وتستند هذه المواد على العمل بدعم من صندوق البدء في جامعة مينيسوتا، والمدن التوأم. نفذت أجزاء من هذا العمل في مرفق توصيف، جامعة مينيسوتا، وهو عضو في المواد أبحاث شبكة المرافق تمول NSF (www.mrfn.org) عن طريق برنامج MRSEC. ونفذ جزء من هذا العمل أيضا في مركز مينيسوتا نانو التي تتلقى دعما جزئيا من جبهة الخلاص الوطني من خلال برنامج NNCI.

تحذير: العديد من المواد الكيميائية المستخدمة في هذه التوليفات سامة أو قابلة للاشتعال للغاية، ويمكن أن يسبب تهيج وتلف الجهاز شديد عند لمسها أو استنشاقها. يرجى ارتداء معدات الوقاية الشخصية المناسبة (PPE) عند التعامل مع. 1. إعداد الطبقة الأولى من الذهب (الاتحاد الافريقي) عمود نانوي صالحة (الشكل 2A-ج و2E الشكل-ز) <ol style=";text-align:right;direction:rtl"><li style=";text-align:right;direction:rtl"> إعداد النحاس (النحاس) طبقات البذور ل Au الكهربائي (الشكل 2A، B و 2E الشكل، و) <ol style=";text-align:right;direction:rtl"><li style=";text-align:right;direction:rtl"> استخدام 4 &quot;مقاومة عالية السيليكون (سي) رقاقة (المقاومة: 560-840 Ω · سم) والركيزة وسي ويفر هو N-نوع مخدر ومصقول على جانب واحد (الشكل 2A، ه). </li><li style=";text-align:right;direction:rtl"> قطع سي ويفر إلى 2 سم × 2.5 سم قطعة لاستخدامها لاحقا. </li><li style=";text-align:right;direction:rtl"> إيداع طبقة 5 نانومتر الكروم (الكروم) على عينة سي باستخدام شعاع الإلكترون (E-شعاع) عملية التبخر باعتبارها طبقة التصاق بين سي والنحاس. </li><li style=";text-align:right;direction:rtl"> إيداع النحاس طبقة 10 نانومتر على الجزء العلوي من طبقة الكروم الموجودة باستخدامشعاع E عملية التبخر والطبقة البذور ل Au الكهربائي (الشكل 2B، و). </li></ol></li><li style=";text-align:right;direction:rtl"> الطلاء الكهربائي للعمود نانوي مجموعة الاتحاد الافريقي (الشكل 2C، ز) <ol style=";text-align:right;direction:rtl"><li style=";text-align:right;direction:rtl"> الزخرفة مجموعة عمود نانوي <ol style=";text-align:right;direction:rtl"><li style=";text-align:right;direction:rtl"> تدور معطف مقاوم الضوء على عينة أعدت في القسم 1.1 في 2000 دورة في الدقيقة لمدة 60 ثانية. </li><li style=";text-align:right;direction:rtl"> خبز العينة على طبق ساخن عند 115 درجة مئوية لمدة 60 ثانية. </li><li style=";text-align:right;direction:rtl"> كشف مقاومة للضوء تحت الأشعة فوق البنفسجية (UV) خفيفة (قوة ~ 15 ميغاواط / سم 2) مع الضوئية الرئيسية الكروم التي تحتوي على الآلاف من أنماط عمود نانوي لمدة 22 ثانية. </li><li style=";text-align:right;direction:rtl"> تطوير مع المطور لمدة 90 ق مع الإثارة. </li><li style=";text-align:right;direction:rtl"> شطف العينة مع منزوع الأيونات الماء (DI) ومجففا للعينة مع بندقية الهواء. </li></ol></li><li style=";text-align:right;direction:rtl"> الطلاء الكهربائي للعمود نانوي مجموعة الاتحاد الافريقي <ol style=";text-align:right;direction:rtl"><li style=";text-align:right;direction:rtl"> إزالة القسم العلوي من مقاوم الضوء على عينة مع الأسيتون لفضح طبقة البذور النحاس للاتصال الكهربائي. </li><li style=";text-align:right;direction:rtl"> ربط سامسبيل (طبقة البذور النحاس) إلى الطرف السالب من المتر المصدر باستخدام المشبك والأسلاك. في هذه الحالة، تكون العينة الأنود خلال عملية الطلاء الكهربائي. </li><li style=";text-align:right;direction:rtl"> ربط قطعة من البلاتين (حزب العمال) المغلفة سي (نفس حجم العينة) إلى الطرف الموجب للمتر المصدر. وحزب العمال هو القطب السالب خلال عملية الطلاء الكهربائي. </li><li style=";text-align:right;direction:rtl"> غمر كل من القطب السالب حزب العمال والنحاس القطب الموجب في حل الكهربائي الاتحاد الافريقي. الحفاظ على القطبين في مواجهة بعضهما البعض بمسافة ~ 1 سم. </li><li style=";text-align:right;direction:rtl"> تشغيل متر المصدر وتوفير الجهد المستمر 1.12 خامسا بالكهرباء الاتحاد الافريقي على العينة لمدة 8 دقائق (معدل الترسيب: ~ 100 نانومتر / دقيقة). </li><li style=";text-align:right;direction:rtl"> شطف العينة مع الماء DI، تليها الأسيتون لإزالة مقاومة للضوء. </li><li style=";text-align:right;direction:rtl"> شطف العينة مع الماء DI مرة أخرى وضربة الجافة مع بندقية الهواء. </li><li style=";text-align:right;direction:rtl"> تفقد مطلي الاتحاد الافريقي عمود نانوي مجموعة تحت المجهر. </li><li style=";text-align:right;direction:rtl"> قياس سمك عمود نانوي الاتحاد الافريقي مع profilometer (سمكعمود نانوي او غير ~ 800 نانومتر). ملاحظة: يمكن أيضا ثابت الحالي مجموعة المتابعة أن تستخدم لبالكهرباء عمود نانوي الاتحاد الافريقي. في كل الجهد المستمر ومستمرة التكوينات الراهنة، ومثالية الجهد الحالي وتستخدم ل Au الكهربائي يمكن أن يتحقق عن طريق التجربة والخطأ. </li></ol></li></ol></li></ol> 2. إنشاء نانو الفجوات بين الاتحاد الافريقي عمود نانوي (الشكل 2D، ح) <ol style=";text-align:right;direction:rtl"><li style=";text-align:right;direction:rtl"> إزالة الكروم والنحاس طبقات <ol style=";text-align:right;direction:rtl"><li style=";text-align:right;direction:rtl"> غمر العينة في النحاس منمش حتى يختفي اللون النحاس. </li><li style=";text-align:right;direction:rtl"> شطف العينة بالماء DI وضربة الجافة مع بندقية الهواء. </li><li style=";text-align:right;direction:rtl"> تفقد عمود نانوي الاتحاد الافريقي تحت المجهر. </li><li style=";text-align:right;direction:rtl"> غمر العينة في الكروم قناع منمش لمدة 10 ثانية. </li><li style=";text-align:right;direction:rtl"> شطف العينة بالماء DI وضربة الجافة مع بندقية الهواء. </li><li