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Nanyang Technological University重度不足減衰フリンジフィールド静電MEMSアクチュエータに時間改善スイッチング用リアルタイムDC-ダイナミックバイアス方式
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August 15th, 2014
DOI :
August 15th, 2014
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この動画の章
0:05
Title
1:08
Fabrication of Electrostatic Fringing-field Actuated (EFFA) MEMS Fixed-fixed Beams
8:28
Experimental Validation of Dynamic Waveform Biasing
10:23
Results: Measured Pull-down and Released States of a MEMS Bridge
11:16
Conclusion
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