Method Article
בסרטון זה אנו מתארים ראשון ייצור ותפעול הליכים של גל אקוסטי פני השטח (SAW) מכשיר נגדי אקוסטי. לאחר מכן, אנו מדגימים התקנה ניסיונית שמאפשרת לשניהם להדמיה איכותית זרימה וניתוח כמותי של תזרים מורכב בתוך מכשיר השאיבה ראה.
גלים אקוסטיים פני שטח (מסורים) ניתן להשתמש כדי לנהוג נוזלים בשבבי microfluidic ניידים באמצעות התופעה הנגדית אקוסטי. בסרטון הזה אנו מציגים פרוטוקול לייצור מכשיר נגדי אקוסטית SAW רב שכבתי. המכשיר הוא מפוברק החל ממצע ליתיום niobate (LN) על גבי שבו שני מתמרים interdigital (IDTs) וטושים מתאימים הם בדוגמת. ערוץ (PDMS) polydimethylsiloxane להטיל על עובש אב SU8 סוף הסוף מלוכדים על המצע בדוגמת. בעקבות הליך הייצור, אנו מציגים את הטכניקות המאפשרות אפיון וההפעלה של המכשיר הנגדי אקוסטית על מנת לשאוב נוזלים דרך רשת ערוץ PDMS. אנחנו סוף סוף להציג את ההליך כדי להמחיש את זרימת נוזל בצינורות. הפרוטוקול משמש להצגת נוזל על שבב שאיבה תחת משטרי זרימה שונים כגון זרימה למינרית ודינמיקה מורכבת יותר מאופיינות במערבולות ותחומים הצטברות חלקיקים.
אחד האתגרים העומדים בפני המשך קהילת microfluidic הוא הצורך יש מנגנון שאיבה יעיל, כי יכול להיות מוקטנת להשתלבות במערכות מיקרו כולל-ניתוח באמת ניידים (μTAS של). מערכות סטנדרטיות מקרוסקופיים שאיבה פשוט לא מצליח לספק את הניידות הנדרשת לμTAS של, בגלל קנה המידה השלילית של ספיקות הנפח כגודל הערוץ יורד למטה לטווח מיקרון ומטה. להיפך, מסורים צברו עניין גובר במנגנוני actuation נוזלים ומופיעים כשדרה מבטיחה פתרון של חלק מהבעיות אלה 1,2.
מסורים הוצגו לספק מנגנון יעיל מאוד של תחבורה אנרגיה לתוך נוזלי 3. כאשר ראו מתפשט על מצע פיזואלקטריים, למשל ליתיום niobate (LN), הגל יהיה הקרין לכל נוזל שנקרו בדרכה בזווית המכונה זווית ריילי θ R = חטא722; 1 (ג ו / ג ים), וזאת בשל חוסר ההתאמה של מהירויות קול במצע, ג ים, וF ג הנוזלים. זליגה זו של קרינה לתוך הנוזל מעורר גל לחץ אשר מניע הזרמה אקוסטיים בנוזל. בהתאם לגיאומטרית המכשיר וכוח מוחל על המכשיר, מנגנון זה הוצג להפעיל מגוון רחב של תהליכים על שבב, כגון נוזל ערבוב, מיון חלקיקים, atomization, ו1,4 שאיבה. למרות הפשטות והיעילות של actuating microfluids עם מסור, יש רק מספר קטן של ראה מונע מנגנוני שאיבת microfluidic שהוכחו עד כה. ההפגנה הראשונה הייתה תרגום פשוט של טיפות חופשיות להציב את נתיב ההתפשטות ראה במצע 3 פיזואלקטריים. שיטה חדשנית זו יצרה עניין רב בשימוש במסורי כשיטה actuation microfluidic, עם זאת יש עדיין צורך בנוזלים כדילהיות מונע בערוצים-סגורים משימה קשה יותר. טאן ואח'. הפגין שאיבה בתוך microchannel שליזר ablated ישירות לתוך מצע פיזואלקטריים. על ידי שינוי גיאומטרי ביחס לממדי IDT הערוץ ו, הם הצליחו להדגים תזרים הן אחיד וערבוב 5. זכוכית et al. לאחרונה הפגין שיטה של העברת נוזלים דרך microchannels ורכיבי microfluidic על ידי שילוב של SAW סיבובים תצורת עם מיקרופלואידיקה צנטריפוגלי, כהפגנה של מזעור האמיתי של מושג Lab-on-a-CD 6,7 הפופולרי. עם זאת, רק סגור לחלוטין SAW מונע שאיבת מנגנון שכבר הוכיח נשארה להיות Cecchini et al. של זרימה נגדית אקוסטית מסור מונחה 8-המוקד בסרטון זה. הוא מנצל atomization וההתמזגות של נוזלים כדי לשאוב אותו דרך ערוץ סגור בכיוון המנוגד לכיוון ההתפשטות שלגל coustic. מערכת זו יכולה להצמיח תזרים מורכב מפתיע בתוך microchannel. יתר על כן, בהתאם לגיאומטרית המכשיר, זה יכול לספק מגוון רחב של תוכניות זרימה, מתזרים למינרית למשטרים מורכבים יותר המתאפיינים במערבולות ותחומים חלקיק הצטברות. היכולת להשפיע על מאפייני הזרימה בתוך המכשיר בקלות ניתן לראות הזדמנויות למניפולציה של חלקיקים על שבב מתקדם.
