Method Article
Kanalları polydimethylsiloxane mikrosıvısal aygıt içinde gömülü dikdörtgen olmayan bölümlerin imalatı için çeşitli yöntemler kullanılabilir. Bunların çoğu multistep üretim ve geniş hizalama içerir. Bu yazıda, bir tek adımlı yaklaşım farklı geometrik kesitleri mikrosıvısal kanal imalatı için polydimethylsiloxane sıralı ıslak gravür tarafından bildirilmektedir.
POLYDİMETHYLSİLOXANE (PDMS) malzemeler yumuşak litografi yineleme döküm teknikleri kullanarak mikrosıvısal cihazları imal etmek önemli ölçüde istismar değildir. Özelleştirilmiş kanal düzeni tasarımlar belirli işlevleri ve çok sayıda biyomedikal ve kimyasal uygulamalar (Örneğin, hücre kültürü, biosensing, kimyasal sentez ve sıvı işleme) mikrosıvısal cihazların entegre performans için gereklidir. Fotorezist katmanlarla tarafından fotolitografi ana kalıpları desenli silikon gofret kullanarak yaklaşımlar kalıplama doğası nedeniyle, mikrosıvısal kanalları genellikle düzenli kesitleri aynı yükseklikleri ile dikdörtgen şekiller var. Genellikle, birden çok yüksekten veya farklı geometrik bölümleri ile kanalları belirli işlevleri sahip olmak ve çeşitli mikrosıvısal uygulamaları gerçekleştirmek için tasarlanmıştır (Örneğin, hydrophoresis kullanılan parçacıklar sıralama ve sürekli akışları için «««ayıran) kan hücreleri6,7,8,9. Bu nedenle, büyük bir çaba birkaç fotorezist katmanları ve farklı PDMS Meclisi kullanarak fotolitografi yaprak ince gibi kanalları çok adımlı yaklaşım yoluyla çeşitli bölümleri ile inşa içinde yapılmıştır. Yine de, böyle çok adımlı yaklaşımlar genellikle sıkıcı yordamlar ve geniş araçları içerir. Ayrıca, uydurma cihazlar sürekli olarak gerçekleştirebilir değil ve sonuçlandı deneysel veriler öngörülemeyen olabilir. Burada, bir tek adımlı yaklaşım etchant planlı tek katmanlı düzenleri kanallarına tanıttı basit fabrikasyon mikrosıvısal kanal PDMS sıralı ıslak gravür süreçlerle farklı geometrik kesitleri ile geliştirilmiştir PDMS malzemelerinde gömülü. PDMS mikrosıvısal kanalları ile farklı geometriler üretimi için varolan yöntemleri ile karşılaştırıldığında, geliştirilmiş tek adımlı yaklaşım kanalları dikdörtgen olmayan bölümleri veya çeşitli yükseklikleri ile imal etmek işlemini önemli ölçüde basitleştirmek. Sonuç olarak, teknik yenilikçi mikrosıvısal sistemleri ilerlemesi için bir imalat çözümü sağlayan karmaşık mikrosıvısal kanalları, inşa bir yoludur.
Mikrosıvısal teknikleri çizilmiş dikkat son on yıl içinde nedeniyle çeşitli kimyasal ve Biyomedikal araştırma ve uygulamaları için kendi içsel avantajları var. Günümüzde, polimerler, seramik ve silikon malzemeleri gibi mikrosıvısal çip oluşturmak için birkaç malzeme kullanımı seçenekleri kullanılabilir. Mikrosıvısal malzemeleri arasında bizim bilgimize için PDMS çeşitli Havacilik araştırma ve uygulamalar parçacıkları ile onun optik ve biyolojik uyumlulukları dahil olmak üzere, uygun malzeme özellikleri nedeniyle en yaygın olanıdır, sıvı ve son derece küçük canlıların1,2,3,4,5. Ayrıca, PDMS malzemelerin yüzey kimyasal ve yapısı mekanik özelliklerini Mikroelektromekanik ve mechanobiological çalışmaları böyle mikrosıvısal polimer tabanlı cihazlar10, uygulayarak kolaylaştırmak için ayarlanabilir 11,12. Mikrosıvısal aygıtları tasarlanmış kanal desenleri ile üretim ile ilgili olarak, yumuşak litografi yineleme döküm yöntemleri genellikle oluşur kendi karşılık gelen ana kalıpları kullanarak mikrosıvısal kanalları oluşturmak için uygulanır fotolitografi desenli fotorezist katmanları ve silikon gofret yüzeylerde12. Silikon gofret desenli fotorezist katmanları ile kullanma yaklaşımlar kalıplama doğası nedeniyle, mikrosıvısal kanalları genellikle düzenli kesitleri aynı yükseklikleri ile dikdörtgen şekiller var.
