In Situ Oberflächentemperaturmessung in einem Förderbandofen über Inline-Infrarot-Thermographie

Dieses Protokoll beschreibt, wie man eine Infrarotkamera in einen Förderbandofen einbaut, eine Kundenkorrektur einer werkskalibrierten IR-Kamera durchführt und die räumliche Oberflächentemperaturverteilung eines Objekts von Interesse auswertet. Die Beispielobjekte sind industrielle Silizium-Solarzellen.

Die Messung der Oberflächentemperatur von Objekten, die in Förderbandöfen verarbeitet werden, ist ein wichtiges Werkzeug in der Prozesskontrolle und Qualitätssicherung. Derzeit wird die Oberflächentemperatur von Objekten, die in Förderbandöfen verarbeitet werden, in der Regel über Thermoelemente gemessen. Die Infrarot-Thermographie (IR) bietet jedoch mehrere Vorteile im Vergleich zu Thermoelementmessungen, da es sich um eine berührungslose, Echtzeit- und räumlich aufgelöste Methode handelt. Hier wird als repräsentatives Proof-of-Concept-Beispiel erfolgreich ein Inline-Thermographiesystem in einen IR-Lampen-Solarbrennofen eingebaut, der für den Kontaktbrennprozess von industriellen Si-Solarzellen eingesetzt wird. Dieses Protokoll beschreibt, wie sie eine IR-Kamera in einen Förderbandofen einbauen, eine Kundenkorrektur einer werkskalibrierten IR-Kamera durchführen und die Auswertung der räumlichen Oberflächentemperaturverteilung an einem Zielobjekt durchführen.

Die Prozesskontrolle und Qualitätssicherung von Gegenständen, die in Förderbandöfen¹ verarbeitet werden, ist wichtig und wird durch Messung der Oberflächentemperatur des Objekts durchgeführt. Derzeit wird die Temperatur in der Regel mit einem Thermoelement¹gemessen. Da Thermoelementmessungen den Kontakt mit dem Objekt erfordern, beschädigen Thermoelemente unweigerlich das Objekt. Daher ist es üblich, repräsentative Proben einer Charge für Temperaturmessungen zu wählen, die nicht weiterverarbeitet werden, da sie beschädigt werden. Die gemessenen Temperaturen dieser beschädigten Objekte werden dann zu den übrigen Proben aus der Charge verallgemeinert, die weiterverarbeitet werden. Dementsprechend muss die Produktion für Thermoelementmessungen unterbrochen werden. Darüber hinaus ist der Kontakt lokal, muss nach jeder Messung nachjustiert werden und beeinflusst die lokale Temperatur.

Die Infrarot-Thermographie² hat gegenüber klassischen Thermoelementmessungen eine Reihe von Vorteilen und stellt eine berührungslose, in-situ, Echtzeit-, Zeitsparende und räumlich aufgelöste Temperaturmessmethode dar. Mit dieser Methode kann jede Probe der Charge, einschließlich der weiterverarbeiteten, ohne Unterbrechung der Produktion gemessen werden. Darüber hinaus kann die Oberflächentemperaturverteilung gemessen werden, die Einen einblickin die Temperaturhomogenität während des Prozesses liefert. Die Echtzeit-Funktion ermöglicht die Korrektur von Temperatureinstellungen on-the-fly. Bisher sind die möglichen Gründe für die Nichtanwendung der IR-Thermographie in Förderbandöfen 1) unbekannte optische Parameter von heißen Objekten (insbesondere für Nichtmetalle³) und 2) parasitäre Umweltstrahlung im Ofen (d.h. reflektierte Strahlung, die von der IR-Kamera zusätzlich zur emittierten Strahlung des Objekts erkannt wird), was zu einer falschen Temperaturausgabe²führt.