בפרוטוקול זה ברצוננו להבהיר את ההיבטים העיקריים של מיקרופלואידיקה מבוססת SAW מעשי: ייצור מכשיר, הפעלה ניסיונית, והדמית זרימה. למרות שאנו מתארים במפורש נהלים אלה לייצור והתפעול של מכשירים נגדית אקוסטיים מונעים ראה, יכולים בקלות להיות שונה סעיפים אלה ליישום שלהם למגוון של משטרי microfluidic מסור מונחה.
1. ייצור מכשיר
הערה: חשוב שכל שלבי הייצור מתבצעים בסביבת חדר נקי, כדי למנוע זיהום של המכשיר לפני השימוש.
הערה: כל אחד משלבי יתוגרפיה האופטיים עשוי להיות מוחלף על ידי השיטות המועדפות של המשתמש.
הערה: הליך silanization ניתן להחליף לשיטת ציפוי הידרופובי מועדפת 13.
2. בדיקת מכשיר RF
3. מיקרופלואידיקה ולהתנסות חלקיקים זרימת Dynamics הדמיה וניתוח
תרשים 2 מציג תוצאות נציג של בדיקות RF מכשיר אשר נלקחו לפני הדבקת שכבת LN לשכבת microchannel: ספקטרום אופייני 12 11 S ו-S מדווחים בפנל) ו ב) בהתאמה. עומקו של העמק בתדר מרכזי בספקטרום S 11 קשור ליעילות המרה של כוח RF בראה את כוחו מכאני. לפיכך, עבור מספר קבוע של זוגות אצבעות IDT, ירידה במינימום העמק תביא להפחתה בהספק שנדרש כדי להפעיל את המכשיר. בתדירות של מינימום זה, המכשיר יעיל ביותר ליצור גל אקוסטי כדי להניע את נוזל שאיבה, ולכן היא הנקודה שבה אנחנו בוחרים להפעיל את המכשיר. במכשירים שלנו בתדירות ההפעלה MHz 100 לאורך הערכים האופייניים הציר המרכזיים נמצאים מתחת ל-10 dB 11 S. ערכים מעל -10 dBm יכולים לסמל מתמר פגום או לקצר, שאם עבודהing, ידרוש כוח הקלט גדל. ערך זה יכול להיות מופחת על ידי התאמת עכבת IDT, באמצעות רשת התאמה חיצונית, או על ידי עיצוב IDT 9-11. המרבי של ספקטרום ה-S 12 הוא גם קשור ליעילות המרה של כוח RF וראה את כוח מכאני על ידי IDTs וההנחתה של ראה לאורך קו העיכוב. הפחתה של ערך זה (בדרך כלל סביב dBm -10 במכשירים שלנו) יכולה לנבוע מפגמים בIDTs (נצפה גם על ידי הפחתה של עוצמת הטבילה בספקטרום S11), חוסר תיאום של קו העיכוב ראה, או סדקים.
