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Herstellung und Betrieb von Acoustofluidic Devices Unterstützung Bulk-Acoustic-Standing Waves für sheathless Fokussierung der Partikel

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10:14 min

March 6th, 2016

DOI :

10.3791/53861-v

March 6th, 2016


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Technik

Kapitel in diesem Video

0:05

Title

0:57

Photolithography

2:13

Deep Reactive Ion Etching

2:55

Piranha Cleaning

3:46

Anodic Bonding

5:41

Finalizing the Acoustofluidic Device

6:44

Operating the Acoustofluidic Device

8:01

Results: Acoustofluidic Devices Support Bulk Acoustic Standing Waves

9:03

Conclusion

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