style=";text-align:right;direction:rtl"> تفقد عمود نانوي الاتحاد الافريقي تحت المجهر. </li></ol></li><li style=";text-align:right;direction:rtl"> تصنيع أكسيد الألومنيوم نانو النطاق (آل 2 يا 3) الثغرات <ol style=";text-align:right;direction:rtl"><li style=";text-align:right;direction:rtl"> تسخين شام نظام ALDالبر إلى 200 درجة مئوية. </li><li style=";text-align:right;direction:rtl"> وضع العينة في وسط الغرفة. </li><li style=";text-align:right;direction:rtl"> ضخ أسفل غرفة إلى فراغ وتعيين عدد دورة إلى 100 (معدل الترسيب: ~ 1 A / دورة). </li><li style=";text-align:right;direction:rtl"> بالتتابع وبدلا من ذلك النبض ثلاثي ميثيل ألومنيوم (TMA) الغاز مع فترة زمنية من 0.015 الصورة والماء (H 2 O) بخار مع فترة زمنية من 0.015 الصورة في غرفة لإيداع موحد آل 2 يا 3 طبقات على العينة. الفجوة الزمنية بين كل نبضة هو 5 ثوان. وضغط الغرفة خلال نبض TMA 10 عربة والضغط أثناء H 2 O بخار النبض هو 2 عربة. </li><li style=";text-align:right;direction:rtl"> تطهير وفراغ الغرفة بين كل دورة من ترسب. إيداع آل 2 يا 3 لمدة 100 دورات وإخراج عينة من الغرفة. </li><li style=";text-align:right;direction:rtl"> قياس سماكة محددة المدة آل 2 يا 3 باستخدام ellipsometer. </li></ol></li></ol> 3. إعداد الطبقة الثانية من الاتحاد الافريقي رقيقة (الشكل 2I-لتر والشكل 2M-ع) <ol style=";text-align:right;direction:rtl"><li style=";text-align:right;direction:rtl"> إعداد طبقات البذور النحاس ل Au الكهربائي (الشكل 2I، م) <ol style=";text-align:right;direction:rtl"><li style=";text-align:right;direction:rtl"> وضع العينة في وسط لصاحب العينة المبخر شعاع E. </li><li style=";text-align:right;direction:rtl"> إيقاف دوران العينة في المبخر شعاع E. </li><li style=";text-align:right;direction:rtl"> إيداع الكروم طبقة 5 نانومتر على العينة ليكون بمثابة طبقة التصاق بين آل 2 يا 3 والنحاس. استخدام عملية التبخر شعاع E دون دوران العينة. </li><li style=";text-align:right;direction:rtl"> إيداع 10 نانومتر النحاس في أعلى طبقة الكروم القائمة باستخدام عملية التبخر شعاع E دون دوران عينة كطبقة البذور ل Au الكهربائي. </li></ol></li><li style=";text-align:right;direction:rtl"> الكهربائي الفيلم الاتحاد الافريقي رقيقة (الشكل 2J، ن) <ol style=";text-align:right;direction:rtl"><li style=";text-align:right;direction:rtl"> ربط العينة (طبقة البذور النحاس) إلى السالب للمتر المصدر باستخدام المشبك والأسلاك. في هذه الحالة، تكون العينة الأنود خلال عملية الطلاء الكهربائي. </li><li style=";text-align:right;direction:rtl"> توصيل القطب السالب حزب العمال إلى الطرف الموجب للمتر المصدر. </li><li style=";text-align:right;direction:rtl"> غمر كل من القطب السالب حزب العمال والنحاس انوده في حل الكهربائي الاتحاد الافريقي. الحفاظ على القطبين في مواجهة بعضهما البعض بمسافة ~ 1 سم. </li><li style=";text-align:right;direction:rtl"> تشغيل متر المصدر وانشاء الجهد المستمر من 1.35 V وبالكهرباء الاتحاد الافريقي على العينة لمدة 16 دقيقة. </li><li style=";text-align:right;direction:rtl"> شطف العينة بالماء DI وضربة الجافة مع بندقية الهواء. </li><li style=";text-align:right;direction:rtl"> تفقد الاتحاد الافريقي مطلي ومطلي سابقا الاتحاد الافريقي عمود نانوي مجموعة تحت المجهر. </li><li style=";text-align:right;direction:rtl"> قياس سمك عمود نانوي الاتحاد الافريقي مع profilometer (سمك عمود نانوي الاتحاد الافريقي هو ~ 400 نانومتر). ملاحظة: على غرار الكهربائي الاتحاد الافريقي في القسم 1.2.2، ثابت الحالي مجموعة المتابعة يمكن أن تستخدم أيضا لبالكهرباء الاتحاد الافريقي رقيقة. في كل الجهد المستمر ومستمرة التكوينات الراهنة، ومثالية الجهد الحالي وتستخدم ل Au الكهربائي يمكن أن يتحقق عن طريق التجربة والخطأ. </li></ol></li><li style=";text-align:right;direction:rtl"> إزالة الكروم والنحاس طبقات (الشكل 2K، س) <ol style=";text-align:right;direction:rtl"><li style=";text-align:right;direction:rtl"> غمر العينة في النحاس منمش لمدة 10 ثانية. </li><li style=";text-align:right;direction:rtl"> شطف العينة مع DI والماءد ضربة الجافة مع بندقية الهواء. </li><li style=";text-align:right;direction:rtl"> تفقد عمود نانوي الاتحاد الافريقي تحت المجهر. </li><li style=";text-align:right;direction:rtl"> غمر العينة في الكروم قناع منمش لمدة 10 ثانية. </li><li style=";text-align:right;direction:rtl"> شطف العينة بالماء DI وضربة الجافة مع بندقية الهواء. </li><li style=";text-align:right;direction:rtl"> تفقد عمود نانوي الاتحاد الافريقي تحت المجهر. ملاحظة: بدلا من ذلك، غمر العينة في الاتحاد الافريقي حل الكهربائي مرة أخرى لإيداع طبقة إضافية من الاتحاد الافريقي في أعلى طبقة الاتحاد الافريقي مطلي الثانية بعد إزالة الكروم والنحاس (الخطوة 3.3). هذه الطبقة الاتحاد الافريقي إضافية تزيد من سمك الكلي للطبقة الثانية للاتحاد ويضمن اتصال جيد بين طبقة الاتحاد الافريقي وطبقة آل 2 يا 3 (الشكل 2I، ع). </li></ol></li></ol> 4. تعريف C-شكل SRR (الشكل 2Q-الصورة والشكل، 2U ث) <ol style=";text-align:right;direction:rtl"><li style=";text-align:right;direction:rtl"> الزخرفة على SRR C-الشكل (الشكل 2Q، ش) <ol style=";text-align:right;direction:rtl"><li style=";text-align:right;direction:rtl"> تدور معطف مقاوم الضوء على العينة في 2000 دورة في الدقيقة لمدة 60 ثانية. </li><li style=";text-align:right;direction:rtl"> خبز العينة على طبق ساخن من 115 درجة مئوية لمدة 60 ثانية. </li><lط&gt; كشف مقاومة للضوء تحت ضوء الأشعة فوق البنفسجية (قوة ~ 15 ميغاواط / سم 2) مع الضوئية الرئيسية الكروم