איור 3 מציג ארבע תבניות זרימה אופייניות שונות נצפו באמצעות חרוזים לטקס של 500 ננומטר. כל פנל מציג חלקיק מייעל כתוצאה מSTICS. ניתוח בוצע על הקלטה של 2 שניות שבהושגו על ידי מיקרוסקופ שידור האופטי 100 תמונות בשניות. התוצאות המפורטות של דינאמיקה מהאיזון בין שני הכוחות הדומיננטיים הפועלים על החלקיקים: כוח הגרר ואקוסטי Rכוח adiation 21,22. יש כוח הגרר שני מרכיבים בזרימה נגדית אקוסטית: אחד תוצאות מתחבורה המונית בשל לתעל את המילוי, את התוצאות אחרות מהפיזור של אנרגיה האקוסטית בנוזל הנובע בסחרור מכונה הזרמה אקוסטיים. שתי הזרמה אקוסטיים וריקבון כוח קרינה אקוסטית כמו הגל במים פוחתים לחץ. לוחות) ו-B) מראה שתי תוצאות שונות על כניסת הערוץ. בלוח א ') שתי מערבולות סימטריות הם נצפו בשל התופעות אקוסטית-הזרמת בתחילת הערוץ אקוסטית-נגדי מילוי. לאחר זמן מה, כאשר הוא מילא את הערוץ באופן חלקי, לוח ב ') מראה זרימה למינרית בשל דיכוי השפעות acoustofluidic בכניסה על ידי חזית נוזל קידום. הפנל ג) ולוח ד) מראים שני מצבים שונים בקרבתו של המניסקוס כאשר מילא את הערוץ באופן חלקי. בפנל ג)חלקיקים הם נצפו צבירה בקווים ונעו באותה המהירות כמו במניסקוס. זה המקרה שבו נציג הדינמיקה של חלקיקים הוא נשלט על ידי כוח הקרינה אקוסטית. הדינמיקה המייצגות של הדומיננטיות של כוח הגרר והשפעות הזרמה אקוסטיים מוצגת בפנל D) שבו חלקיקים אחרי שתי מערבולות ומצטברים רק בלהקות בתוך 300 מ"מ מהמניסקוס, קרוב לפני שטח המצע.
איור 1. מבט מלמעלה (א) ותצוגת איזומטרי (ב) למכשיר הנגדי השלים (שלא בקנה מידה) המכשיר בנוי משתי שכבות;. מורכב התחתון של IDTs זהב בדוגמת על LN, והעליון של microchannel PDMS. אות RF מוחלת IDT השמאל, ואת המסור המקביל יהיה להפיץ לצד ימין. הנוזל יזרום מכניסת הנוזל חוזר עלימינה לכיוון IDT השמאל. ממדי שבב אופייניים הם 25 מ"מ x 10 מ"מ x 0.5 מ"מ לשכבה ראה, ו10 מ"מ x 5 מ"מ x 4 מ"מ לשכבת PDMS. ממדי תכונה ניתנים בשלב 1 של הפרוטוקול.
איור 2. טיפוסי פרמטרים S עבור מכשיר מסור נגדי. תדר התהודה בספקטרום (א) 11 S ו (ב) ניתן לראות S 12 ב 95 מגה הרץ. לחץ כאן לצפייה בדמות גדולה.
איור 3. ארבע תבניות זרימה אופייניות שונות נצפו באמצעות חרוזים לטקס 500 ננומטר בתוך ערוץ הזרימה הנגדי אקוסטי. מייעל מוצגת בכל הרשותתוצאת Nel מהניתוח של הקלטות STICS 2 שניות בשידור אופטי עם מיקרוסקופיה 100 תמונות בשניות, והם כיסו על המסגרת הסופית של כל סרטון וידאו. ניתן לראות את כניסת הערוץ ב( א) t = 0, כאשר הערוץ מתחיל למלא, וב( ב) מועד מאוחר יותר לאחר שערוץ הזמן מתמלא באופן חלקי. הקצה המוביל של המניסקוס ניתן לראות במקרה של (ג) זרימה למינרית עם קווי הצטברות חלקיקים, ו( ד) זרימת טרנדו מורכבת יותר; התכנית שנקבעה על ידי הגיאומטריה המכשיר. את תבניות הזרימה התקבלו במכשיר טיפוסי מופעל ב20 dBm. ספיקות לניסויים אלה היו על סדר 1 - 10 NL / ים דרך התעלה, ואילו מהירות הזרימה הממוצעת במערבולות יכולה להיות גבוהה כמו 1 מ"מ / שנייה.