Hier haben wir als repräsentatives Proof-of-Concept-Beispiel der IR-Thermographie in einem Förderbandofen erfolgreich ein Inline-Thermographiesystem in einen IR-Lampen-Solarbrennofen eingebaut (Abbildung 1), der beim Kontaktbrennprozess von industriellen Si-Solarzellen eingesetzt wird (Abbildung 2A,B)^4,5. Der Brennprozess ist ein entscheidender Schritt am Ende der industriellen Solarzellenproduktion⁶. In diesem Schritt werden die Kontakte der Zelle^7,,8, gebildet und die Oberflächenpassivierung wird^{aktiviert 9}. Um Letzteres erfolgreich zu erreichen, muss das Zeit-Temperatur-Profil während des Brennvorgangs (Abbildung 2C) genau realisiert werden. Daher ist eine ausreichende und effiziente Temperaturregelung erforderlich. Dieses Protokoll beschreibt, wie man eine IR-Kamera in einen Förderbandofen einbaut, eine Kundenkorrektur einer werkskalibrierten IR-Kamera durchführt und die räumliche Oberflächentemperaturverteilung eines Zielobjekts auswertet.

1. Installation der IR-Kamera in einen Förderbandofen

1. Entscheiden Sie, welcher Teil des Ofens von der IR-Kamera gemessen werden soll.
   HINWEIS: Hier wird die Spitzenzone des Brennvorgangs ausgewählt (siehe die orange hervorgehobene Zone im Brennbereich von Abbildung 1A).
2. Definieren Sie den von der IR-Kamera zu erfassenden Temperaturbereich (z. B. 700 bis 900 °C, den typischen Spitzentemperaturbereich des Brennvorgangs).
3. Bestimmen oder zumindest schätzen (durch Experimente oder Literatur), die temperatur-, spektralen und winkelabhängigen Emissionen der von Interesse befindlichen Objekte (z. B. Silizium-Solarzelle), um den Wellenlängenbereich(n) der höchsten Emission für den Temperaturbereich (unter einem bestimmten Kamerawinkel) zu identifizieren.
   HINWEIS: Hier wird die Emission auf der Grundlage früherer Literatur³ und einer Software namens RadPro¹⁰geschätzt, die die spektrale, winkelförmige und temperaturabhängige Emissivität für Materialien von Interesse berechnet.
4. Entscheidung über den IR-Kameratyp
   HINWEIS: Hier wird eine Midwave-Infrarot-Indium-Antimonid-Kamera (InSb)(Tabelle der Materialien) verwendet.
   1. Wählen Sie eine Kamera, die den Temperaturbereich erkennen kann.
   2. Wählen Sie eine Kamera aus, deren Erfassungswellenlängenbereich dem Wellenlängenbereich der höchsten Emission des Objekts entspricht, das im Temperaturbereich von Interesse ist.
   3. Vermeiden Sie so viel parasitäre Strahlungserkennung durch die Kamera wie möglich, indem Sie Objekte vermeiden, die Strahlung in das Sichtfeld der Kamera aussenden oder reflektieren (z. B. IR-Lampen in einem Ofen).
   4. Entscheiden Sie sich für die notwendige räumliche und zeitliche Auflösung der Kamera (z.B. 640 px x 512 px und 125 Hz [Vollbild] für die verwendete Kamera hier).
5. Realisieren Sie einen ausreichenden optischen Pfad von der IR-Kamera zum Objekt (siehe Abbildung 1B).
   1. Vermeiden Sie störende Objekte im optischen Pfad (z. B. IR-Lampen, die direktes oder reflektiertes Licht verursachen).
   2. Positionieren Sie die Kamera nach Möglichkeit außerhalb der Ofenkammer.
      HINWEIS: Die meisten Kameras haben niedrige Betriebstemperaturen (z. B. bis zu 50 °C). Stellen Sie im Voraus sicher, dass die Kameraposition auf Wunsch geändert werden kann.
   3. Entfernen Sie die Ofenwand und die Isolierung an der Stelle, an der sich der optische Pfad befinden sollte, und ersetzen Sie das Loch durch ein isolierendes IR-Fenster.
      1. Wählen Sie das passende Material für das Fenster, das den folgenden Anforderungen entspricht: 1) so transparent wie möglich für den Erfassungswellenlängenbereich der Kamera (z.B. Quarzglasfenster für 0,2 m < 3 m, Saphirfenster für 0,4 m < 4,2 m) und 2) in der Lage, die Ofenkammer thermisch zu isolieren.
         HINWEIS: Die resultierenden Temperaturen des Fensters können die Fensterübertragung beeinflussen.
      2. Vermeiden Sie Beschädigungen des IR-Fensters. Ziehen Sie das Fenster nicht an, um Brüche bei der Wärmeausdehnung zu vermeiden.
         HINWEIS: Das Fenstermaterial sollte genügend Platz haben, um sich beim Aufwärmen zu erweitern.
6. Überprüfen Sie das resultierende Sichtfeld (FOV) der IR-Kamera, indem Sie das Thermografiebild über die IR-Kamerasoftware untersuchen. Identifizieren Sie das Zielobjekt und seine Temperatur im Thermografiebild. Passen Sie ggf. den FOV an.