Son zamanlarda, araştırmacılar, örneğin baş Biyomedikal araştırmalar, sıralama parçacıklar ve hydrophoresis kullanarak, kan plazması ayıran ve beyaz kan hücreleri mikrosıvısal çip kanal uygulayarak zenginleştirici hücreleri önemli bir ilerleme yaptık farklı yükseklikte veya geometrik bölümleri6,7,8,9. Bu sıralama ve havacilik biyomedikal uygulamalar için fonksiyonları ayıran kanalları farklı geometrik bölümleri ile özelleştirme tarafından gerçekleştirilmektedir. Çeşitli çalışmalarda mikrosıvısal kanalları imalatında kesitleri farklı geometri özellikleri ile için çeşitli yükseklikte veya dikdörtgen olmayan kesit belirli yüzey desenleri ile ana kalıpları imalatı tarafından tahsis edilmiştir. Kalıp imalat bu çalışmalar çok adım fotolitografi, fotorezist yeniden akıtma ve gri ölçekli litografi13,14,15bu tür teknikler içerir. Kaçınılmaz olarak, varolan teknikleri ince hazırlanmış photomasks veya hassas bir uyum içinde karşılık gelen fabrikasyon mikrosıvısal kanal karmaşıklık düzeyi önemli ölçüde artırabilir çok adımlı üretim süreçleri içerir. Şimdiye kadar birkaç denemeden tek adım üretim süreçleri mikrosıvısal kanallar çeşitli bölümler için yapılmış ancak ilgili teknikleri son derece belirli kesitsel kanal16şekillere kısıtlanır.
Son iki yılda PDMS imalatı için kalıplama yaklaşımlar yanı sıra mikrosıvısal kanalları çeşitli bölümleri, PDMS kanalları ile geometrik şekil desenlendirme tekniklerini aşındırma ile seçim çeşitli imalatı olmuştur mikrosıvısal uygulamaları. Örneğin, PDMS ıslak gravür çok katmanlı PDMS Havacilik Sulandırılan organ düzeyinde akciğer fonksiyonları17ile Pnömatik Aktuatörlü hücre kültür cihazın oluşturmak için bağ birlikte istismar edilir. Aşındırma tekniği PDMS ıslak PDMS döküm silindirik microwells 3D PDMS microneedle diziler18imalatı için bilgisayar destekli kontrol sistemleri tarafından işlenmiş üzerinde birlikte istihdam edilmektedir. PDMS kuru gravür PDMS microstructures mikro elektromekanik aktüatörler19,20parça yapmak için kullanılır. Gözenekli PDMS Membranlar ile tasarlanmış gözenek düzenleri de kuru gravür işlemleri21' den imal edilmiştir. Hem ıslak hem de kuru gravür teknikleri PDMS filmleri belirlenen geometrik şekiller22ile biçimlenme içine entegre edilebilir.
Ancak, PDMS şekillendirme için oyma teknikleri yapıları şekiller sık mikrosıvısal imalat iç onların sınırlamalar nedeniyle uygulanmadı karmaşık bölümüyle kanal. Laminer akımları çeşitli bölümlerin mikrosıvısal kanalları oluşturmak için kimyasal kullanan PDMS ıslak gravür teknikleri kurduk, ilk olarak, sonraki kanal bölümü oluşumu temel özellikleri nedeniyle hala sınırlı iken izotropik kimyasal aşındırma23işler. Gibi görünüyor bile kanal bölümü geometrileri teknikleri20aşındırma PDMS kuru kullanarak Havacilik uydurma içinde kontrol etmek için makul boş alanı Ayrıca, gerekli gravür zaman genellikle olmak (saat açısından) çok uzun olsa da, mikrosıvısal çip üretimi için pratik. Buna ek olarak, gravür seçicilik PDMS malzeme ve karşılık gelen maskeleme arasında içinde fotorezist katmanları genel olarak düşük olabilir, ve sonuçlandı kazınmış denizin kanallar için böylece, kabul edilebilir20değildir.
