We thank E. Arzt for his support through INM. The research was in part supported by the Leibniz Competition 2014.

<ol>
	<li>Ring, E. A., de Jonge, N. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Microfluidic+system+for+transmission+electron+microscopy.">Microfluidic system for transmission electron microscopy.</a> Microsc. Microanal. 16, 622-629 (2010).</li><li>Ross, F. M. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Opportunities+and+challenges+in+liquid+cell+electron+microscopy.">Opportunities and challenges in liquid cell electron microscopy.</a> Science. 350, 9881-9889 (2015).</li><li>de Jonge, N., Ross, F. M. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Electron+microscopy+of+specimens+in+liquid.">Electron microscopy of specimens in liquid.</a> Nat. Nanotechnol. 6, 695-704 (2011).</li><li>Zheng, H., Smith, R. K., Jun, Y. W., Kisielowski, C., Dahmen, U., Alivisatos, A. P. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Observation+of+single+colloidal+platinum+nanocrystal+growth+trajectories.">Observation of single colloidal platinum nanocrystal growth trajectories.</a> Science. 324, 1309-1312 (2009).</li><li>Evans, J. E., Jungjohann, K. L., Browning, N. 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J. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Calcium+carbonate+nucleation+driven+by+ion+binding+in+a+biomimetic+matrix+revealed+by+in+situ+electron+microscopy.">Calcium carbonate nucleation driven by ion binding in a biomimetic matrix revealed by in situ electron microscopy.</a> Nat. Mater. 14, 394-399 (2015).</li><li>Peckys, D. B., de Jonge, N. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Liquid+Scanning+Transmission+Electron+Microscopy:+Imaging+Protein+Complexes+in+their+Native+Environment+in+Whole+Eukaryotic+Cells.">Liquid Scanning Transmission Electron Microscopy: Imaging Protein Complexes in their Native Environment in Whole Eukaryotic Cells.</a> Microsc. Microanal. 20, 346-365 (2014).</li><li>de Jonge, N., Peckys, D. B., Kremers, G. J., Piston, D. W. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Electron+microscopy+of+whole+cells+in+liquid+with+nanometer+resolution.">Electron microscopy of whole cells in liquid with nanometer resolution.</a> Proc. Natl. Acad. Sci. 106, 2159-2164 (2009).</li><li>Evans, J. E., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Visualizing+macromolecular+complexes+with+in+situ+liquid+scanning+transmission+electron+microscopy.">Visualizing macromolecular complexes with in situ liquid scanning transmission electron microscopy.</a> Micron. 43, 1085-1090 (2012).</li><li>Dukes, M. 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B. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Practical+aspects+of+transmission+electron+microscopy+in+liquid.">Practical aspects of transmission electron microscopy in liquid.</a> Adv. Imag. Electr. Phys. 186, 1-37 (2014).</li><li>Verch, A., Pfaff, M., De Jonge, N. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Exceptionally+slow+movement+of+gold+nanoparticles+at+a+solid:liquid+interface+investigated+by+scanning+transmission+electron+microscopy.">Exceptionally slow movement of gold nanoparticles at a solid:liquid interface investigated by scanning transmission electron microscopy.</a> Langmuir. 31, 6956-6964 (2015).</li><li>Schneider, N. M., Norton, M. M., Mendel, B. J., Grogan, J. M., Ross, F. M., Bau, H. H. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Electron-water+interactions+and+implications+for+liquid+cell+electron+microscopy.">Electron-water interactions and implications for liquid cell electron microscopy.</a> J. Phys. Chem. C. 118, 22373-22382 (2014).</li><li>Hermannsdoerfer, J., de Jonge, N., Verch, A. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Electron+beam+induced+chemistry+of+gold+nanoparticles+in+saline+solution.">Electron beam induced chemistry of gold nanoparticles in saline solution.</a> Chem. 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M., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=High-resolution+EM+of+colloidal+nanocrystal+growth+using+graphene+liquid+cells.">High-resolution EM of colloidal nanocrystal growth using graphene liquid cells.</a> Science. 336, 61-64 (2012).</li><li>Reimer, L., Kohl, H. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=.">.</a> Transmission electron microscopy: physics of image formation. , (2008).</li><li>Abellan, P., Woehl, T. J., Parent, L. R., Browning, N. D., Evans, J. 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F., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Nanoscale+3D+cellular+imaging+by+axial+scanning+transmission+electron+tomography.">Nanoscale 3D cellular imaging by axial scanning transmission electron tomography.</a> Nat. Methods. 6, 729-731 (2009).</li><li>Unocic, R. R., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Quantitative+electrochemical+measurements+using+in+situ+ec-S/TEM+devices.">Quantitative electrochemical measurements using in situ ec-S/TEM devices.</a> Microsc. Microanal. 20, 452-461 (2014).</li><li>Kourkoutis, L. F., Plitzko, J. M., Baumeister, W. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Electron+Microscopy+of+Biological+Materials+at+the+Nanometer+Scale.">Electron Microscopy of Biological Materials at the Nanometer Scale.</a> Annu. Rev. Mater. Res. 42, 33-58 (2012).</li><li>Chao, W., Harteneck, B. D., Liddle, J. A., Anderson, E. H., Attwood, D. T. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Soft+X-ray+microscopy+at+a+spatial+resolution+better+than+15+nm.">Soft X-ray microscopy at a spatial resolution better than 15 nm.</a> Nature. 435, 1210-1213 (2005).</li><li>Larabell, C. A., Nugent, K. 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The authors have nothing to disclose.

