Изготовление термоэлектрических тонких пленок Bi₂Te₃ и Sb₂Te₃ с использованием метода радиочастотного магнетронного распыления

Наши исследования сосредоточены на изготовлении высококачественных тонких пленок для термоэлектрических генераторов для рекуперации отработанного тепла и преобразования его в электричество. Были исследованы и разработаны различные методы осаждения тонких пленок, в том числе радиочастотное магнетронное распыление, которое способно создавать высокоплотные, прочные тонкие пленки с лучшей адгезией и высокой однородностью. Этот метод не требует плавления и испарения целевых материалов, что позволяет осаждать большинство материалов независимо от температуры их плавления, что делает его превосходящим другие технологии физического осаждения из газовой фазы.