אחד האתגרים הגדולים ביותר העומדים בפני קהילת microfluidic הוא המימוש של פלטפורמת actuation עבור התקני נקודה של טיפול באמת ניידים. בקרב המשולב micropumps המוצע 23, אלה המבוססים על גלים אקוסטיים על פני השטח (מסורים) הם אטרקטיביים במיוחד בשל היכולות הקשורים בם בערבוב, atomization וריכוז חלקיקים והפרדת נוזל 4. במאמר זה אנו הדגמנו כיצד לפברק ולפעול מכשיר מעבדה על שבב שבו הוא הוביל בנוזל הסגור PDMS microchannel ידי משולב בשבב SAW מפעילים כפי שתואר לראשונה על ידי Cecchini et al. 8.
בנוגע לייצור המכשיר כפי שמודגם בהליך הנ"ל, זה מאוד חשוב לשמור על ניקיון בכל נקודה של פרוטוקול הייצור, אחרת פגמים בIDTs, צורת microchannel, ופני שטח הרטבה עלולה להתעורר. פגמים בIDTs יכולים להוביל לעלייה של ההדואר נדרש כוח או הפעלה התמרה אפילו לא יעילה של המסור. תשומת לב צריכה להינתן לייצור microchannel. משטח נקי שטוח נחוץ למיקרוסקופ. פגמים בקצוות microchannel יכולים לגרום המניסקוס הצמדה ולהפחית גם מהירות וממלאים את התעלה ואמינות שבב. פגמים אלה יכולים גם בועות nucleate אשר משנות את מאפייני הזרימה ועלולות להשבית את נוזל שאיבה לגמרי. זהירות יש לנקוט במשטח functionalization. אם קירות הערוץ בהיקף של ממשק תחתית המצע ומשטחים לרוחב ולמעלה PDMS הידרופילי הם כללי, מונעת סתימת נימים מונעת SAW פעיל שאיבה. לעומת זאת, אם פני שטח המצע הוא הידרופובי מדי, טיפות אטומיזציה מהמניסקוס לא להתגבש בצורה יעילה, ומונע סתימת ערוץ. אי הומגניות בfunctionalization המצע ומכאן מובילים לערוץ לא אמין מילוי דינמיקה עם מצמיד את נקודות ואזורים מונעים קפילריות.
בנוגע לזרימה מולualization וחוקר את הדינמיקה של חלקיקים, קוטר החלקיקים הוא קריטי לדינמיקה ציינה שהתקבלה. חלקיקים חשופים גם לגרור את כוח (עקב זרימת נוזל) וכוח קרינה אקוסטית (עקב העברת מומנטום ישירה מגלי הלחץ בנוזל). בעוד כוח הגרר הוא פרופורציונלי לרדיוס חלקיק, כוח הקרינה אקוסטית הוא פרופורציונלי להיקף חלקיקים. כוח הגרר ישלוט את הדינמיקה של החלקיקים כקוטר החלקיקים הוא מופחת, ואת החלקיקים ולכן יעקבו אחרי זרימת הנוזל באופן הדוק יותר. בדרך זו אנו יכולים להשיג הדמיה מדויקת של זרימת הנוזל על ידי בחירה בקוטר חלקיקים קטן כראוי ביחס לעיצוב המכשיר. שימו לב שחלקיקים מאותו הקוטר יכולים גם לשחזר את הנוזל מייעל באופן מדויק, או לחלופין להיות נשלט על ידי כוח הקרינה אקוסטית, תלוי בגיאומטרית המכשיר. בהתאם לגודל של החרוזים וטכניקת ההדמיה, את האופטיקה הנדרשת עשויה להשתנות.ריכוז חלקיקים תלוי גם במטרת הניסוי: במקרה של ריכוז חלקיקי mPIV הנמוך עדיף 14,24, אבל ריכוז חלקיקים גדול מאפשר לנתון טוב יותר ואיכותי דמיינו מייעל בתמונות בודדות. הפתרון צריך להיות חלקיק monodisperse ובלי אשכולות של הבנה איכותית והכמותי של שדות מהירות החלקיקים.