기술 된 프로토콜은 동적 프로세스의 관찰을 포함한 액체에 AuNPs의 STEM 수 있습니다. 홀더의 조립이 쉬운-배울 기술이다. 액체 흐름 TEM 홀더 작동 그러나, 여러 측면이 고려되어야한다. 예를 들어, O 링에 실리콘 마이크로 칩 또는 큰 입자의 깨진 가장자리는 액체 셀의 누설의 원인이 될 수 있습니다. 한편, 큰 입자 (&gt; 200 nm의, 예를 들면은, 먼지 또는 Si 파편) 죄 막에가, 액체 전지의 두께를 증가시키는 결과 낮은 공간 해상도가 낮은 영상 대비 또는 선도 월에도 원인이있다 SiN으로 창은 휴식입니다. 중요한 것은, 염 또는 다른 화학 물질의 잔류 물은 바람직하지 않은 방식으로 실험의 결과에 영향을 미칠 수있다. 따라서, 샘플 준비 및 홀더 조립체의 다양한 단계는 신중하고 깨끗하고 먼지없는 환경에서 수행되는 것이 중요하다. 액체 가전의 두께LL은 달성 가능한 해상도뿐만 아니라, 수득 이미지 (17)의 콘트라스트를 결정한다. 이 두께는 두 개의 실리콘 마이크로 칩 중 하나에있는 스페이서를 통해 조정될 수있다. 샘플의 크기에 따라, 액정 셀의 다른 두께를 실현할 수있다. 전체 진핵 세포가 5 ㎛, 더 큰 스페이서를 필요로하는 동안 AuNPs 연구의 경우, 작은 스페이서 (200-500 나노 미터)를 사용하는 것이 가능하다. 액체 셀의 두께는 상기 액정 셀과 주변의 진공 사이의 압력 차이로부터 기인 된 SiN 막 윈도우의 팽윤에 의해 영향을 받는다. 이 효과는 더 큰의 SiN 막 창문이 더 두드러집니다. 따라서, 액정 셀의 두께를 최소화하기 위하여, 소형의 SiN 막 윈도우를 사용하도록 권장한다. 케이스에 두 개의 작은 창 사이의 중첩, 그들은 다른 기본 마이크로 칩을 이용하여 교차 구성으로 조립 될 수 찾기 어렵다. 대체 구성의 larg의엘리는 팽창 방지 및 샘플 로딩에 관한 기둥 (19)에 의해지지 된 모 놀리 식 마이크로 칩 18 막 창, 그러나 그 전시 단점으로 구성되어 있습니다. 현재 기술의 가장 어려운 측면 중 하나는 액체의 두께를 정확하게 제어의 부족이다. 종종 액체는 여기에 도시 된 바와 같이, 사용되는 스페이서 치수로부터 예상되는 것보다 훨씬 두껍다. 몇몇 그룹이 폐쇄 액체 챔버 (4), 20, 21, 22에 사용; 액체 두께 액체 내에서 버블을 유도함으로써 감소 될 수 있으므로이 시스템은, 공간적 해상도에 관한 몇 가지 장점이있다. 또한, 죄의 창은 얇은 액체 층에 선도 붕괴 강제 할 수 있습니다. 또한 매우 얇은 액체 결과 셋째, 다른 얇은 윈도우 인클로저의 존재 (예, 그라) 23이 프로토콜에서 설명하는 시스템과 함께 가능한 것보다. 그러나, 이러한 시스템에 액체를 흐르게 할 수 없다. 임의의 고해상도 현미경 기법에 관해서는, 실험 많은 측면이 고려되어야한다. 가장 중요한 태양은 액체 또는 샘플과 전자 빔의 상호 작용이다. 많은 고체 시료 24 달성 공간 해상도를 제한 방사선 손상,뿐만 아니라, 액체 샘플은 전자 빔 방사선 분해 생성 된 제품 (15) (25)에 의해 영향을 받는다. 이 제품은 실험에 영향을 미칠 수 있기 때문에주의 데이터 해석 및 실험 설계 26 필수적이다. 현미경 설정은 특정 연구의 목적에 따라 선택해야합니다. ADF STEM는 WHI 액체 셀의 더 큰 두께에서 높은 원자 번호 (Z)의 촬상 나노 입자 더 강력제작 TEM 낮은 Z 재료에 더 좋은 대조를 제공하고 일반적으로 빠르지 만 얇은 액체 층 (3)을 필요로한다. 대신 ADF 검출기를 사용 BF의 STEM 두꺼운 층 (27)에 둘러 Z 재료를 이미징하는 것이 유리하기 때문에, 밝은 필드 (BF) 검출기는 가끔 이미지 액체 셀을 사용한다. 액체 셀의 두께가 증가함에 따라, 더 많은 전류가 필요하다. 그러나, 이것은 또한 방사선 분해 생성물의 농도를 증가시키고, 방사선 손상을 증가시킨다. 또한 명암의 반전이 매우 두꺼운 액체 (물&gt; 10 μm의)에 대한 ADF 검출기에서 관찰되는 것을 주목해야한다. 액체 상태는 현미경 홀더를 제거하고 시료와 액체를 모두 교환하여 실험 사이에서 변경 하였다. 염 농도의 변화에 더하여, 그것은 예를 들면, 하나의 월 (다른 액체가 흐르는 액체의 다른 성질을 용이하게 변경할 수있다특정 pH를 16으로 설정하기 위해 완충 용액을 사용하여 유기 용액 또는 다른 첨가제)을 초래할 수있다. 이 홀더 여전히 마이크로 유체 시스템을 통하여 액체를 흐르게함으로써 현미경에 삽입되는 동안 액체를 변경하는 것도 가능하다. 그러나,이 경우, 이때 샘플 변화에서 액체를 가리 알려지지 않았다. 이 전극에지지 된 마이크로 칩을 사용할 수 있으므로 나노 전기 화학 실험 28를 실시 할 수 있음도 주목할 만하다. 연구의 목적은 물에 AuNPs에 한정되지 않고, 시료의 다양한 실리카, 티타늄 산화물 및 중합체를 포함하여 전술 한 프로토콜을 이용하여 연구 할 수있다. 물체의 움직임을 포착 내의 이미지 캡처 너무 빠른 경우, 점도는 50 % 글리세롤 및 50 % 물의 혼합물을 사용하여 크기 순서로 감소 될 수있다. 상기 점에서,다수의 장점은, 가능성, 또한 단점이 명백해진다. 1) 모든 실험은 시료 전체 (관찰중인 객체, 액체와의 SiN 막)으로 전자빔의 동적 상호 작용에 의해 영향을 받는다; 액상 STEM 작업 할 때 고려해야 할 가장 중요한 단점은 있습니다 2) 샘플의 처리는 지루한이며, 샘플 또는 마이크로 칩의 일부 마이크로 미터 크기의 입자를 포함하기 때문에 얇은 액체 층을 달성하는 것이 곤란하다; 3) 액체의 두께는 통상 스페이서에 의해 설정된 예정 두께는 크게 상이하다; 4) 공간 해상도 및 콘트라스트를 강하게 액체 두께 관찰 액체 하에서 물체의 밀도 변화의 차이에 의존한다. 현재, 충분한 방법이 나노 미터 공간 해상도와 액체에서 객체의 현미경 존재한다. 비정질 얼음 전자 현미경은 강력한 기술이다 (29)그러나 관련 실험 절차는 모든 실험은 얼음에서 샘플의 제조를 허용하고, 시간 - 분해 실험은 불가능 섬세하다. X 선 현미경 (30) (31)는 원칙적으로 사용될 수 있지만, 한정된 공간 해상도를 갖는 실험실에서 널리 사용할 수있다. 액체의 원자력 현미경 확립되지만 표면 기법 32, 33, 34, 35 있음. 광학 현미경은 충분한 공간 해상도가 발생하지 않습니다. 현재에, 액체 내에서의 전자 현미경은 나노 액체 내의 객체 및 프로세스를 직접 현미경 가장 강력한 기술을 보인다. 액상 TEM 및 STEM은 아직 일상적인 분석 기법은 아니지만 여전히 개발하고있다. 고려해야하는 파라미터의 수는 상당한이며 ofte이고n은 어려운 실험 결과를 재현합니다. 또한, 정량적 인 데이터는 조사중인 효과 전자빔의 결과로 발생하는 프로세스와 얽혀 있기 때문에 얻기 어렵다. 여기에 설명 된 프로토콜함으로써 실험의 모든 관련 기본 측면에 대한 회계, 실험 프로토콜을 표준화하는 것을 목표로하고있다. 우리는이 프로토콜이 신흥 분야에서 실험적인 작품의 더 나은 재현성으로 이어질 수 있기를 바랍니다.