Bu yazıda, farklı geometrik kesitleri kanallarının mikrosıvısal PDMS sıralı ıslak gravür işlemler (bundan sonra SWEP anılacaktır) tarafından imal etmek bir tek adımlı yaklaşım geliştirmek. SWEP PDMS mikrosıvısal aygıtı tek katmanlı kanalları ile başlar. Kanallar çeşitli düzen tasarımlarıyla mikrosıvısal kanalları çeşitli farklı geometrik bölümleri ile imalatı sıralı oyma işlemleri elde edilebilir. Sıralı gravür PDMS malzemelerinde gömülü planlı tek katmanlı düzenlerden belirli kanalları içine tanıştırmak için bir etchant yeterlidir. Geleneksel PDMS imalat işlemleri için karşılaştırıldığında, SWEP gerektiren sadece mikrosıvısal kanalının bir dikdörtgen olmayan bölümler imal etmek bir adım veya çeşitli yükseklikleri. Önerilen SWEP mikrosıvısal kanalları çeşitli bölümleri boyunca söz konusu yöntemleri süreçlerinde önemli ölçüde basitleştirebilir akış yönü ile imalatı, doğrudan ve basit bir yol sağlar.
1. tek katmanlı kanal düzenleri aygıtlarla mikrosıvısal imalatı
Not: Bu yazıda, yumuşak litografi Yöntem3 kanalları çeşitli bölümleri ile üretimi nasıl göstermek için PDMS malzemelerden yapılmış mikrosıvısal cihazları imalatı için kabul edilir.
2. tek adımlı yaklaşım PDMS mikrosıvısal kanalları farklı bölümlerin imalatı için
Not: PDMS karakterize etmek için büyütme oranı ıslak, tek katmanlı ve düz kanal Dikdörtgen şekiller bir mikrosıvısal cihazla deneysel belirli ayarlara karşılık gelen özel gravür oranları belirlemek için yararlanılması için önerilmektedir.
3. bir mikrosıvısal Mikser tasarımı
Not: Bir tasarım 2 farklı sıvılar verimli bir şekilde karıştırıp mikrosıvısal Mikser mikrosıvısal kanalları farklı bölümleri ile avantajlı bir uygulama göstermek için burada gösterilmiştir.
Son zamanlarda, çok sayıda çalışmalar mikrosıvısal cihazlar fabrikasyon farklı bölümleri kanal üzerinde13,14,15 ve teknikleri17 aşındırma PDMS kalıplama litografi yineleme tarafından yapılmıştır , 18 , 19 , 20 , 21 , 22. ancak, hala mevcut şekiller biçimlenme önemli sınırlamaları ve zorluklar ile üretim işlemleri16,23. Bu yazıda, bir tek adımlı yaklaşım PDMS mikrosıvısal kanalları SWEP tarafından farklı geometrik bölümlerin imalatı için önerilmiştir.
Şekil 1 şematik ve ilişkili boru sistemi deneysel kurulumu görüntüler mikrosıvısal PDMS kanalının bir SWEP göre farklı bölümler oluşturmak için tek kat kanal düzenleri gösterir. NMP Şekil 1a ve 1bgösterildiği gibi SWEP deneyler için kullanılan arabellek olur. SWEP deneylerde gravür ürünleri kanallarda laminer akımları gravür işlemler tarafından istismar korumak için ortadan kaldırmak için uygun bir çözücü seçmek önemlidir. Sonuç olarak, NMP arabellek etkili ürünler SWEP22,23ve çözülmeye solvent seçilir.
Kazınmış kanalları da mikrosıvısal cihazın içine kanal bölümleri evrimi göstermek için mavi gıda boyaları ile doldurulur. Etchant alıcılar tasarlanmış tek katmanlı kanal deseninin düzenleyerek, mikrosıvısal kanal bölümleri farklı türde çeşitli geometri özellikleri ile SWEP Şekil 3' te gösterildiği gibi elde edilebilir.