لمدة 22 ثانية. </li><li style=";text-align:right;direction:rtl"> تطوير مع المطور لمدة 90 ق مع الإثارة. </li><li style=";text-align:right;direction:rtl"> شطف العينة بالماء DI ومجففا للعينة مع بندقية الهواء. </li></ol></li><li style=";text-align:right;direction:rtl"> تعريف C-الشكل باستخدام طاحونة أيون (الشكل 2R، والخامس والشكل 2S، ث) <ol style=";text-align:right;direction:rtl"><li style=";text-align:right;direction:rtl"> إرفاق العينة على صاحب العينة ايون مطحنة باستخدام النحاس الشريط موصل على الوجهين. </li><li style=";text-align:right;direction:rtl"> تهدئة غرفة ايون مطحنة إلى 6 درجات مئوية. </li><li style=";text-align:right;direction:rtl"> ايون طاحونة العينة مع الجهد شعاع من 300 V وشعاع الحالية من 125 مللي أمبير ل~ 30 دقيقة. </li><li style=";text-align:right;direction:rtl"> إخراج عينة وفحص عمود نانوي الاتحاد الافريقي خارج C-الشكل. </li><li style=";text-align:right;direction:rtl"> كرر الخطوة 4.2.3 و4.2.4 إذا الاتحاد الافريقي لا تزال واضحة خارج C-الشكل. </li><li style=";text-align:right;direction:rtl"> يصوتن العينة في الأسيتون لإزالة مقاومة للضوء. </li><li style=";text-align:right;direction:rtl"> شطف العينة بالماء DI وضربة الجافة مع بندقية الهواء. </li><li style=";text-align:right;direction:rtl"> تفقد العينة تحت المجهر. </li><li style=";text-align:right;direction:rtl"> كرر الخطوة 4.2.6 و 4.2.7 إذا لم يتم إزالة مقاومة للضوء بشكل كامل. ملاحظة: بدلا من ذلك، وتطبيق الأوكسجين مقاومة تليين خطوات لمقاومة للضوء قبل إزالة مقاومة للضوء. ومع ذلك، حمام صوتنة هو الأسلوب الأكثر فعالية لإزالة مقاومة للضوء إذا كان ذلك ممكنا. </li></ol></li></ol> 5. إزالة آل 2 يا 3 للطيران نانو الثغرات (الشكل 2T، خ) <ol style=";text-align:right;direction:rtl"><li style=";text-align:right;direction:rtl"> غمر العينة في 5٪ محلول فلوريد الهيدروجين (HF) لمدة 5 دقائق لإزالة آل 2 يا 3. </li><li style=";text-align:right;direction:rtl"> شطف العينة بالماء DI وضربة الجافة مع بندقية الهواء. </li></ol>

<ol>
	<li>Xu, X., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Flexible+visible-infrared+metamaterials+and+their+applications+in+highly+sensitive+chemical+and+biological+sensing.">Flexible visible-infrared metamaterials and their applications in highly sensitive chemical and biological sensing.</a> Nano Lett. 11 (8), 3232-3238 (2011).</li><li>Singh, R., Cao, W., Al-Naib, I., Cong, L., Withayachumnankul, W., Zhang, W. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Ultrasensitive+terahertz+sensing+with+high-Q+Fano+resonances+in+metasurfaces.">Ultrasensitive terahertz sensing with high-Q Fano resonances in metasurfaces.</a> Appl. Phys. Lett. 105 (17), 171101 (2014).</li><li>Torun, H., Top, F. C., Dundar, G., Yalcinkaya, A. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=An+antenna-coupled+split-ring+resonator+for+biosensing.">An antenna-coupled split-ring resonator for biosensing.</a> J. Appl. Phys. 116 (12), 124701 (2014).</li><li>Chen, T., Li, S., Sun, H. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Metamaterials+application+in+sensing.">Metamaterials application in sensing.</a> Sensors. 12 (3), 2742-2765 (2012).</li><li>Jaruwongrungsee, K., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Microfluidic-based+Split-Ring-Resonator+Sensor+for+Real-time+and+Label-free+Biosensing.">Microfluidic-based Split-Ring-Resonator Sensor for Real-time and Label-free Biosensing.</a> Procedia Eng. 120, 163-166 (2015).</li><li>Han, J., Lakhtakia, A. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Semiconductor+split-ring+resonators+for+thermally+tunable+terahertz+metamaterials.">Semiconductor split-ring resonators for thermally tunable terahertz metamaterials.</a> J. Mod. Optic. 56 (4), 554-557 (2009).</li><li>Melik, R., Unal, E., Perkgoz, N. K., Puttlitz, C., Demir, H. V. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Flexible+metamaterials+for+wireless+strain+sensing.">Flexible metamaterials for wireless strain sensing.</a> Appl. Phys. Lett. 95 (18), 181105 (2009).</li><li>Naqui, J., Dur&#225;n-Sindreu, M., Mart&#237;n, F. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Alignment+and+position+sensors+based+on+split+ring+resonators.">Alignment and position sensors based on split ring resonators.</a> Sensors. 12 (9), 11790-11797 (2012).</li><li>Chiam, S., Singh, R., Gu, J., Han, J., Zhang, W., Bettiol, A. A. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Increased+frequency+shifts+in+high+aspect+ratio+terahertz+split+ring+resonators.">Increased frequency shifts in high aspect ratio terahertz split ring resonators.</a> Appl. Phys. Lett. 94 (6), 064102 (2009).</li><li>Gil, I., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Varactor-loaded+split+ring+resonators+for+tunable+notch+filters+at+microwave+frequencies.">Varactor-loaded split ring resonators for tunable notch filters at microwave frequencies.</a> Electron. Lett. 40 (21), 1347-1348 (2004).</li><li>Driscoll, T., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Tuned+permeability+in+terahertz+split-ring+resonators+for+devices+and+sensors.">Tuned permeability in terahertz split-ring resonators for devices and sensors.