2. Globale Kundentemperaturkorrektur einer fertigungskalibrierten IR-Kamera

VORSICHT: Bei der Herstellung der IR-Kamera wird davon ausgegangen, dass sie eine radiometrische Kalibrierung enthält.

1. Erkennen Sie lokale optische Artefakte, z. B. Reflexion und Hintergrundstrahlung.
2. Führen Sie klassische Thermoelementmessungen des Objekts durch und gleichzeitig die Aufnahme des Wafers einschließlich Thermoelements mit der IR-Kamera.
   1. Überprüfen Sie die Gültigkeit der verwendeten Thermoelemente. Suchen Sie nach bekannten charakteristischen Temperaturpunkten im Temperaturprofil des verarbeiteten Objekts, die deutlich sichtbar erkannt werden können (z.B. Störung in glatter Linie). Wenn das Thermoelement diese Temperaturpunkte richtig misst, wird das Thermoelement höchstwahrscheinlich korrekt kalibriert.
   2. Beispiel für Silizium-Solarzellen
      1. Legen Sie das Thermoelement auf die hintere Aluminiumseite des Wafers. Nehmen Sie ein Temperaturprofil für einen Standardbrennprozess¹¹.
      2. Validieren Sie die Thermoelemente, indem Sie feststellen, ob das Temperaturprofil ab Schritt 2.2.2.1 um die Al-Si-Eutektiktemperatur von 577 °C in Form einer flacheren Kurve gestört ist (wie in Abbildung 2D).
         HINWEIS: Wenn die Störung bei der Temperatur um 577 °C auftritt, ist dies ein Zeichen dafür, dass die Temperaturmessung durch das Thermoelement genau ist. Verwenden Sie nur validierte Thermoelemente für die folgenden Schritte.
   3. Führen Sie Thermoelementmessungen im Temperaturbereich von Interesse am gleichen Objektpunkt (mehrmals aus statistischen Gründen) und dann an räumlich verschiedenen Zufallspunkten (aus statistischen Gründen) durch, um Zeit-Temperatur-Profile zu erhalten.
3. Bestimmen Sie die lokale, nicht korrigierte Thermographie-Objekttemperatur unterhalb der Thermoelemente aus den Thermoelementmessungen ab Schritt 2.2.3, während Sie das Thermoelement auf der Oberseite des Objekts platzieren.
   1. Prüfen Sie, ob ein möglicher lokaler Temperaturabfall um das kontaktierende Thermoelement herum (aufgrund von Wärmeableitung und Schattierung) möglich ist. Nehmen Sie die Temperatur in der Nähe des Thermoelements als Objekttemperatur direkt unter dem Thermoelement an, wenn kein lokaler Temperaturabfall vorliegt.
   2. Führen Sie die folgenden Schritte aus, wenn ein lokaler Temperaturabfall vorliegt.
      1. Bestimmen Sie den räumlichen Temperaturgradienten des aktuellen Temperaturabfalls in dem Teil, der nicht vom Thermoelement abgedeckt wird.
         HINWEIS: Es wird empfohlen, den Gradienten an mehreren Stellen um den Temperaturabfall (radial) zu bestimmen und einen durchschnittlichen Gradienten zu bestimmen.