기존의 주사 ​​투과 전자 현미경 (STEM)의 분석에 적합한 표본, 높은 진공 배치에 적합한 구체적으로 건조하고 고체 시료의 범위에 의해 제한된다. 그러나, 많은 과학 기술의 질문은 나노 물질 및 액체 환경에서 프로세스를 우려. 완전히 액체에 포함 된 샘플은 현재 투과 전자 현미경 (TEM) 및 STEM 1 시편 홀더에 조립 된 미세 유체 챔버를 포함하는 개념을 사용하여 STEM으로 공부하실 수 있습니다. 그것이 성장 용해하고, 나노 입자, 2, 3, 4, 5의 응집 공정, (6)을 포함하는 다양한 연구 분야의 중요한 과정으로 새로운 통찰력을 제공하기 때문에 새롭게 개발 된 기술은 점점 더 인기를 끌고있다. 뿐만 아니라 금속, 또한 biominerals 7 및 생물학적 시스템은 8, 9, 10, 11을 연구 할 수있다. 액상 STEM 대한 샘플 로딩 및 화상 획득 건조 시료 STEM보다 다른 전용 훈련을 필요로하는 프로토콜을 포함한다. 마이크로 유체 시스템 (도 1A 참조) 실리콘 질화물 (12)의 에너지가 200 keV로의 전자 빔에 대한 투명한 (SIN) 막 윈도우를 지원하는 두 개의 실리콘 마이크로 구성된다. 치수 이러한 마이크로 칩의 처리의 상세는, (13)이 다른 12에서 찾을 수있다. 샘플은 일반적으로 나노 개체가 포함되어 있습니다. 이 논문에서 우리는 금 나노 입자 (AuNPs)를 관찰했다. AuNPs은 (a 하향 이동하는 전자 빔에 대해) 상부 윈도우에서 고정 또는 액체 비누에 떠있다신분증. STEM 나노 스케일의 공간 해상도는 AuNPs 위에 전자빔을 주사하고 상기 환형 다크 필드 (ADF) 검출기 (9)를 이용하여 송신 산란 전자를 수집함으로써 얻어진다. 두 마이크로 칩은 액체 흐름 TEM 홀더 (1) (홀더 모두 STEM 위해 동작하고 TEM하지만 TEM 홀더라고한다)의 선단부에 소 슬롯에 배치된다. 액체 실이 마이크로 칩 사이에 형성되도록, 마이크로 칩의 하나의 스페이서를 포함한다. 두 마이크로 칩의 양측에 O 링은 액체 실 (13) (도 1b 참조)의 진공 밀봉을 제공한다. 이 문서의 목적은 관심이있는 사용자가이 신흥 새로운 기술에 쉽게 액세스를 찾을 수 있도록 샘플로드 및 데이터 수집의 기본 단계를 설명하는 것입니다. 특정 회사로부터 입수 가능한 시스템이 사용되지만,이 프로토콜은 또한 다른 회사의 시스템에 유효하다. 이 기술은액체 유지 장치 (13)와 협력 할 때, 종래의 TEM과 STEM, 실용적인 측면의 개수보다 더 복잡한 고려되어야한다. 무엇보다 중요한 액체 구획이 제대로 따라서 얇은 액체 층과 진공 밀봉을 제공 조립되어 있는지 확인하는 것입니다. 따라서, 정상적으로 작동하도록 액체 유동 TEM 홀더의 제조 및 조립시에 분진의 형성을 방지하는 것이 매우 중요하다. 특히, O 링과 두 개의 실리콘 마이크로 칩은 각종 오염 물질이 없어야합니다. 마이크로 칩의 하나에 먼지도 작은 입자가 심각 유용한 공간 해상도의 달성을 방지 할 수 있습니다 조립 셀의 두께를 증가시킬 수있다. 더 오염이나 손상이 실험 후 전자 현미경에 남아되지 않도록 진공 밀봉 중요하다. 이 프로토콜은 로딩 절차와 몇 가지 필요한 시험에 대해 설명합니다. 전자 현미경의 동작이 간단하고, BU그것은 고체 시료의 현미경에 비해 몇 가지 추가 단계가 필요 t를. 액체의 두께가 증가함에 따라, 더 많은 전자가 흡수 액체에 의해 산란; 액체 두께의 측정이 필수적이다. 마지막으로, 프로토콜은 연구 될 수 있는지의 이미지를 촬영하는 방법과 동적 프로세스 설명한다. <img alt="그림 1" src="/files/ftp_upload/54943/54943fig1.jpg" /> 그림 1 : 주사 투과 전자 현미경 (STEM)에 대한 액체 흐름 셀. (A) 조립 된 액체 셀의 도식입니다. 실리콘 질화물 (SIN) 막 창 두 개의 실리콘 마이크로 칩 두 개의 O 링 사이에 위치한다. 액체는 죄 막 사이에 밀폐되고, 따라서 전자 현미경의 진공으로부터 분리된다. 샘플 위에 초점을 맞춘 전자빔 검색합니다. 대비 산란 전자에서 얻을 수있다. 금 나노 입자 (AuNPs는) 죄 막에서 액체 내에서 고정화뿐만 아니라 이동할 수액체. O 링 두 마이크로 칩 적층 체 (B) 측면도 단면. <a href="https://ecsource-jove-com.remotexs.ntu.edu.sg/files/ftp_upload/54943/54943fig1large.jpg" target="_blank">이 그림의 더 큰 버전을 보려면 여기를 클릭하십시오.</a>

