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Nanyang Technological University

Utilisation de rayonnement synchrotron Microtomographie d'enquêter sur Multi-échelle Forfaits microélectroniques en trois dimensions

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10.0K Views

•

08:46 min

•

April 13th, 2016

DOI :

10.3791/53683-v

April 13th, 2016

•

Holly D. Carlton¹, John W. Elmer¹, Yan Li², Mario Pacheco², Deepak Goyal², Dilworth Y. Parkinson³, Alastair A. MacDowell³

¹Materials Engineering Division, Lawrence Livermore National Laboratory, ²Assembly Test and Technology Development Failure Analysis Labs, Intel Corporation, ³Advanced Light Source, Lawrence Berkeley National Laboratory

Résumé

Pour cette étude, le rayonnement synchrotron micro-tomographie, une technique d'imagerie non destructive en trois dimensions, est utilisé pour étudier un ensemble de micro-électronique avec une aire en coupe transversale de 16 x 16 mm. En raison de flux élevé et la luminosité du synchrotron l'échantillon a été imagé en seulement 3 min avec une résolution spatiale de 8,7 um.

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imagerie par rayons X

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Chapitres dans cette vidéo

0:05

Title

1:28

Steps for Performing Tomography Scans at Beamline 8.3.2 (ALS, LBNL)

4:02

Setting up the Scan Parameters Using the Data Acquisition Computer

4:54

Results: Multi-scale Features Imaged in an Entire Micro-electronic Package Using Synchrotron Radiation Microtomography

6:11

Conclusion

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