Aşındırma, tek katmanlı bir mikrosıvısal cihazla PDMS karakterize etmek için ıslak ve Dikdörtgen şekiller düz kanal yararlanan bir genel olarak tanımlamak için PDMS için belirli bir ses karıştırma oranı ile karışık TBAF/NMP etchants büyütme oranı malzemeler. Tarafından toplanan veri noktaları ile ilgili belirli gravür süreleri, Genel kanal genişliği varyasyonu doğrusal regresyon gravür oranı etchant çözüm 2.714 µm / dk (Şekil 2) deneysel olarak tahmin edilmektedir.
Tek tip kesitleri ile mikrosıvısal kanallarında sıvıları çoğunlukla rasgele kişiler madde parçacıkları arasında bastırmak kanal duvarlar boyunca akışı; Bu nedenle, sıvı karıştırma difüzyon tarafından tahrik genellikle özellikle uzun yollardan elde edilir. Sonuç olarak, farklı geometrik bölümleri mikrosıvısal kanalları sıvı yanal sıvı hareketleri yardımıyla kanal bölümleri üzerinde karıştırma kolaylaştırmak olması beklenmektedir. Bu çalışmada, bir tasarım nerede iki farklı sıvılar verimli bir şekilde karıştırılır mikrosıvısal Mikser (Şekil 4) burada farklı bölümleri ile avantajlı uygulanması bir mikrosıvısal kanalları sunmak için gösterilmiştir. Şekil 5 , 0 h, 0,25 h, 0.40 h, 0.55 h, 0.70 h, 1.00 h ve 2.00 h aşamalarında sırayla aşındırma üstten görünüm PDMS malzemeler kullanılarak SWEP tarafından fabrikasyon mikrosıvısal karıştırıcı kanal zaman serileri görüntülerini sunar.
Sonra mikrosıvısal kanal alternatif bir desen farklı şekillerde bölümleri ile fark etti ve bir çözüm Fluoresein sodyum tuzu ve distile su da dahil olmak üzere iki farklı sıvılar daha sonra iki ayrı kanallarına, floresans pompalı A, B, C ve D (önce gravür) üniforma ve farklı geometrik bölümleri ile iki mikserler için ters bir mikroskop altında (2 h sonra SWEP), sırasıyla yakalanır olarak işaretlenen pozisyonlarında (Şekil 6) mikroskop görüntüleri kanal top. İstikrarlı akar, mikser kanallardan karıştırma başlangıç anlar sayılan 5 dk zaman noktasında oluşurken bu görüntüler alınır. O zaman, bu floresan mikroskop görüntüleri Mikser karıştırma verimliliğini temsil eden karşılık gelen Bay numaralara ayıklamak için bu çalışmada geliştirilen otomatik bir program teslim edilir.
Gravür işleminden önce kanal mikser bir yılan gibi kanal düzeni ile aynı kesit dikdörtgen şeklinin vardı. Yeterli Kanal uzunluğu nedeniyle difüzyon mekanizmaları için gerekli, mikrosıvısal karıştırıcı bir gerekli olan 0.4607, 0.3403, 0.2450 ve 0.1940 Bay numaraları A'da gösterdiği verimliliği karıştırma, B, C ve D, sırasıyla konumlandırır. SWEP, 2 h ile eşit bir toplam kanal uzunluk özgün bir sonra mikrosıvısal karıştırıcı kanal bölümü alternatif bir kalıp içinde farklı şekiller vardır. Mikser farklı kanal bölümleri ile belirgin bir artış sağlar önemlidir verimlilik, belirgin bir şekilde 0.3875, 0.1915, 0.1336 ve 0.0680, A, Bay sayıda azaltarak temsil karıştırma B, C ve D pozisyonları, sırasıyla, yanal sıvı nedeniyle hareketleri advection difüzyon mekanizmaları yanı sıra yol açmaktadır. Ayrıca, pozisyon B - D, SWEP tarafından fabrikasyon Mikser karıştırma verimliliğini böyle advection mekanizmaları kanal bölümleri sonuç belli bir ve tek tip üzerinde meydana gelen artış.