<table border="0" cellpadding="0" cellspacing="0" width="800">
	<colgroup>
		<col />
		<col />
		<col />
		<col />
	</colgroup>
	<tbody>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;width:408px;">Binocular light microscope</td>
			<td style="width:141px;">Leica</td>
			<td style="width:163px;">M60 CMO</td>
			<td style="width:88px;"></td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;">Scanning transmission electron mircoscope with spherical aberration corrector</td>
			<td>JEOL</td>
			<td>ARM200F</td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;"></td>
			<td></td>
			<td></td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;">Liquid flow TEM specimen holder</td>
			<td>DENS Solutions</td>
			<td>Ocean</td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;">Microfluidic syringe pump</td>
			<td>Harvard Scientific</td>
			<td>PicoPlus</td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;">Plasma cleaner</td>
			<td>Gatan</td>
			<td>Solarus950</td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;">Chemicals</td>
			<td></td>
			<td></td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;">Acetone, Rotisolv&#160; Plus for HPLC</td>
			<td>Sigma-Aldrich</td>
			<td>7328.2</td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;">Water, chromasolv Plus for HPLC</td>
			<td>Sigma-Aldrich</td>
			<td>34877-2.5L</td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;">Ethanol, Rotisolv HPLC grade</td>
			<td>Carl Roth</td>
			<td>P076.2</td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;">Gold colloid citrate stabilized, diameter 30 nm</td>
			<td>British-Biocell</td>
			<td>EM.GC20</td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;">Materials</td>
			<td></td>
			<td></td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;">Base silicon microchips with silicon nitride membranes of 50 nm thickness and dimensions of 20 &#181;m x 0.40 mm</td>
			<td>DENS Solutions</td>
			<td>for Ocean system</td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;"></td>
			<td></td>
			<td></td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;">Spacer silicon microchips with silicon nitride membranes of 50 nm thickness, dimensions of 20 &#181;m x 0.40 mm, and spacer thickness of 200 nm</td>
			<td>DENS Solutions</td>
			<td>for Ocean system</td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;"></td>
			<td></td>
			<td></td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;"></td>
			<td></td>
			<td></td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;">Microfluidic peek tubing</td>
			<td>Upchurch Scientific</td>
			<td>1570</td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;">Plastic Replaceable tips Tweezers</td>
			<td></td>
			<td></td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr height="42">
			<td height="42" style="height:42px;width:408px;">(Anti-Magnetic Anti-Acid Stainless Steel body with ESD PVDF (SV) tips)</td>
			<td>ideal-tek</td>
			<td>2ASVR.SA</td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;">Teflon coated bent steel tweezers (EMS SA with &#34;PTFE&#34; Coating)</td>
			<td>Electron Microscopy Sciences</td>
			<td>78322-7Te</td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;">Teflon coated broad beak steel tweezers (EMS 2A &#34;PTFE&#34; Coating)</td>
			<td>Electron Microscopy Sciences</td>
			<td>78322-2ATe</td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;">Hamilton syringe, 1 mL, gastight (Model 1001 TLLX SYR)</td>
			<td>Hamilton</td>
			<td>81323</td>
			<td></td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;">Clean room tissue Sontara Micropure AP (224x224mm)</td>
			<td>DuPont</td>
			<td>Sontara MicroPure</td>
			<td></td>
		</tr>
	</tbody>
</table>

studying dynamic processes of nano-sized objects in liquid using scanning transmission electron microscopy

완전히 액체에 포함 된 샘플은 투과 전자 현미경 (TEM) 및 STEM에 대한 시편 홀더에 조립 된 미세 유체 챔버를 사용하여 주사 투과 전자 현미경 (STEM)와 나노 크기의 공간 해상도에서 공부 할 수 있습니다. 미세 유체 시스템은 얇은 실리콘 질화물 (SIN) 막 창을 지원하는 두 개의 실리콘 마이크로 칩으로 구성되어 있습니다. 이 문서에서는 샘플로드 및 데이터 수집의 기본 단계를 설명합니다. 무엇보다 중요한 액체 구획이 제대로 따라서 얇은 액체 층과 진공 밀봉을 제공 조립되어 있는지 확인하는 것입니다. 이 프로토콜은 또한 정확한 조립을 보장하기 위해 샘플 로딩 동안 수행하는데 필요한 테스트들을 포함한다. 샘플이 전자 현미경에 장착되면, 액정 두께를 측정 할 필요가있다. 너무 얇은 액체는 기포가 형성되면 액상의 부재를 나타낼 수있는 반면 잘못된 조립이 너무 두꺼운 액체 초래할 수있다. 마지막으로, 프로토콜공부하는 방법을 이미지를 촬영하는 방법과 동적 프로세스에 대해 설명합니다. AuNPs를 함유하는 샘플은 순수한 물과 식염수 모두 이미징된다.