</a> Appl. Phys. Lett. 91 (6), 062511 (2007).</li><li>Liu, C., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Displacement+Current+Mediated+Resonances+in+Terahertz+Metamaterials.">Displacement Current Mediated Resonances in Terahertz Metamaterials.</a> Adv. Opt. Mater. 4 (8), 1302-1309 (2016).</li><li>Huang, M., Zhao, F., Cheng, Y., Xu, N., Xu, Z. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Large+area+uniform+nanostructures+fabricated+by+direct+femtosecond+laser+ablation.">Large area uniform nanostructures fabricated by direct femtosecond laser ablation.</a> Opt. Express. 16 (23), 19354-19365 (2008).</li><li>Broers, A., Molzen, W., Cuomo, J., Wittels, N. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Electron-beam+fabrication+of+80-&#197;+metal+structures.">Electron-beam fabrication of 80-&#197; metal structures.</a> Appl. Phys. Lett. 29 (9), 596-598 (1976).</li><li>Isaacson, M., Muray, A. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Insitu+vaporization+of+very+low+molecular+weight+resists+using+1/2+nm+diameter+electron+beams.">Insitu vaporization of very low molecular weight resists using 1/2 nm diameter electron beams.</a> J. Vac. Sci. Technol. 19 (4), 1117-1120 (1981).</li><li>Yang, J. K., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Understanding+of+hydrogen+silsesquioxane+electron+resist+for+sub-5-nm-half-pitch+lithography.">Understanding of hydrogen silsesquioxane electron resist for sub-5-nm-half-pitch lithography.</a> J. Vac. Sci. Technol. B. 27 (6), 2622-2627 (2009).</li><li>Duan, H., Yang, J. K., Berggren, K. K. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Controlled+Collapse+of+High-Aspect-Ratio+Nanostructures.">Controlled Collapse of High-Aspect-Ratio Nanostructures.</a> Small. 7 (18), 2661-2668 (2011).</li><li>Cord, B., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Limiting+factors+in+sub-10nm+scanning-electron-beam+lithography.">Limiting factors in sub-10nm scanning-electron-beam lithography.</a> J. Vac. Sci. Technol. B. 27 (6), 2616-2621 (2009).</li><li>Manfrinato, V. R., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Resolution+limits+of+electron-beam+lithography+toward+the+atomic+scale.">Resolution limits of electron-beam lithography toward the atomic scale.</a> Nano Lett. 13 (4), 1555-1558 (2013).</li><li>Ashraf, M., Sreenath, A., Chollet, F. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Low-cost+mould+for+nano-imprinting+uses+monolayer+of+self-organized+nanospheres.">Low-cost mould for nano-imprinting uses monolayer of self-organized nanospheres.</a> SPIE Newsroom. , (2007).</li><li>Hu, T., Gao, Y., Wang, Z., Tang, Z. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=One-dimensional+self-assembly+of+inorganic+nanoparticles.">One-dimensional self-assembly of inorganic nanoparticles.</a> Front. Phys. China. 4, 487-496 (2009).</li><li>Kitching, H., Shiers, M. J., Kenyon, A. J., Parkin, I. P. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Self-assembly+of+metallic+nanoparticles+into+one+dimensional+arrays.">Self-assembly of metallic nanoparticles into one dimensional arrays.</a> J. Mater. Chem. A. 1 (24), 6985-6999 (2013).</li><li>Klinkova, A., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Structural+and+optical+properties+of+self-assembled+chains+of+plasmonic+nanocubes.">Structural and optical properties of self-assembled chains of plasmonic nanocubes.</a> Nano Lett. 14 (11), 6314-6321 (2014).</li><li>Caswell, K., Wilson, J. N., Bunz, U. H., Murphy, C. J. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Preferential+end-to-end+assembly+of+gold+nanorods+by+biotin-streptavidin+connectors.">Preferential end-to-end assembly of gold nanorods by biotin-streptavidin connectors.</a> J. Am. Chem. Soc. 125 (46), 13914-13915 (2003).</li><li>Liu, K., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Step-growth+polymerization+of+inorganic+nanoparticles.">Step-growth polymerization of inorganic nanoparticles.</a> Science. 329 (5988), 197-200 (2010).</li><li>Nie, Z., Fava, D., Kumacheva, E., Zou, S., Walker, G. C., Rubinstein, M. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Self-assembly+of+metal-polymer+analogues+of+amphiphilic+triblock+copolymers.">Self-assembly of metal-polymer analogues of amphiphilic triblock copolymers.</a> Nat. Mater. 6 (8), 609-614 (2007).</li><li>Chen, X., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Atomic+layer+lithography+of+wafer-scale+nanogap+arrays+for+extreme+confinement+of+electromagnetic+waves.">Atomic layer lithography of wafer-scale nanogap arrays for extreme confinement of electromagnetic waves.</a> Nat. Commun. 4 (2361), (2013).</li><li>Nam, S., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/entrez/query.fcgi?db=PubMed&cmd=Search&doptcmdl=Citation&defaultField=Title+Word&term=Sub-10-nm+nanochannels+by+self-sealing+and+self-limiting+atomic+layer+deposition.">Sub-10-nm nanochannels by self-sealing and self-limiting atomic layer deposition.</a> Nano Lett. 10 (9), 3324-3329 (2010).</li></ol>

الكتاب ليس لديهم ما يكشف.

