles ouvertes, qui se compose des îles de silicium mince et interconnexions métalliques extensibles, apporte souplesse et extensibilité. L’analyseur de paramètre caractérise les propriétés électriques du phototransistor fabriqué.

Chapitres dans cette vidéo

0:05

Title

0:26

Si Doping and Isolation

2:12

Sacrificial Oxide Layer Deposition

2:59

Deposition of the First Layer of Polyimide and Performing the First Metallization

4:43

Deposition of the Second Layer of Polyimide and Performing the Second Metallization

5:12

Encapsulating the Sample with Polyimide and Opening via Holes and Mesh Structure

5:56

Etching the Sacrificial Layer and Transferring the Sample to a Flexible Substrate

7:39

Results: Current-Voltage Characteristics for the Phototransistor Array in the Curved State

8:45

Conclusion

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