액체 유통 TEM 홀더는 액체의 AuNPs의 동작을 연구하기 위해 사용되었다. AuNPs 안정적 순수 죄 막에 고정화하고, 액상 STEM (도 6)를 사용하여 나노 스케일 해상도 영상화 하였다. 우수한 콘트라스트를 강하게 산란 금을 얻었다. 이 삽입 된 액체 흐름 TEM 홀더 8 PA / cm²에 달 동안 건조 시료 측정 형광면상의 전류 밀도 20 PA / cm²이었다. 200㎚의 스페이서의 두께에 기초하여 예상 된 것보다 훨씬 더 큰 식 1, t 물 = 2.4 ± 0.5 μm의 사용. 그럼에도 불구하고, 두께는 나노 미터 공간 해상도와 AuNPs의 영상에 대한 너무 큰되지 않습니다. 액체 두께 때문에 마이크로 칩의 죄 막, 비 평탄도의 팽창, 파편이 마이크로 칩에있는에 스페이서가 설정 한 200 나노 미터보다 두꺼운했다. 16시 그 형태를 유지하지만, 반응성 방사선 분해 제품 (예 - 수성, H •, H +, • OH) 전자 빔의 상호 작용으로부터 기인 물은 AuNPs (15)의 형상의 변화를 선도하는 단일 금 원자를 산화 할 수있다. 액체 유동 시스템은 제 2 실험에 염화물 이온을 도입하는 데 사용 된 경우에는, 상기 AuNPs의 안정성 변경됨. 염화물 이온은 tetrachloroaureat의 형태로 산화 금 원자를 안정화시킬 수 있으며, AuCl 4 -. 그림 7은 결과와 유사한 천천히 STEM 이미징 시간 경과 시리즈 중에 용해 된 AuNPs가 16 이전에보고 된 것을 알 수있다. 사용 된 전자 선량률 들어, 30 nm의 크기를 용해 AuNPs ~ 300의했다. 물 공급에 AuNPs의 움직임<html> r은 세 번째 실험 (그림 8)에서 공부했다. 실험 전에, 액체 흐름 TEM 홀더 염의 흔적을 제거하기 위하여 세척 하였다. 첫 번째 실험과는 다른, 또 다른 샘플 준비 방법은 죄 막 (14)에 AuNPs의 약한 부착을 달성하기 위해 사용되었다. 용액을 건조시키는없이 본 실험에서 AuNP 용액 실리콘 마이크로 칩 상에 배치하고, 액체 흐름 TEM 홀더에 조립. 이러한 방식으로, AuNPs 쉽게 사용 선량률에서 촬상시의 SiN 막으로부터 분리. 나머지 AuNPs이 죄 창에 근접 시야 내에서 유지하면서 AuNPs 중 일부는 멀리 대량 솔루션에 시야에서 움직였다. 이러한 AuNPs의 이동이 관찰되었고, 결국은 응집. 잠시 후,이 덩어리는 죄 막에서 분리 및 시야에서 그리고 솔루션으로 이동했다. ntent &quot;FO : 유지-together.within 페이지 =&quot;1 &quot;&gt; <img alt="그림 6" src="/files/ftp_upload/54943/54943fig6.jpg" /> 그림 6 : 순수 계층의 상단에 지름에 AuNPs 30 나노 미터의 스캐닝 투과 전자 현미경 (STEM) 현미경 사진. 도시 된 이미지는 원본 이미지의 선택된 영역이다. 이미지 크기가 화소의 지속 시간은 19 μS이었고, 1024 X 024 픽셀이고, 화소 사이즈는 0.73 nm 인이었고, 배율 400,000X이었다. 전자 선량 따라서 7.1 × 104이었다 E - / nm². 상기 액체는 2.4 μm의 두께에 상당하는 계산하도록 형광면에서 측정 된 전류 밀도, 8 PA / cm 2이었다. <a href="https://ecsource-jove-com.remotexs.ntu.edu.sg/files/ftp_upload/54943/54943fig6large.jpg" target="_blank">이 그림의 더 큰 버전을 보려면 여기를 클릭하십시오.</a> <img alt="그림 7" src="/files/ftp_upload/54943/54943fig7.jpg" /> 그림 7 : 시간 경과 시리즈식염수에 AuNPs의 STEM 현미경 사진의. (AD) 이미지는 30 초 간격으로 STEM 이미지의 시간 경과 시리즈에서 추출 하였다. AuNPs 서서히 염화 이온의 존재의 결과로서 액체에 용해. 화소의 지속 시간이 2 μs의 시간 경과 일련의 프레임 시간시켰다 1.75 S이고, 화소 사이즈는 0.44 nm 인이었고, 배율 500,000X이었다. 이미지 당 전자 용량은 1.2 × 10 (4) 전자이었다 - / nm². 액체 두께는 2.4 μm의이었다. <a href="https://ecsource-jove-com.remotexs.ntu.edu.sg/files/ftp_upload/54943/54943fig7large.jpg" target="_blank">이 그림의 더 큰 버전을 보려면 여기를 클릭하십시오.</a> <img alt="그림 8" src="/files/ftp_upload/54943/54943fig8.jpg" /> 그림 8 : 순수한 물에 이동 AuNPs의 현미경 사진 STEM. 여러 가지가 화살표로 선택되어있는 AuNPs와 (A)의 SiN 막. (B) 모션 트랙선택한 AuNPs의 (A 참조). 일부 AuNPs은 영상의 시간 동안 시야에서 멀리 이동합니다. 나머지 AuNPs은 죄 막 따라 옆으로 이동하고 응집 시작합니다. 프레임 시간은 0.52 S이고, 1 μS이었다 중요한 클러스터 크기에 도달하면, 그것들은 막으로부터 파견 view.The 화소 체류 시간의 분야에서 벗어나, 화소 크기가 1.8 나노 미터이고, 배율 120,000X이었다. 이미지 당 전자 용량은 3.5 × 10 (2) 전자이었다 - / nm² 액체 두께는 2.4 μm의이었다. <a href="https://ecsource-jove-com.remotexs.ntu.edu.sg/files/ftp_upload/54943/54943fig8large.jpg" target="_blank">이 그림의 더 큰 버전을 보려면 여기를 클릭하십시오.</a>