Şekil 1: boru set-up sıralı ıslak gravür işlemler (SWEP) tarafından farklı geometrik kesitleri PDMS kanalları oluşturmak için mikrosıvısal tek katmanlı kanal düzenlerdeki. (bir) bu şematik tek katmanlı kanalları mikrosıvısal aygıtları gösterir. Üst katmanı PDMS birden çok kanal tasarımları ıslak etchant giriş düzenlemeleri için kullanmayı fabrikasyon olduğunu. Alt tabaka PDMS boş bir desen ile yapılır. (Üst: bir etchant giriş; Orta: iki etchant giriş.) Alt kalıp üst tabaka imalat için olduğunu. (b) bu paneller kanalları farklı bölümlerin imalatı montajı aygıtın göster. Kanal genişliği ve duvar kalınlığı are 50 µm ve 100 µm, anılan sıraya göre. (c) bu paneller için SWEP mikrosıvısal tek katmanlı kanal düzenleri üzerinde boru set-up deneysel fotoğraflarını göster. (Üst satırı: bir etchant giriş; alt satırı: iki etchant giriş.) Bu rakam daha büyük bir versiyonunu görüntülemek için buraya tıklayınız.
Şekil 2: PDMS karakterizasyonu ıslak gravür. Bu şekilde toplanan yarım kanal doğrusal regresyon genişliği değişiklikleri ile ilgili genel bir tahmin etmek için gravür kez gösterilmektedir PDMS malzemeler için belirli bir ses karıştırma oranı ile karışık TBAF/NMP etchants büyütme oranı. [İlave, oranları PDMS malzemelerin aşındırma ıslak karakterize için basit ve düz kanal deseni kesitsel geometri bir şemadır. Genel TBAF/NMP gravür oranı (v: v = 1:10) 2.714 µm/dk ve 0.9913 karşılık gelen R2 (belirleme katsayısı) olduğunu.] Bu rakam daha büyük bir versiyonunu görüntülemek için buraya tıklayınız.
Şekil 3: mikrosıvısal kanalları farklı geometrik bölümleri tarafından sıralı PDMS ıslak gravür fabrikasyon. Bu paneller etchant alıcılar çeşitli düzenlemeler farklı kesit şekil (bir) gibi belirli kanal türü imalatı için sırayla işlemleri aşındırma karşılık gelen hizmet veren tek katmanlı PDMS kanal düzenleri için göster haç şeklinde, (b) halter şeklinde ve (c) çan şeklindeki kesitsel geometriler. Bu rakam daha büyük bir versiyonunu görüntülemek için buraya tıklayınız.
Şekil 4: kanalları farklı bölümleri ile kullanan mikrosıvısal mikserler fabrikasyon. (bir) Bu panel kanalları farklı bölümleri ile kullanan bir mikrosıvısal Mikser imalatı için bir tek katmanlı kanal düzeni çizim bir tasarımdır. Alt kalıp tek katmanlı kanal imalat için gösterilir. (b) bu paneller döşeme inceden inceye gözden geçirmek mikroskop resimleri bütün devreler kanalının önce ve ıslak PDMS 1 ve 2 h sonra aşındırma göster. (c) bu paneller göstermek deneysel parlak alan görüntüleri Mikser ıslak PDMS 1 ve 2 h tarafından fabrikasyon kanal bölümleri bir üst aşındırma görünümü (üst satırı), xboyunca akış yönüne dik bir kesme görünümünde-eksen (ikinci gelen üst) ve bir kesim (üstten üçüncü) ve B-B bölüm görünümü'nde (alt satır) pozisyonlar kesti. Bu rakam daha büyük bir versiyonunu görüntülemek için buraya tıklayınız.
Şekil 5: saat serisi görüntüleri mikrosıvısal karıştırıcı kanal PDMS malzemeleri sıralı ıslak gravür tarafından fabrikasyon farklı bölümlerin. (bir) Bu panel bir mikrosıvısal Mikser farklı kanal bölümleri ile imalatı için bir tek katmanlı kanal düzen şeması gösterir. (b) bu panelleri göstermek mikroskop top bir mikser kanalının her gravür aşamalarında sırayla görüntüleri. Bu rakam daha büyük bir versiyonunu görüntülemek için buraya tıklayınız.
