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Nanyang Technological University

Projeto e metodologia de caracterização para filtros de MEMS sintonizável eficiente gama

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15:25 min

February 4th, 2018

February 4th, 2018


Um protocolo para um projeto de feixe fixo-fixo usando um vibrômetro laser Doppler (LDV), incluindo a medição da frequência de sintonia, modificação do ajuste de capacidade e evitar a falha do dispositivo e stiction, é apresentado. A superioridade do método sobre o analisador de rede LDV é demonstrada devido à sua capacidade de modo mais elevada.

Capítulos neste vídeo

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Title

2:51

Selecting and Designing Optimum Structure

3:31

Modeling and Fabrication on CMOS

5:39

Device Testing: Thermal Camera Test for Embedded Heaters

6:27

Device Testing: Calibrating LDV and Test Setup

9:19

Device Testing: Testing 68μm Long MEMS Filters via LDV

10:32

Device Testing: Higher Mode Measurement

11:01

Avoiding Device Failures

11:45

Avoiding Failures: High Thermal Stress and Burning

12:10

Boosting The Tuning Capability

13:16

Results

14:07

Conclusion

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