هذه التقنية تلفيق لها مزايا كبيرة لإنشاء هياكل نانو النطاق على الطرق القائمة، مثل الطباعة الحجرية E-الحزم والتجميع الذاتي. أولا، وهياكل نانو النطاق يمكن أن تتحقق على مساحة واسعة (على رقاقة بأكمله) باستخدام الضوئية الرئيسية التي يتميز صفائف عمود نانوي، وهي ليست عملية مع عملية الطباعة الحجرية شعاع E. ثانيا، تستخدم عملية تلفيق عملية التقليدية على نطاق ورقاقة صغيرة تلفيق، وهو أسرع بكثير وأبسط، وأقل تكلفة مقارنة E-شعاع الطباعة الحجرية. ثالثا، نانو الثغرات المستوى الذري يمكن أن تنشأ بسهولة عن طريق عملية محددة المدة مع أحجام ميزة تسيطر على وجه التحديد. الكروم والنحاس E-شعاع التبخير دون دوران عينة تسمح الكروم والنحاس ترسب مباشرة على الركيزة مع ترسب جدار أدنى حد ممكن. هذا أمر بالغ الأهمية لعملية الطلاء الكهربائي الاتحاد الافريقي التالية بسبب الاتحاد الافريقي لا يمكن مطلي على طبقة البذور النحاس متصل متر المصدر. منذ طبقة النحاس<html> يتم قطع الصورة في أعلى عمود نانوي الاتحاد الافريقي مع طبقة النحاس على الركيزة والاتحاد الافريقي لا يمكن مطلي على الركيزة. نوعية وسمك الاتحاد الافريقي مطلي تعتمد على الجهد الكهربائي / الحالي والوقت الكهربائي. الجهد العالي / الحالي يؤدي إلى معدل الترسيب عالية. ومع ذلك، يمكن أن ارتفاع الجهد / الحالي أيضا يؤدي إلى تدني نوعية الاتحاد الافريقي الترسيب. مطلي الاتحاد الافريقي مع جودة منخفضة والموصلية الكهربائية أقل بالمقارنة مع المواد الاتحاد الافريقي القياسية، فضلا عن الكثير من الفراغات في الاتحاد الافريقي، مما يقلل من كثافة النزوح الحالية تعميم SRR، مما يؤدي إلى سلوك الرنانة ضعيفة وحجم أقل من قمم الرنانة . ولذلك، فإن الجهد المناسب / الحالي هو ضروري لتحقيق جودة عالية عمود نانوي الاتحاد الافريقي. الجلفنة الوقت والجهد / الحالي يجب أيضا تسيطر على وجه التحديد للتأكد من أن سمك طبقة رقيقة الاتحاد الافريقي (الطبقة الثانية من الاتحاد الافريقي) هو أقل من ذلك للعمود نانوي الاتحاد الافريقي (الطبقة الأولى من الاتحاد الافريقي). &quot;jove_content&quot;&gt; 100 دورات محددة المدة يمكن أن يحقق حوالي 10 نانومتر سميكة آل 2 يا 3 طبقة على حد سواء الركيزة سي والجدران الجانبية للعمود نانوي الاتحاد الافريقي. معدل الترسيب وجودة آل 2 يا 3 أودعتها محددة المدة يعتمد على درجة حرارة التفاعل داخل الغرفة. ينصح درجة حرارة التفاعل من أعلى من 200 درجة مئوية إلى تحقيق الجودة العالية آل 2 يا 3 أفلام. عدد دورة ودرجة الحرارة يمكن أن تسيطر على وجه التحديد للحصول على آل 2 يا 3 طبقة بسماكة المطلوب. حجم النانو الثغرات (الشكل 3H) هو أمر حاسم لتحقيق درجة عالية من العوامل س من الممثلين شبه الإقليميين القائم على عمود نانوي. زيادة حجم النانو الفجوة يزيد من تخزين الطاقة داخل النانو الثغرات، الأمر الذي يؤدي إلى ارتفاع Q-عامل. ولكن حجم النانو الثغرات التي لا يمكن زيادة سبيل المثال لا الحصر. عندما تتجاوز أحجام نانو الفجوة حوالي 50 نانومتر، وتيار الإزاحة بين عمود نانوي الاتحاد الافريقي يسقط بشكل كبير وغير قادر على تمرير من خلال نالشرج-الثغرات، مما أدى إلى اختفاء الردود الرنانة. وبالإضافة إلى ذلك، إذا كان حجم آل 2 يا 3 نانو الثغرات أقل من 2 نانومتر، والجهد الكهربائي ل Au ترسب تستطيع انهيار الجدار العازل (آل 2 يا 3 نانو الفجوات)، مما أدى إلى التوصيل بين عمود نانوي الاتحاد الافريقي و الحل الاتحاد الافريقي الكهربائي، الأمر الذي يؤدي إلى طبقة الاتحاد الافريقي الثانية مطلي على رأس عمود نانوي الاتحاد الافريقي (طبقة الذهبية الاولى). هذا الحد يؤدي إلى صعوبة تحقيق رقيقة جدا آل 2 يا 3 الثغرات دون كسر حاجز عازل بين عمود نانوي الاتحاد الافريقي. تم استخدام طريقة العناصر المحدودة (فيم) لمحاكاة الممثلين شبه الإقليميين (الشكل 3I و3K). ومن المعروف أن ثلاث قمم صدى في أطياف نقل كوضع الأول (1 ش)، ووضع الثانية (2 الثانية)، والنمط الثالث (3 الثالثة) من SRR. أطياف انتقال الممثلين شبه الإقليميين القائم على عمود نانوي مع 10 نانومتر آل <subتم قياس&gt; 2 O 3 الثغرات والفجوات 10 الهواء نانومتر باستخدام التحليل الطيفي THz للوقت المجال (الشكل 3J و3L). جميع الأطياف انتقال مدروس يتناسب مع معطياته، وهو ما يثبت أن الممثلين شبه الإقليميين القائم على عمود نانوي ملفقة تلبية تصميم المتوقع. مزيج من المعادن الأغشية الرقيقة مستمرة وعازلة الثغرات نانو النطاق توفر الهياكل لمزيد من تخزين الطاقة مقارنة مع الممثلين شبه الإقليميين القائم على الأفلام التقليدية، مما يؤدي إلى Q-العوامل فائقة من حوالي 450 (أكثر من 45 مرات أعلى من Q-عامل من الممثلين شبه الإقليميين على أساس الأغشية الرقيقة التقليدية) والتحولات تردد كبير (حوالي 17 مرة أكبر من التحول تردد من الممثلين شبه الإقليميين على أساس الأغشية الرقيقة). تقنية تصنيع فريدة من نوعها هو مبين في هذه المجلة الفيديو تسمح لتصنيع الآلاف من عمود نانوي تشكيل الممثلين شبه الإقليميين على مساحة واسعة. منذ تشكيل عمود نانوي الاتحاد الافريقي يزيد إلى حد كبير المناطق السطحية من الممثلين شبه الإقليميين وعدد من الثغرات نانو النطاق الرهانعمود نانوي الاتحاد الافريقي وين يعزز كمية تخزين الطاقة (الشحنات الكهربائية)، العوامل س فائقة يمكن أن يتحقق مما يؤدي إلى حساسية عالية. وبالإضافة إلى ذلك، يتم عرض المواد المطبقة على الممثلين شبه الإقليميين القائم على عمود نانوي داخل تساهم-الثغرات نانو للتغيرات السماحية للنانو الثغرات، مما أدى إلى تحولات التردد كبيرة من الممثلين شبه الإقليميين القائم على عمود نانوي، الأمر الذي يؤدي إلى الانتقائية العالية. وهكذا فإن الممثلين شبه الإقليميين القائم على عمود نانوي ملفقة باستخدام الاتحاد الافريقي الكهربائي وتقنيات محددة المدة مثالية للوحدات الاستشعار الجزيئية البيولوجية الكيميائية حادة للغاية و.

