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原子发射光谱法(AES)是一种功能强大的分析技术,这在与等离子体源一起使用时特别有效,并且能够在特征发射谱线中产生丰富的光谱。其中,由于电感耦合等离子体(ICP)在最佳实验条件下具有较高的稳定性、较低的噪音、较低的背景和最小的干扰等特征,因此电感耦合等离子体能够产生出色的定量分析数据。然而,较新的气动微波源正在成为一个可能比传统的电感耦合等离子体源更具成本效益的替代品。其中,原子发射光谱法主要用于分析液体样品。然而,等离子体发生器也能够对固态样品进行直接分析,这可以通过各种工序来得以实现,例如电热蒸发法、激光烧蚀和火花烧蚀以及辉光放电汽化。

理论上,所有的金属元素都可以通过等离子体发射光谱法来进行测定。由于操作条件具有挑战性,而且碱金属的主要光谱线位于近红外区域,因此这种方法将会对碱金属的有效性产生限制。这可能会导致许多主要用于紫外线辐射的等离子体光谱仪出现检测问题。因此,等离子体发射光谱法通常只能测定出大约 60 种元素。大多数元素中都有几条适合识别和量化的、明显的谱线。因此,通常可以确定出一条适合于测定任何元素的谱线。谱线的选择取决于对样本中可能存在哪些其他元素的评估。在选择感兴趣的元素的谱线时,必须避免谱线与其他元素的潜在重叠。

等离子体源通常会产生线性校准曲线,但由于存在自吸收、错误的背景校正、电离和检测系统的非线性响应等因素,则有可能会出现偏离线性的情况。在条件允许的情况下,最好能够使用外部标准来对其进行定量分析。然而,许多参数会对发射强度产生显著影响,其中包括激发源的温度和原子化效率。在源参数的变化难以控制的情况下,则能够使用内部标准来对其进行定量分析。

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