Şekil 6: sıralı PDMS ıslak gravür tarafından fabrikasyon mikrosıvısal Mikser karakterizasyonu. (bir) bu paneller show floresan mikroskop görüntüleri karıştırıcı Kanal A olarak işaretlenmiş pozisyonlarda B, C ve D gravür PDMS malzemelerin ıslak etchants tanıtımı önce ve 2 h. (b) bu paneller karıştırıcı Kanal A, B, C ve D pozisyonlarda önce (üst) ve PDMS ıslak gravür (orta), 2 h arasında normalleştirilmiş koordinatıyla sunulan ölçülen floresan yoğunluğu alanları gösterir. Ayrıca Mikser karıştırma verimliliğini temsil eden analiz Bay gösterir (0,5: karışmamış, 0: tamamen karışık) çeşitli kanal pozisyonlarda önce ve (alt) aşındırma 2 h. Bu rakam daha büyük bir versiyonunu görüntülemek için buraya tıklayınız.
Geçtiğimiz on yıl içinde hangi-ebilmek var olmak deneysel platformlar kimyasal ve Biyomedikal araştırma için umut verici anlamına gelir, sistematik olarak1,2,3,4inşa Havacilik teklif etti, 5. Platformlar da çeşitli hücresel işlevler içinde vivo vitro hücre çalışmaları6,7, üzerinden fizyolojik microenvironment koşullarda araştırma yeteneklerini sunulmuştur 8 , 9. deneysel araştırma ve ilgili uygulamaların çoğu kanal çapraz bölümleri mikrosıvısal aygıt düzgün ve dikdörtgen şeklinde. Bu tür mikrosıvısal cihazlar kanal yapıları microenvironment koşullarında önemli bir rol oynamaktadır. Örneğin, havacilik ilaç dağıtım için bir aparat kullanırken, böyle kimyasal taşıması üzerinden pasif bir denetim akış hızı standart kesit geometri29dikdörtgen kanal ayarlama tarafından modülasyonlu. Madde aktarımı üzerinden akış yönü boyunca kanal istenen akı dağılımı için mikrosıvısal kanalları bir genel olarak hacimsel akış hızı ayarı altında farklı geometrik bölümleri ile gerekli olabilir. Çalışmalar önemli sayıda Ana kalıp inşaat çeşitli yükseklikte veya dikdörtgen olmayan çapraz belirli yüzey desenleri ile de dahil olmak üzere farklı bölümleri ile istediğiniz kanalları böyle çiplerle imal etmek bazı önemli adımlar attık bölüm13,14,15 ve geometrik özellikleri17,18,19,20 ile yüzeyler oluşturma tekniği aşındırma PDMS , 21 , 22. bu çabalar sadece karmaşık üretim süreçleri içerir ancak, aynı zamanda belirli kesitsel kanal16,23şekillere kısıtlanır.
Bu yazıda, basit ve tutarlı bir şekilde PDMS malzemelerinde gömülü planlı tek katmanlı düzenlerden belirli kanalları içine etchant tanıtarak PDMS kanallar ile çeşitli bölümleri oluşturma bir tek adımlı yaklaşım ileri düzeydedir. Ayrıca, farklı kesit şekilleri ile kanallar oluşturan izotropik sıralı ıslak gravür süreçleri yinelemeli sayısal hesaplama30kullanılarak doğrulanır. Görünüşe göre PDMS malzeme izotropik kaldırılması sırasında süreçleri aşındırma sıralı ıslak nedeniyle kanal bölümü geometrileri keskin açıları ile imal etmek zordur. Pratik uygulamalarda, ıslak PDMS gravür oranları doğru bir karakterizasyonu ve ilişkili boru sistem kurulumu dikkatli düzenlemelerin fabrikasyon bölüm geometrileri mikrosıvısal kanal üzerinde kesin denetim gerektirir. PDMS mikrosıvısal kanalları ile farklı geometriler üretimi için varolan yöntemleri ile karşılaştırıldığında, gelişmiş tek adımlı yaklaşım önemli ölçüde dikdörtgen olmayan bölümleri veya çeşitli yükseklikleri ile kanal imalatı işlemlerini kolaylaştırmak. Sonuç olarak, gelişmiş teknik çeşitli uygulamalar için yenilikçi mikrosıvısal sistemlerinin geliştirilmesi için yol açabilir karmaşık mikrosıvısal kanalları oluşturmak için bir yol sağlar.