وقد وضعت تيراهيرتز (THZ) يتعلق بما وارء (MMS) لأجهزة الاستشعار الطبية الحيوية والأجهزة 1، 2، 3، 4، 5، 6، 7، 8، 9، 10، 11 التردد رشيقة. من أجل تحسين حساسية وتردد انتقائية THz للأجهزة الاستشعار MM، وقد تم تصميم القائم على عمود نانوي انقسام عصابة مرنان (SRR) باستخدام النزوح الحالية ولدت داخل الذهب (الاتحاد الافريقي) صفائف عمود نانوي لإثارة الأصداء THz للمع العوامل فائقة الجودة ( Q-العوامل) (~ 450) (الشكل 1) 12. على الرغم من الممثلين شبه الإقليميين القائم على عمود نانوي تظهر العالية العوامل س وقدرات الاستشعار واعدة، تلفيق مثل nanostructurوفاق مع نسب عالية (أكثر من 40) والثغرات نانو النطاق (دون 10 نانومتر) على مساحة واسعة لا تزال صعبة (13). هذه التقنية الأكثر استخداما لصنع هياكل نانو النطاق هي شعاع الإلكترون الطباعة الحجرية (EBL) 14، 15، 16، 17. ومع ذلك، فإن قرار EBL لا يزال محدودا نظرا لحجم شعاع بقعة، نثر الإلكترون، خصائص مقاومة، وعملية التنمية 18 و 19. وبالإضافة إلى ذلك، فإنه ليس من العملي لافتعال النانو باستخدام EBL على مساحة واسعة نظرا لوقت العملية بطيئة وتكاليف عملية كبيرة 20. استراتيجية أخرى لتحقيق النانو هو استخدام تقنية التجميع الذاتي 21 و 22. بواسطة nanocubes المعادن الذاتي تجميع (البلاغات) في حل وUTILتشغيلها على التفاعل كهرباء ورابطة بروابط البوليمر بين البلاغات، منظمة تنظيما جيدا مجموعة NC-الأبعاد واحد مع وجود ثغرات نانو النطاق يمكن أن يتحقق 23. حجم النانو الفجوة يعتمد على بروابط البوليمر بين البلاغات ويمكن التحكم من خلال تطبيق مواد البوليمر مختلفة مع مختلف الأوزان الجزيئية 24، 25، 26. هو التجميع الذاتي تقنية قوية لتحقيق النانو متدرجة وفعالة من حيث التكلفة 23. ومع ذلك، فإن عملية تصنيع أكثر تعقيدا بالمقارنة مع العمليات الصغيرة والمتناهية الصغر تلفيق التقليدية، والتحكم في أحجام نانو الفجوة ليست دقيقة بما فيه الكفاية لتطبيقات الأجهزة الإلكترونية. من أجل افتعال الممثلين شبه الإقليميين القائم على عمود نانوي بنجاح، يجب أن اخترع طريقة تلفيق رواية لتحقيق الأهداف التالية: أ) عملية تلفيق سهلة لتطبيق وغير متوافقة مع اتفاقيةالصغيرة والمتناهية الصغر تلفيق عمليات القاعدة، ب) تلفيق على مساحة واسعة للتطبيق. ج) الأحجام نانو الفجوة يمكن السيطرة عليها بسهولة، وعلى وجه التحديد مع قرار 0.1 نانومتر، ويمكن زيادتها الى 10 نانومتر أو أقل. ويتجلى أسلوب تلفيق رواية باستخدام مزيج من عملية الطلاء الكهربائي وعملية ذرية طبقة ترسب (محددة المدة) لافتعال الممثلين شبه الإقليميين القائم على عمود نانوي. منذ الكهربائي هو عملية ملء النفس مع انخفاض التكلفة، فمن السهل أن تصنيع الهياكل على مساحة واسعة. ALD هو عملية ترسيب الأبخرة الكيميائية (الأمراض القلبية الوعائية) والتي يمكن التحكم بدقة من قبل دورة رد فعل أثناء العملية. حل رقيقة محددة المدة يمكن أن يكون 0.1 نانومتر، ورقيقة وهي مغلفة بشكل موحد مع جودة عالية، والذي هو مناسبة لخلق نانو النطاق الثغرات 27 و 28. القائم على عمود نانوي مجموعة SRR مع 10 نانومتر الثغرات أو أقل يمكن أن تكون ملفقة بنجاح على مساحة 6 مم × 6 مم. كل من لياليتظهر imulated وقياس أطياف نقل THz للسلوكيات الرنانة مع Q-العوامل والتحولات تردد كبيرة عالية جدا، وهو ما يثبت جدوى من الممثلين شبه الإقليميين القائم على عمود نانوي بوساطة النزوح الحالية. يتم وصف عملية تصنيع مفصلة أدناه في قسم البروتوكول، وبروتوكول الفيديو يمكن أن تساعد الممارسين لفهم عملية التصنيع وتجنب الأخطاء الشائعة المرتبطة تلفيق من الممثلين شبه الإقليميين القائم على عمود نانوي.