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Studying Dynamic Processes of Nano-sized Objects in Liquid using Scanning Transmission Electron Microscopy

이 프로토콜은 나노 동적 프로세스의 관찰을 위해 사용 된 물 AuNPs의 투과 전자 현미경을 스캔하기위한 액체 유동 시편 홀더의 동작을 설명한다.

스캔 전송 전자 현미경을 사용하여 액체에 나노 크기의 개체의 동적 프로세스를 공부

Samples fully embedded in liquid can be studied at a nanoscale spatial resolution with Scanning Transmission Electron Microscopy (STEM) using a ...

studying-dynamic-processes-nano-sized-objects-liquid-using-scanning

Research

JoVE Journal

Engineering

12.6K 조회수.  INM-Leibniz Institute for New Materials.  이 프로토콜은 나노 동적 프로세스의 관찰을 위해 사용 된 물 AuNPs의 투과 전자 현미경을 스캔하기위한 액체 유동 시편 홀더의 동작을 설명한다. 

비디오: Studying Dynamic Processes of Nano-sized Objects in Liquid using Scanning Transmission Electron Microscopy

Revealing Dynamic Processes of Materials in Liquids Using Liquid Cell Transmission Electron Microscopy

The recent development for in situ transmission electron microscopy, which allows imaging through liquids with high spatial resolution, has attracted significant interests across the research fields of materials science, physics, chemistry and biology. The key enabling technology is a liquid cell. We fabricate liquid cells with thin viewing windows through a sequential microfabrication process, including silicon nitride membrane deposition, photolithographic patterning, wafer etching, cell bonding, etc. A liquid cell with the dimensions of a regular TEM grid can fit in any standard TEM sample holder. About 100 nanoliters reaction solution is loaded into the reservoirs and about 30 picoliters liquid is drawn into the viewing windows by capillary force. Subsequently, the cell is sealed and loaded into a microscope for in situ imaging. Inside the TEM, the electron beam goes through the thin liquid layer sandwiched between two silicon nitride membranes. Dynamic processes of nanoparticles in liquids, such as nucleation and growth of nanocrystals, diffusion and assembly of nanoparticles, etc., have been imaged in real time with sub-nanometer resolution. We have also applied this method to other research areas, e.g., imaging proteins in water. Liquid cell TEM is poised to play a major role in revealing dynamic processes of materials in their working environments. It may also bring high impact in the study of biological processes in their native environment.

We have developed a self-contained liquid cell, which allows imaging through liquids using a transmission electron microscope. Dynamic processes of nanoparticles in liquids can be revealed in real time with sub-nanometer resolution.

액체 셀 전송 전자 현미경을 사용하여 액체의 재료의 동적 프로세스를 공개

The recent development for in situ transmission electron microscopy, which allows imaging through liquids with high spatial resolution, has attracted ...

연구

공학

Scanning-probe Single-electron Capacitance Spectroscopy

The integration of low-temperature scanning-probe techniques and single-electron capacitance spectroscopy represents a powerful tool to study the electronic quantum structure of small systems - including individual atomic dopants in semiconductors. Here we present a capacitance-based method, known as Subsurface Charge Accumulation (SCA) imaging, which is capable of resolving single-electron charging while achieving sufficient spatial resolution to image individual atomic dopants. The use of a capacitance technique enables observation of subsurface features, such as dopants buried many nanometers beneath the surface of a semiconductor material1,2,3. In principle, this technique can be applied to any system to resolve electron motion below an insulating surface.
As in other electric-field-sensitive scanned-probe techniques4, the lateral spatial resolution of the measurement depends in part on the radius of curvature of the probe tip. Using tips with a small radius of curvature can enable spatial resolution of a few tens of nanometers. This fine spatial resolution allows investigations of small numbers (down to one) of subsurface dopants1,2. The charge resolution depends greatly on the sensitivity of the charge detection circuitry; using high electron mobility transistors (HEMT) in such circuits at cryogenic temperatures enables a sensitivity of approximately 0.01 electrons/Hz&frac12; at 0.3 K 5.

Scanning-probe single-electron capacitance spectroscopy facilitates the study of single-electron motion in localized subsurface regions. A sensitive charge-detection circuit is incorporated into a cryogenic scanning probe microscope to investigate small systems of dopant atoms beneath the surface of semiconductor samples.

스캐닝 프로브 단일 전자 용량 분광학

The integration of low-temperature scanning-probe techniques and single-electron capacitance spectroscopy represents a powerful tool to study the ...

Dynamic Pore-scale Reservoir-condition Imaging of Reaction in Carbonates Using Synchrotron Fast Tomography

Underground storage permanence is a major concern for carbon capture and storage. Pumping CO2 into carbonate reservoirs has the potential to dissolve geologic seals and allow CO2 to escape. However, the dissolution processes at reservoir conditions are poorly understood. Thus, time-resolved experiments are needed to observe and predict the nature and rate of dissolution at the pore scale. Synchrotron fast tomography is a method of taking high-resolution time-resolved images of complex pore structures much more quickly than traditional &#181;-CT. The Diamond Lightsource Pink Beam was used to dynamically image dissolution of limestone in the presence of CO2-saturated brine at reservoir conditions. 100 scans were taken at a 6.1 &#181;m resolution over a period of 2 hours. The images were segmented and the porosity and permeability were measured using image analysis and network extraction. Porosity increased uniformly along the length of the sample; however, the rate of increase of both porosity and permeability slowed at later times.

