Diseño y metodología de caracterización para filtros de MEMS Tunable eficiente toda la gama

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15:25 min

•

February 4th, 2018

DOI :

10.3791/56371-v

February 4th, 2018

•

Hasan Goktas¹

¹Department of Electrical and Electronic Engineering, Harran University

Resumen

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Ingenier a

edici n 132

microelectromec nicos MEMS los sistemas los filtros

semiconductor de xido met lico complementario CMOS MEMS

microresonator

amplia gama sintonizaci n de frecuencia activa

modo de alta resonancia

Joule calefacci n

cohesi n

l ser Vibr metro Doppler LDV

Capítulos en este video

0:00

Title

2:51

Selecting and Designing Optimum Structure

3:31

Modeling and Fabrication on CMOS

5:39

Device Testing: Thermal Camera Test for Embedded Heaters

6:27

Device Testing: Calibrating LDV and Test Setup

9:19

Device Testing: Testing 68μm Long MEMS Filters via LDV

10:32

Device Testing: Higher Mode Measurement

11:01

Avoiding Device Failures

11:45

Avoiding Failures: High Thermal Stress and Burning

12:10

Boosting The Tuning Capability

13:16

Results

14:07

Conclusion

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