<table border="0" cellpadding="0" cellspacing="0" width="1240">
	<colgroup>
		<col />
		<col />
		<col />
		<col />
	</colgroup>
	<tbody>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;width:311px;">Silicon Wafer</td>
			<td style="width:295px;">Siltronic AG</td>
			<td style="width:199px;">N/A</td>
			<td style="width:437px;">100mm diameter, N-type, one-side polish, resitivity: 560-840 &#937;&#8226;cm</td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;width:311px;">Chromium</td>
			<td style="width:295px;">Kurt J. Lesker Company</td>
			<td style="width:199px;">EVMCR35J</td>
			<td>99.95% pure</td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;width:311px;">Copper</td>
			<td style="width:295px;">Kurt J. Lesker Company</td>
			<td style="width:199px;">EVMCU40QXQJ</td>
			<td>99.99% pure</td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;width:311px;">E-Beam Evaporator System</td>
			<td style="width:295px;">Rocky Mountain Vacuum Tech.</td>
			<td style="width:199px;">N/A</td>
			<td>RME-2000</td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;width:311px;">S1813 Positive Photoresist</td>
			<td style="width:295px;">Microposit</td>
			<td style="width:199px;">10018348</td>
			<td>N/A</td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;width:311px;">Spinner</td>
			<td style="width:295px;">Best Tools</td>
			<td style="width:199px;">S0114031123</td>
			<td>SMART COATER 100</td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;width:311px;">Mask Aligner</td>
			<td style="width:295px;">Midas</td>
			<td style="width:199px;">MDA-400LJ</td>
			<td>N/A</td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;width:311px;">Digital Hot Plate</td>
			<td style="width:295px;">Thermo Scientific</td>
			<td style="width:199px;">HP131725</td>
			<td>Super-Nuvoa series, maximum temperature: 370 degree C</td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;width:311px;">MF319 Developer</td>
			<td style="width:295px;">Microposit</td>
			<td style="width:199px;">10018042</td>
			<td>N/A</td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;width:311px;">Acetone</td>
			<td style="width:295px;">Fisher Chemical</td>
			<td style="width:199px;">A18P-4</td>
			<td style="width:437px;">N/A</td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;width:311px;">Isopropyl Alcohol</td>
			<td style="width:295px;">Fisher Chemical</td>
			<td style="width:199px;">A416-4</td>
			<td>N/A</td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;width:311px;">Gold 25 ES RTU</td>
			<td style="width:295px;">Technic Inc.</td>
			<td style="width:199px;">391427</td>
			<td>N/A</td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;width:311px;">Source Meter</td>
			<td style="width:295px;">Keithley</td>
			<td style="width:199px;">N/A</td>
			<td>2612 System SourceMeter</td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;width:311px;">Microscope</td>
			<td style="width:295px;">Omax</td>
			<td style="width:199px;">NJF-120A</td>
			<td>N/A</td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;width:311px;">Profilometer</td>
			<td style="width:295px;">Tencor Instruments</td>
			<td style="width:199px;">N/A</td>
			<td>Alpha-Step 200</td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;width:311px;">APS Copper Etchant 100</td>
			<td style="width:295px;">Transfene Company, Inc.</td>
			<td style="width:199px;">N/A</td>
			<td>N/A</td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;width:311px;">CE-5 M Chromium Mask Etchant</td>
			<td style="width:295px;">Transfene Company, Inc.</td>
			<td style="width:199px;">N/A</td>
			<td>N/A</td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;width:311px;">Atomic Layer Deposition System</td>
			<td style="width:295px;">Cambridge Nano Tech inc.</td>
			<td style="width:199px;">N/A</td>
			<td>Savannah series</td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;width:311px;">Ion Mill Etching System</td>
			<td style="width:295px;">Intlvac Thin Film</td>
			<td style="width:199px;">N/A</td>
			<td>Nanoquest series</td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;width:311px;">Ultrasonic Cleaner</td>
			<td style="width:295px;">Crest Ultrasonics</td>
			<td style="width:199px;">N/A</td>
			<td>Powersonic series</td>
		</tr>
		<tr height="21">
			<td height="21" style="height:21px;width:311px;">Hydrofluoric Acid</td>
			<td style="width:295px;">Sigma-Aldrich</td>
			<td style="width:199px;">244279</td>
			<td>Diluted to 5%</td>
		</tr>
		<tr height="42">
			<td height="42" style="height:42px;width:311px;">Field Emission Gun Scanning Electron Microscope</td>
			<td style="width:295px;">Jeol Ltd.</td>
			<td style="width:199px;">N/A</td>
			<td>JEOL 6700 series</td>
		</tr>
	</tbody>
</table>

fabrication of nanopillar-based split ring resonators for displacement current mediated resonances in terahertz metamaterials

تيراهيرتز (THZ) انقسام عصابة مرنان (SRR) يتعلق بما وارء (MMS) وقد درس للغاز، والكيميائية، وتطبيقات الاستشعار البيولوجية الجزيئية للا يتأثر SRR حسب الخصائص البيئية مثل درجة الحرارة والضغط المحيطة مرنان. الإشعاع الكهرومغناطيسي في الترددات THz للهو حيويا، وهو حالة حرجة خاصة لتطبيق الاستشعار الجزيئية البيولوجية. ومع ذلك، فإن عامل الجودة (Q-عامل) والاستجابات تردد من الأغشية الرقيقة التقليدية القائمة مرنان انقسام حلقة (SRR) رسائل الوسائط المتعددة منخفضة جدا، مما يحد من الحساسيات والانتقائية أجهزة الاستشعار. في هذا العمل، والرواية الطبيون SRR القائم على عمود نانوي، وذلك باستخدام النزوح الحالية، تهدف إلى تعزيز Q-عامل يصل إلى 450، وهو أعلى بحوالي 45 مرة من أن من الرسائل المتعددة الوسائط التقليدية القائمة الأغشية الرقيقة. بالإضافة إلى تعزيز Q-عامل، رسائل الوسائط المتعددة القائمة على عمود نانوي لحث على التحولات تردد أكبر (17 مرات مقابل التحول التي حصلت عليها التقليدآل الطبيون على أساس الأغشية الرقيقة). بسبب تعزز إلى حد كبير Q-العوامل والتحولات تردد فضلا عن خاصية الإشعاع حيويا، وTHz للSRR القائم على عمود نانوي هم الطبيون مثالية لتطوير أجهزة الاستشعار البيولوجية الجزيئية مع حساسية عالية والانتقائية دون إحداث ضرر أو تشويه لالحيوية. وقد تجلى عملية تلفيق جديدة لبناء الممثلين شبه الإقليميين القائم على عمود نانوي لالطبيون THz للالنزوح الحالية التي تتوسط فيها. وتستخدم (الاتحاد الافريقي) عملية الطلاء الكهربائي من خطوتين الذهب وعملية الذري طبقة ترسب (محددة المدة) لإنشاء الثغرات 10 الفرعي نانومتر واسعة النطاق بين عمود نانوي الاتحاد الافريقي. منذ عملية محددة المدة هي عملية طلاء امتثالي، أكسيد الألومنيوم موحد (آل 2 يا 3) طبقة بسماكة نانومتر النطاق يمكن تحقيقه. بواسطة الكهربائي بالتتابع رقيقة الاتحاد الافريقي آخر لملء الفراغات بين آل 2 يا 3 والاتحاد الافريقي، ومعبأة قريبة الاتحاد الافريقي آل 2 يا 3 -Au هيكل مع نانو النطاق آل 2 يا 3 ثغرات يمكن أن يكونملفقة. حجم النانو ثغرات يمكن تعريف بشكل جيد عن طريق التحكم بدقة دورات ترسب عملية محددة المدة، التي لديها دقة 0.1 نانومتر.