      2. Schätzen Sie den Beitrag möglicher optischer Artefakte, die durch das Thermoelement induziert werden (Beispielprotokoll für einen Fall, in dem eine homogene Temperatur entlang der Zelltiefenrichtung angenommen wird, z. B. in Si-Solarzellen).
         1. Legen Sie das Thermoelement auf die Oberfläche gegenüber der gemessenen Oberfläche und wiederholen Sie die Thermoelement- und Thermographiemessung in dieser Konfiguration (siehe Abbildung 3A). Drehen Sie das Objekt, einschließlich des Thermoelements, um, so dass sich das Thermoelement nicht im optischen Pfad zwischen Kamera und Objekt befindet.
            HINWEIS: Wenn der Gradient des lokalen Temperaturabfalls für das Thermoelement innerhalb und außerhalb des optischen Pfades gleich ist (d. h. an der gemessenen oder gegenüberliegenden Oberfläche befestigt ist), ist dies ein Zeichen dafür, dass das Thermoelement höchstwahrscheinlich keine optischen Artefakte induziert.
         2. Extrapolieren Sie den Gradienten des Temperaturabfalls im Falle des Thermoelements, das die gemessene Oberfläche (d. h. innerhalb des optischen Pfades) mit dem vom Thermoelement abgedeckten Bereich in Kontakt mit ihr in Kontakt kommt, um die Temperatur des Objekts unter dem Thermoelement zu erhalten.
         3. Wiederholen Sie 2.3.2.2.2 für jede Messung ab Schritt 2.2.3.
4. Alternative zu 2.3: Bestimmen Sie die lokale unkorrigierte Thermographie-Objekttemperatur unterhalb der Thermoelemente aus den Thermoelementmessungen ab Schritt 2.2.3, während Sie das Thermoelement auf der Unterseite des Objekts platzieren. Um die lokale unkorrigierte Thermographie-Solarzellentemperatur unter dem Thermoelement zu bestimmen, extrahieren Sie die lokale Temperatur an der Position des Thermoelements.
   HINWEIS: Das Thermoelement auf der Rückseite zu halten, verhindert, dass das Thermoelement die Sicht auf das Objekt durch die Kamera blockiert. Daher ist einerseits die Temperaturkorrektur deutlich einfacher. Andererseits sind Thermoelemente während des Brennvorgangs in der Regel nicht auf der Unterseite des Objekts positioniert, was zu betrieblichen Komplikationen führen kann, weshalb diese Alternative besonders sorgfältig durchgeführt werden muss.
5. Korrigieren Sie das nicht korrigierte Thermografiebild in Bezug auf die gemessenen Temperaturen des Thermoelements mit den daten, die aus den Schritten 2.3 oder 2.4 generiert wurden.
   1. Zeichnen Sie die gemessenen Temperaturen über Thermoelemente gegen die ermittelten Temperaturen über eine unkorrigierte IR-Thermographie. Führen Sie eine Kurvenanpassung durch.
   2. Wenden Sie die erhaltene Kurvenanpassung als allgemeine einheitliche globale Korrekturformel für das nicht korrigierte Thermografiebild an.
6. Wiederholen Sie die Temperaturkorrektur für jeden neuen Objekttyp oder jede neue Konfiguration, insbesondere wenn sich die optischen Parameter unterscheiden.