גם מאמץ רב הוקדש להבנת התנהגותם של חלקיקי מיקרו בגודל 25 בתצוגה של מיון יישומים בדגימות ביולוגיות. על מנת לבצע מיון יסודי, מחקרים עם חרוזים, חלקיקים וfunctionalization הערוץ הם בעלי חשיבות עליונה על מנת למנוע הידבקות חלקיקים וסתימת ערוץ.
בסרטון הזה שהראינו כיצד לפברק ולהפעיל מכשירים נגדית אקוסטיים מסור מונעים בנוזלים שמונעים על שבב ברשתות microchannel הסגור PDMS. תשומת לב מיוחדת היה Devoטד להדמיה של הדינמיקה של החלקיקים שעומדת בבסיס של יישומי מיון acoustophoretic.
יש מחברים אין לחשוף.
יש כותבים שאף אחד לא להכיר.
Name | Company | Catalog Number | Comments |
Double side polished 128° YX lithium niobate wafer | Crystal Technology, LLC | ||
Silicon wafer | Siegert Wafers | We use <100> | |
IDT Optical lithography mask with alignment marks (positive) | Any vendor | ||
Channel Optical lithography mask (negative) | Any vendor | ||
Positive photoresist | Shipley | S1818 | |
Positive photoresist developer | Microposit | MF319 | |
Negative tone photoresist | Allresist | AR-N-4340 | |
Negative tone photoresist developer | Allresist | AR 300-475 | |
SU8 thick negative tone photoresist | Microchem | SU-8 2000 Series | |
SU8 thick negative tone photoresist developer | Microchem | SU-8 developer | |
Hexadecane | Sigma-Aldrich | H6703 | |
Carbon tetrachloride (CCl4) | Sigma-Aldrich | 107344 | |
Octadecyltrichlorosilane (OTS) | Sigma-Aldrich | 104817 | |
Acetone CMOS grade | Sigma-Aldrich | 40289 | |
2-propanol CMOS grade | Sigma-Aldrich | 40301 | |
Titanium | Any vendor | 99.9% purity | |
Gold | Any vendor | 99.9% purity | |
PDMS | Dow Corning | Sylgard 184 silicone elastomer kit with curing agent | |
Petri dish | Any vendor | ||
5 mm ID Harris Uni-Core multi-purpose coring tool | Sigma-Aldrich | Z708895 | Any diameter greater than 2 mm is suitable |
Acoustic absorber | Photonic Cleaning Technologies | First Contact regular kit | |
RF-PCB | Any vendor | ||
Spinner | Laurell technologies corporation | WS-400-6NPP | Any spinner can be used |
UV Mask aligner | Karl Suss | MJB 4 | Any aligner can be used |
Thermal evaporator | Kurt J. Lesker | Nano 38 | Any thermal, e-beam evaporator or sputtering system can be used |
Oxygen plasma asher | Gambetti Kenologia Srl | Colibrì | Any plasma asher or RIE machine can be used |
Centrifuge | Eppendorf | 5810 R | Any centrifuge can be used |
Wire bonder | Kulicke Soffa | 4523AD | Any wire bonder can be used if the PCB is used without pogo connectors |
Contact Angle Meter | KSV | CAM 101 | Any contact angle meter can be used |
Spectrum analyzer | Anristu | 56100A | Any spectrum or network analyzer can be used |
RF signal generator | Anristu | MG3694A | Any RF signal generator can be used |
RF high power amplifier | Mini Circuits | ZHL-5W-1 | Any RF high power amplifier can be used |
Microbeads suspension | Sigma-Aldrich | L3280 | Depending on the experimental purpose different suspension of different diameter and different material properties can be used |
Optical microscope | Nikon | Ti-Eclipse | Any optical microscope with spatial resolution satisfying experimental purposes can be used |
Video camera | Basler | A602-f | Any video camera that has enough frame rate and sensitivity satisfying experimental purposes can be used |
Camera acquisition software | Advanced technologies | Motion Box | Any software enabling high and controlled frame rate acquisition can be used |
Request permission to reuse the text or figures of this JoVE article
Request PermissionThis article has been published
Video Coming Soon
Copyright © 2025 MyJoVE Corporation. All rights reserved