Yazarlar bildirmek için bir şey yok.
Yazarlar, minnetle tarafından Ulusal Sağlık Araştırma Enstitüleri (NHRI) Tayvan yenilikçi araştırma hibe (IRG) (EX106-10523EI), Tayvan Bakanlığı Bilim ve teknoloji altında sağlanan destek kabul (en 104-2218-E-032-004, 104 - 2221 - E-001-015-MY3, 105-2221-E-001-002-MY2, 105-2221-E-032-006, 106-2221-E-032-018-MY2) ve Academia Sinica kariyer geliştirme Ödülü. Yazarlar Heng-Hua Hsu el yazması proofreading için teşekkür etmek istiyorum.
Name | Company | Catalog Number | Comments |
1-Methyl-2-Pyrrolidinone | Tedia, Fairfield, OH | ME-1962 | NMP |
10 ml Syringe | Becton-Dickinson, Franklin Lakes, NJ | 302151 | |
150 mm Petri dish | Dogger Science | DP-43151 | |
1H,1H,2H,2H- Perfluorooctyltrichlorosilane | Alfa Aesar, Ward Hill, MA | L16606 | 97 % silane |
4'' Silicon Dummy Wafer | Wollemi Technical, Taoyuan, Taiwan | - | |
Acetone | ECHO Chemical, Miaoli, Taiwan | AH3102-000000-72EC | |
AG Double Expose Mask Aligner | M&R Nano Technology, Taoyuan, Taiwan | AG500-4D-D-V-S-H | |
Biopsy Punch | Miltex, Plainsboro, NJ | 33-31 | |
Blunt Needle | Jensen Global, Santa Barbara, CA | Gauge 16 | |
Buffered Oxide Etch | ECHO Chemical, Miaoli, Taiwan | PH3101-000000-72EC | |
Desicattor | A-VAC Industries, Anaheim, CA | 35.10001.01 | |
Fluorescein Sodium Salt Water | Sigma-Aldrich Co., St Louis, MO | F6300 | |
ImageJ | National Institutes of Health, Bethesda, MD | Ver. 1.51 | Imaging Processing Program |
Inverted Fluorescence Microscope | Leica Microsystems, Wetzlar, Germany | DMI 6000 B | |
Isopropyl Alcohol (IPA) | ECHO Chemical, Miaoli, Taiwan | CMOS112-00000-72EC | |
Leica Application Suite | Leica Microsystems GmbH | LAS X | |
MATLAB | MathWorks, Natick, MA | R2015b | Programming for MR evaluation |
Mechanical Convention Oven | ThermoFisher Scientific,Waltham, MA | Lindberg Blue M MO1450C | |
Plasma Tretment System | Nordson MARCH, Concord CA | PX-250 | Oxygen plasma surface treatment |
Polydimehtylsiloxane (PDMS) | Dow Corning, Midland, MI | SYLGARD 184 | |
Polyethylene Tubing | Becton-Dickinson and Company, Sparks, MD | 427446 | PE 205, 10' |
Spin Coater | ELS Technology, Hsinchu, Taiwan | ELS 306MA | |
Negative Tone Photoresist | MicroChem, Westborough, MA | SU-8 2050 | |
Negative Tone Photoresist Developer | MicroChem, Westborough, MA | Y020100 | SU-8 Developer |
Surgical Blade | Feather, Osaka, Japan | 5005093 | PDMS cutting |
Syringe Pump | Chemyx, Houston, TX | Fusion 400 | |
Tetra-n-butylammonium Fluoride (TBAF) | Alfa Aesar, Ward Hill, MA | A10588 |
Bu JoVE makalesinin metnini veya resimlerini yeniden kullanma izni talebi
Izin talebiThis article has been published
Video Coming Soon
JoVE Hakkında
Telif Hakkı © 2020 MyJove Corporation. Tüm hakları saklıdır