3. Auswertung der räumlichen Oberflächentemperaturverteilung mittels IR-Thermographie

HINWEIS: Es wird davon ausgegangen, dass die Brennbedingungen für diesen Abschnitt identisch sind.

1. Erstellung einer zweidimensionalen Spitzentemperaturverteilungskarte (siehe Abbildung 4A)
   1. Schreiben Sie ein Skript mit einer geeigneten Programmiersprache, um die Oberflächenobjekttemperatur für jeden Objektoberflächenfleck entlang der gesamten Kamera-FOV zu verfolgen, d. h. als "virtuelles Thermoelement" zu fungieren, das an allen Objektflecken gleichzeitig platziert wird.
      HINWEIS: Hier wird das Skript in MATLAB geschrieben.
   2. Extrahieren Sie den Maximalwert, d. h. die Spitzentemperatur, für jeden Objektpunkt und zeichnen Sie diese Temperaturen in einer entsprechenden 2D-Verteilungskarte auf.
2. Durchschnittliche Temperaturverteilung in und senkrecht zur Objektdurchsatzrichtung (siehe Abbildung 4B)
   1. In Durchsatzrichtung: Durchschnittlich die 2D-Temperaturverteilung in der Dimension, die der Durchsatzrichtung entgegengesetzt ist. Was bleibt, ist die durchschnittliche 1D-Temperaturverteilung in Durchsatzrichtung.
   2. Senkrecht zur Durchsatzrichtung: Durchschnittlich die 2D-Temperaturverteilung in der Dimension, die sich in Durchsatzrichtung befindet. Was bleibt, ist die durchschnittliche 1D-Temperaturverteilung senkrecht zur Durchsatzrichtung.
      HINWEIS: Es wird empfohlen, den letzten Zentimeter (mindestens) der Kante für die Mittelung wegzulassen, da optische Artefakte am Objektrand den resultierenden Temperaturdurchschnitt verfälschen könnten.

Wie in Abbildung 3B-Ddargestellt, das Beispielobjekt (hier eine Silizium-Solarzelle; streng genommen ein passivierter Emitter und eine hintere Zelle [PERC]¹²; Abbildung 2A,B) kann von der IR-Kamera in verschiedenen Konfigurationen deutlich erkannt werden⁴. Die verschiedenen Konfigurationen sind monofacial metallisiert (Abbildung 3B), bifacially metallized¹³ (Abbildung 3C) und nonmetalized PERC Proben (Abbildung 3D). Der Unterschied zwischen der monofacial und bifacial Konfiguration ist, dass erstere eine volle Fläche Aluminiumschicht hat, während letztere hat ein H-Muster Gitter (ähnlich der silbernen Vorderseite) auf der Rückseite. Hier wurde die IR-Kamera so positioniert, dass die Kamera FOV die Spitzentemperatur des Brennvorgangs erfasste. Die Spitzenphase ist die wichtigste Phase während des Brennvorgangs, da die Kontakte in dieser Phase¹⁴tatsächlich gebildet werden. Hier ähnelte der Temperaturbereich dem typischen Spitzentemperaturbereich des Brennvorgangs (d.h. ca. 700–900 °C¹).

Für den letztgenannten Temperaturbereich ist die Spektralemissivität in den Kurz-, Mittel- und Langwellen-Infrarotspektren³recht hoch und homogen. Eine doppelte Saphirschicht wurde als transmissives Fenster verwendet, was eine gute Übertragung in den kurzen und mittleren IR-Wellenlängenspektren ermöglicht. Um die Lichterkennung der IR-Lampen des Ofens (Spitzenwellenlänge im Kurzwellenlängen-Infrarotbereich) zu minimieren, wurde ein IR-Kameratyp mit InSb als Detektormaterial mit einem Erfassungsbereich von 3,7 bis 4,1 m (einschließlich Filter) gewählt. Nur ein Drittel des Wafers in Durchsatzrichtung kann gleichzeitig erkannt werden. Für diese Arbeit reichte es jedoch aus, da der Wafer das bestehende Sichtfeld vollständig überschreitet. Selbstverständlich werden hier temperaturkorrigierte Thermografiebilder gezeigt. Streng genommen wird das Bild in Bezug auf die Solarzellen temperaturkorrigiert.

Wie in Abbildung 3Azu sehen ist, verursachte das kontaktierende Thermoelement auf der gegenüberliegenden Seite des optischen Pfades einen Temperaturabfall um sich selbst (mit einem Temperaturabfall von 10 K), wahrscheinlich aufgrund von Wärmeableitung und Beschattung. Letzterer Tropfen ist wichtig, um die Zelltemperatur beim Brennen ohne Thermoelemente im Vergleich zur vom Thermoelement gemessenen Temperatur abzuschätzen. Hier wurde die Zelle auf einem Rahmen positioniert, wenn sie von einem Thermoelement kontaktiert wurde (Abbildung 3E). Die Wärmeableitung durch den Rahmen führte zu einem Temperaturabfall von rund 10 K. Zusammen mit dem zusätzlichen Wärmeabfall des Thermoelements maß letztere eine 20 K niedrigere Temperatur als die Zellen bei der Standardverarbeitung (ohne Thermoelementgeräte). Es ist wichtig, den letztgenannten Offset für das verwendete Thermoelementsystem zu schätzen, das mit Hilfe der Thermographie durchgeführt wird, wie gezeigt. Die IR-Kamera ermöglicht die Beobachtung der lokalen Wärmeableitung der Zellen durch das Förderband, wenn sie direkt auf dem Band platziert wird (Abbildung 3F). Dies ist der Grund, warum Zellen in der Regel auf Gurthöhen platziert werden, um den Kontakt zwischen ihnen und dem Gürtel zu minimieren.