Synchrotron fast tomography was used to dynamically image dissolution of limestone in the presence of CO2-saturated brine at reservoir conditions. 100 scans were taken at a 6.1 &#181;m resolution over a period of 2 h.

싱크로 빠른 단층 촬영을 사용하여 탄산염의 반응의 동적 기공 규모의 저수지 조건 이미징

Underground storage permanence is a major concern for carbon capture and storage. Pumping CO2 into carbonate reservoirs has the potential to dissolve ...

In Depth Analyses of LEDs by a Combination of X-ray Computed Tomography (CT) and Light Microscopy (LM) Correlated with Scanning Electron Microscopy (SEM)

In failure analysis, device characterization and reverse engineering of light emitting diodes (LEDs), and similar electronic components of micro-characterization, plays an important role. Commonly, different techniques like X-ray computed tomography (CT), light microscopy (LM) and scanning electron microscopy (SEM) are used separately. Similarly, the results have to be treated for each technique independently. Here a comprehensive study is shown which demonstrates the potentials leveraged by linking CT, LM and SEM. In depth characterization is performed on a white emitting LED, which can be operated throughout all characterization steps. Major advantages are: planned preparation of defined cross sections, correlation of optical properties to structural and compositional information, as well as reliable identification of different functional regions. This results from the breadth of information available from identical regions of interest (ROIs): polarization contrast, bright and dark-field LM images, as well as optical images of the LED cross section in operation. This is supplemented by SEM imaging techniques and micro-analysis using energy dispersive X-ray spectroscopy.

In Depth Analyses of LEDs by a Combination of X-ray Computed Tomography CT and Light Microscopy LM Correlated with Scanning Electron Microscopy SEM

A workflow for comprehensive micro-characterization of active optical devices is outlined. It contains structural as well as functional investigations by means of CT, LM and SEM. The method is demonstrated for a white LED which can be still be operated during characterization.

(SEM) X 선 컴퓨터 단층 촬영 (CT) 및 주사 전자 현미경과 상관 광학 현미경 (LM)의 조합에 따라 LED를 깊이 분석에서

In failure analysis, device characterization and reverse engineering of light emitting diodes (LEDs), and similar electronic components of ...

Comprehensive Characterization of Extended Defects in Semiconductor Materials by a Scanning Electron Microscope

Extended defects such as dislocations and grain boundaries have a strong influence on the performance of microelectronic devices and on other applications of semiconductor materials. However, it is still under debate how the defect structure determines the band structure, and therefore, the recombination behavior of electron-hole pairs responsible for the optical and electrical properties of the extended defects. The present paper is a survey of procedures for the spatially resolved investigation of structural and of physical properties of extended defects in semiconductor materials with a scanning electron microscope (SEM). Representative examples are given for crystalline silicon. The luminescence behavior of extended defects can be investigated by cathodoluminescence (CL) measurements. They are particularly valuable because spectrally and spatially resolved information can be obtained simultaneously. For silicon, with an indirect electronic band structure, CL measurements should be carried out at low temperatures down to 5 K due to the low fraction of radiative recombination processes in comparison to non-radiative transitions at room temperature. For the study of the electrical properties of extended defects, the electron beam induced current (EBIC) technique can be applied. The EBIC image reflects the local distribution of defects due to the increased charge-carrier recombination in their vicinity. The procedure for EBIC investigations is described for measurements at room temperature and at low temperatures. Internal strain fields arising from extended defects can be determined quantitatively by cross-correlation electron backscatter diffraction (ccEBSD). This method is challenging because of the necessary preparation of the sample surface and because of the quality of the diffraction patterns which are recorded during the mapping of the sample. The spatial resolution of the three experimental techniques is compared.

The optical, electrical, and structural properties of dislocations and of grain boundaries in semiconductor materials can be determined by experiments performed in a scanning electron microscope. Electron microscopy has been used to investigate cathodoluminescence, electron beam induced current, and diffraction of backscattered electrons.

Extended defects such as dislocations and grain boundaries have a strong influence on the performance of microelectronic devices and on other applications ...

Precision Milling of Carbon Nanotube Forests Using Low Pressure Scanning Electron Microscopy

A nanoscale fabrication technique appropriate for milling carbon nanotube (CNT) forests is described. The technique utilizes an environmental scanning electron microscope (ESEM) operating with a low pressure water vapor ambient. In this technique, a portion of the electron beam interacts with the water vapor in the vicinity of the CNT sample, dissociating the water molecules into hydroxyl radicals and other species by radiolysis. The remainder of the electron beam interacts with the CNT forest sample, making it susceptible to oxidation from the chemical products of radiolysis. This technique may be used to trim a selected region of an individual CNT, or it may be used to remove hundreds of cubic microns of material by adjusting ESEM parameters. The machining resolution is similar to the imaging resolution of the ESEM itself. The technique produces only small quantities of carbon residue along the boundaries of the cutting zone, with minimal effect on the native structural morphology of the CNT forest.

Low pressure scanning electron microscopy in a water vapor ambient is used to machine nanoscale to microscale features in carbon nanotube forests.

저압 주사 전자 현미경을 사용하여 탄소 나노 튜브 숲의 정밀 밀링

A nanoscale fabrication technique appropriate for milling carbon nanotube (CNT) forests is described. The technique utilizes an environmental scanning ...