Abbildung 4 zeigt die Oberflächentemperaturverteilung. Da Silizium-Solarzellen in der Regel etwa 160 m dick sind und im Ofen für 30 s verarbeitet werden, ist es wahrscheinlich, dass die Temperaturverteilung entlang der Zelltiefe homogen ist. Daher deuten die Ergebnisse höchstwahrscheinlich eher auf eine Temperaturverteilung als nur auf eine Oberflächentemperaturverteilung hin. Gegenüber der Durchsatzrichtung wurde ein durchschnittlicher Temperaturgradient von 1 K/cm ermittelt. In der Durchsatzrichtung war das ankommende Waferviertel wesentlich kälter als die nachfolgende Waferauflage. Der kältere eintreffende Teil hatte einen Gradienten von 7 K/cm, während der heißere Trailing-Teil einen Gradienten von 0,5 K/cm erlebte.

In beiden Richtungen wurden die Zellkanten (die restlichen 2 cm) zur Bestimmung der Farbverläufe ignoriert, da die erfasste Temperatur an den Kanten mit der kälteren Außengrenze der Zellen vermischt wurde, was zu falschen Temperaturen führte. Abbildung 4C zeigt eine repräsentative 2D-Temperaturverteilung einer monofacialsolaren Zelle, die an der Vorderseite nicht metallisiert war. Auch hier wurden die oben genannten Trends in der gleichen und entgegengesetzten Verkehrsrichtung beobachtet. Alles in allem zeigen diese Ergebnisse, dass die Solarzellen in dieser Arbeit einen gewissen Grad an räumlicher Temperaturinhomogenität erlebten.

Abbildung 1: Wichtigste siminierte Geräte, die im Protokoll verwendet werden. (A) Seitenschema des Förderbandofens. Diese Abbildung wurde von Ourinson et al.⁴geändert. (B) Vergrößerte letzte Brennzone, visualisiert die Einrichtung des Thermografiesystems. 1) Ofenwand und Isolierung, 2) IR-Kamera, 3) IR-Lampen, 4) Isolierfenster, 5) Objekttransportrichtung, 6) Kamera FOV, 7) Transportband, 8) Objekt und 9) Thermografie-Software.  Diese Abbildung wurde von Ourinson et al.⁴geändert. (C) Der während dieses Protokolls verwendete Brennofen. (D) Bild zur Veranschaulichung der verwendeten IR-Kamera und des transmissiven IR-Fensters, das im Brennofen positioniert ist. Die Zahlen entsprechen den Zahlen aus den Panels A und B. Bitte klicken Sie hier, um eine größere Version dieser Abbildung anzuzeigen.

Abbildung 2: Gemessene Objekte und deren Temperaturen. (A) Schematischer Querschnitt einer monofacial PERC-Solarzelle. (B) Vordere (links) und hintere (rechte) Seitenansicht einer industriellen PERC-Zelle. (C) Thermoelement-gemessenes industrielles Zeittemperaturprofil einer PERC-Solarzelle während des Brennvorgangs, einschließlich Segmentierung in Phasen und Abschnitt, die durch das Sichtfeld der Kamera abgedeckt wird. Diese Zahl wurde von Ourinson et al.⁵geändert. (D) Nachweis von Störungen um die eutektische Temperatur (T_EUT) von Aluminium und Silizium in einem Brennprofil, gemessen mit einem Thermoelement, wenn das Thermoelement auf der Aluminiumrückseite der Solarzelle platziert wird. Diese Zahl wurde von Ourinson et al.⁵geändert. Bitte klicken Sie hier, um eine größere Version dieser Abbildung anzuzeigen.