Characterization of Ultra-fine Grained and Nanocrystalline Materials Using Transmission Kikuchi Diffraction

One of the challenges in microstructure analysis nowadays resides in the reliable and accurate characterization of ultra-fine grained (UFG) and nanocrystalline materials. The traditional techniques associated with scanning electron microscopy (SEM), such as electron backscatter diffraction (EBSD), do not possess the required spatial resolution due to the large interaction volume between the electrons from the beam and the atoms of the material. Transmission electron microscopy (TEM) has the required spatial resolution. However, due to a lack of automation in the analysis system, the rate of data acquisition is slow which limits the area of the specimen that can be characterized. This paper presents a new characterization technique, Transmission Kikuchi Diffraction (TKD), which enables the analysis of the microstructure of UFG and nanocrystalline materials using an SEM equipped with a standard EBSD system. The spatial resolution of this technique can reach 2 nm. This technique can be applied to a large range of materials that would be difficult to analyze using traditional EBSD. After presenting the experimental set up and describing the different steps necessary to realize a TKD analysis, examples of its use on metal alloys and minerals are shown to illustrate the resolution of the technique and its flexibility in term of material to be characterized.

This paper provides a detailed method to characterize the microstructure of ultra-fine grained and nanocrystalline materials using a scanning electron microscope equipped with a standard electron backscatter diffraction system. Metal alloys and minerals presenting refined microstructures are analyzed using this technique, showing the diversity of its possible applications.

전송 키쿠치 회절을 사용하여 울트라 미세 그레인과 나노 결정 재료의 특성

One of the challenges in microstructure analysis nowadays resides in the reliable and accurate characterization of ultra-fine grained (UFG) and ...

A Method for Obtaining Serial Ultrathin Sections of Microorganisms in Transmission Electron Microscopy

Observing cells and cell components in three dimensions at high magnification in transmission electron microscopy requires preparing serial ultrathin sections of the specimen. Although preparing serial ultrathin sections is considered to be very difficult, it is rather easy if the proper method is used. In this paper, we show a step-by-step procedure for safely obtaining serial ultrathin sections of microorganisms. The key points of this method are: 1) to use the large part of the specimen and adjust the specimen surface and knife edge so that they are parallel to each other; 2) to cut serial sections in groups and avoid difficulty in separating sections using a pair of hair strands when retrieving a group of serial sections onto the slit grids; 3) to use a 'Section-holding loop' and avoid mixing up the order of the section groups; 4) to use a 'Water-surface-raising loop' and make sure the sections are positioned on the apex of the water and that they touch the grid first, in order to place them in the desired position on the grids; 5) to use the support film on an aluminum rack and make it easier to recover the sections on the grids and to avoid wrinkling of the support film; and 6) to use a staining tube and avoid accidentally breaking the support films with tweezers. This new method enables obtaining serial ultrathin sections without difficulty. The method makes it possible to analyze cell structures of microorganisms at high resolution in 3D, which cannot be achieved by using the automatic tape-collecting ultramicrotome method and serial block-face or focused ion beam scanning electron microscopy.

This study presents reliable and easy procedures for obtaining serial ultrathin sections of a microorganism without expensive equipment in transmission electron microscopy.

전송 전자 현미경 검사 법에서 미생물의 직렬 Ultrathin 섹션을 얻기위한 방법

Observing cells and cell components in three dimensions at high magnification in transmission electron microscopy requires preparing serial ultrathin ...

Single-Digit Nanometer Electron-Beam Lithography with an Aberration-Corrected Scanning Transmission Electron Microscope

We demonstrate extension of electron-beam lithography using conventional resists and pattern transfer processes to single-digit nanometer dimensions by employing an aberration-corrected scanning transmission electron microscope as the exposure tool. Here, we present results of single-digit nanometer patterning of two widely used electron-beam resists: poly (methyl methacrylate) and hydrogen silsesquioxane. The method achieves sub-5 nanometer features in poly (methyl methacrylate) and sub-10 nanometer resolution in hydrogen silsesquioxane. High-fidelity transfer of these patterns into target materials of choice can be performed using metal lift-off, plasma etch, and resist infiltration with organometallics.

We use an aberration-corrected scanning transmission electron microscope to define single-digit nanometer patterns in two widely-used electron-beam resists: poly (methyl methacrylate) and hydrogen silsesquioxane. Resist patterns can be replicated in target materials of choice with single-digit nanometer fidelity using liftoff, plasma etching, and resist infiltration by organometallics.

자리 나노미터 전자 빔 리소 그래피는 수 차 수정 스캐닝 전송 전자 현미경으로

We demonstrate extension of electron-beam lithography using conventional resists and pattern transfer processes to single-digit nanometer dimensions by ...

In Situ Transmission Electron Microscopy with Biasing and Fabrication of Asymmetric Crossbars Based on Mixed-Phased a-VOx

Resistive switching crossbar architecture is highly desired in the field of digital memories due to low cost and high-density benefits. Different materials show variability in resistive switching properties due to the intrinsic nature of the material used, leading to discrepancies in the field because of underlying operation mechanisms. This highlights a need for a reliable technique to understand mechanisms using nanostructural observations. This protocol explains a detailed process and methodology of in&#160;situ nanostructural analysis as a result of electrical biasing using transmission electron microscopy (TEM). It provides visual and reliable evidence of underlying nanostructural changes in real time memory operations. Also included is the methodology of fabrication and electrical characterizations for asymmetric crossbar structures incorporating amorphous vanadium oxide. The protocol explained here for vanadium oxide films can be easily extended to any other materials in a metal-dielectric-metal sandwiched structure. Resistive switching crossbars are predicted to serve the programmable logic and neuromorphic circuits for next-generation memory devices, given the understanding of the operation mechanisms. This protocol reveals the switching mechanism in a reliable, timely, and cost-effective way in any type of resistive switching materials, and thereby predicts the device&#39;s applicability.

In Situ Transmission Electron Microscopy with Biasing and Fabrication of Asymmetric Crossbars Based on Mixed-Phased a-VOx

Presented here is a protocol for analyzing nanostructural changes during in&#160;situ biasing with transmission electron microscopy (TEM) for a stacked metal-insulator-metal structure. It has significant applications in resistive switching crossbars for the next generation of programmable logic circuits and neuromimicking hardware, to reveal their underlying operation mechanisms and practical applicability.