Abbildung 3: Repräsentative temperaturkorrigierte Thermographiebilder von PERC-Solarzellen für identische Brennbedingungen. (A) Sichtbarer lokaler Temperaturabfall, der durch den Kontakt eines Thermoelements von der Rückseite verursacht wird. (B) Thermographiebild des oberen Drittels einer monofacial metallisierten PERC-Zelle, einschließlich (1) sichtbarer Busbars (2), die auf dem sichtbaren Förderband positioniert sind. T_AV zeigt die Durchschnittstemperatur auf dem Wafer an. (C) Thermographiebild einer bifacially metallisierten PERC-Zelle. (D) Thermographiebild eines nichtmetallisierten PERC-Wafers. (E) Thermographiebild eines Wafers, der auf einem Thermoelementrahmen platziert und von einem Thermoelement kontaktiert wird. T_TC zeigt die vom Thermoelement gemessene Wafertemperatur an. (F) Thermographiebild eines Wafers, der direkt auf dem Förderband platziert ist. (G) Farbkarte des von der IR-Kamera gemessenen Temperaturbereichs. Diese Zahl wurde von Ourinson et al.⁵geändert. Bitte klicken Sie hier, um eine größere Version dieser Abbildung anzuzeigen.

Abbildung 4: Temperaturverteilung einer PERC-Solarzelle für identische Brennbedingungen. (A) 2D-Spitzentemperaturverteilung einer monofacial PERC-Solarzelle von der Vorderseite. (B) Durchschnittliche Spitzentemperaturverteilung in (rechtes Bild) und senkrecht (linkes Bild) zur Zelltransportrichtung." Bitte klicken Sie hier, um eine größere Version dieser Abbildung anzuzeigen.

Üblicherweise wird die Thermographietemperatur durch Messung und Anpassung der optischen Parameter des Objekts, des transmissiven Fensters und Deswegs sowie der Umgebungstemperatur des Objekts und des transmissiven^{Fensters 2}korrigiert. Als alternative Methode wird in diesem Protokoll eine Temperaturkorrekturtechnik auf Basis von Thermoelementmessungen beschrieben. Für die letztgenannte Methode ist keine Kenntnis der oben genannten Parameter erforderlich. Für die hier gezeigte Anwendung ist diese Methode ausreichend. Es kann jedoch nicht garantiert werden, dass das Thermoelementverfahren für alle Thermographieanwendungen in einem Förderbandofen ausreicht.

Im Protokoll wird eine einheitliche globale Temperaturkorrektur des Thermographiebildes vorgeschlagen; obwohl es präziser ist, die räumlich aufgelöste Temperatur zu korrigieren. Es wurde jedoch festgestellt, dass die gleichmäßige Temperaturkorrektur bei beweglichen Objekten besser geeignet ist. Darüber hinaus soll die Temperatur des Objekts und nicht die umgebenden Objekte (z. B. Gurt und Wände) korrigiert werden.

Wie in Schritt 2.3.2.2 erwähnt, wird davon ausgegangen, dass das hier vorgegebene Beispiel eine homogene Temperaturverteilung entlang der Objekttiefe hat. Bei Objekten mit inhomogener Temperaturverteilung entlang ihrer Tiefen ähnelt die Temperatur auf einer Oberfläche nicht der Temperatur auf der gegenüberliegenden Oberfläche. Daher gelten die in Abschnitt 2.3.2.2 beschriebenen Schritte für diese Fälle nicht. Eine Lösung für die inhomogene Temperaturverteilung entlang der Objekttiefe muss weiter untersucht werden.

Die Autoren haben nichts zu verraten.

Diese Arbeit wird vom Bundeswirtschaftsministerium im Rahmen des Projekts "Feuerdrache" (0324205B) unterstützt. Die Autoren danken den Mitarbeitern, die zu dieser Arbeit beigetragen haben, und den Projektpartnern (InfraTec, Rehm Thermal Systems, Heraeus Noblelight, Trumpf Photonic Components) für die Kofinanzierung und hervorragende Unterstützung.