<html> تظهر مخططات تصنيع كل خطوة (الشكل 2A-خ). وقد تم جمع الصور الضوئية (الشكل 2Y-ميلان) والمجهر الإلكتروني الماسح (SEM) وصور (الشكل 2ad-AG) للالممثلين شبه الإقليميين القائم على عمود نانوي في خطوات تصنيع مختلفة. الرسوم المتحركة (الشكل 2A-ج) توضح الطبقة الأولى من عمود نانوي الاتحاد الافريقي مطلي والطبقة الثانية من الأفلام الاتحاد الافريقي مطلي فضلا عن الثغرات-نانو خلق بينهما. ويبين الشكل 2D مخطط المقطع العرضي من الممثلين شبه الإقليميين القائم على عمود نانوي مع كل من آل 2 يا 3 نانو الثغرات والفجوات نانو الهواء. وقد تم جمع الصور ووزارة شؤون المرأة لمجموعة SRR ومقياس النانو الفجوات القائمة على عمود نانوي بين عمود نانوي الاتحاد الافريقي (الشكل 2AF، 2ag، 3E-ح). عرضت كل من محاكاة وقياس أطياف انتقال من العينات مع آل 2 يا 3 نانو الثغرات والفجوات نانو الهواء (الشكل 3I-L). <html> jove_content &quot;FO: المحافظة على together.within الصفحات =&quot; 1 &quot;&gt; <img alt="شكل 1" src="/files/ftp_upload/55289/55289fig1.jpg" /> الشكل 1: مثال على الممثلين شبه الإقليميين القائم على عمود نانوي بوساطة النزوح الحالية. (أ، ب) الإزاحة التيار (I د) يتسبب بين اثنين من لوحات معدنية واثنين عمود نانوي من الحقول الكهربائية E. (ج) رسم تخطيطي للالممثلين شبه الإقليميين القائم على عمود نانوي يحددها آلاف عمود نانوي الاتحاد الافريقي (H: ارتفاع عمود نانوي، A: تواجه المجال؛ د: نانو حجم الفجوة؛ ل: عرض عمود نانوي وε: السماحية في النانو الثغرات) . (د) Q-عامل SRR القائم الأغشية الرقيقة وSRR القائم على عمود نانوي. وQ-عامل من نحو 450 يمكن أن يتحقق مع SRR القائم على عمود نانوي بحجم النانو الفجوة من 10 نانومتر. ويتم تكييف هذا الرقم بإذن من المواد المتقدمة بصري 12.<html> ig1large.jpg &quot;الهدف =&quot; _ فارغة &quot;&gt; الرجاء انقر هنا لعرض نسخة أكبر من هذا الرقم. <img alt="الشكل 2" src="/files/ftp_upload/55289/55289fig2.jpg" /> الشكل 2: خطط تصنيع الممثلين شبه الإقليميين القائم على عمود نانوي. (أ - ر) 3D الرسوم المتحركة والمقطع العرضي الخطط من عملية تصنيع الممثلين شبه الإقليميين القائم على عمود نانوي. (ص - ميلان) الصور الضوئية من الممثلين شبه الإقليميين القائم على عمود نانوي في خطوات تصنيع مختلفة. (إعلان - AG) الصور SEM من الممثلين شبه الإقليميين القائم على عمود نانوي في خطوات تصنيع مختلفة فضلا عن 5 نانومتر آل 2 يا 3 الثغرات (AG). ويتم تكييف هذا الرقم بإذن من المواد المتقدمة بصري 12. <a href="https://ecsource-jove-com.remotexs.ntu.edu.sg/files/ftp_upload/55289/55289fig2large.jpg" target="_blank">الرجاء انقر هنا لعرض نسخة أكبر من هذا الرقم.</a> FO: المحافظة على together.within الصفحات = &quot;1&quot;&gt; <img alt="الشكل (3)" src="/files/ftp_upload/55289/55289fig3.jpg" /> الشكل (3):، توصيف من الممثلين شبه الإقليميين القائم على عمود نانوي. (أ - د) مخططات تصنيع الممثلين شبه الإقليميين القائم على عمود نانوي. (ه - ح) الصور SEM من الممثلين شبه الإقليميين القائم على عمود نانوي. (ط) محاكاة الأطياف انتقال آل 2 يا 3 نانو الفجوة الممثلين شبه الإقليميين القائم على عمود نانوي. (ي) بقياس أطياف انتقال آل 2 يا 3 نانو الفجوة الممثلين شبه الإقليميين القائم على عمود نانوي. (ك) محاكاة الأطياف انتقال من الممثلين شبه الإقليميين القائم على عمود نانوي الهواء نانو الفجوة. (ل) بقياس أطياف انتقال من الممثلين شبه الإقليميين القائم على عمود نانوي الهواء نانو الفجوة. ويتم تكييف هذا الرقم بإذن من المواد المتقدمة بصري 12. <a href="https://ecsource-jove-com.remotexs.ntu.edu.sg/files/ftp_upload/55289/55289fig3large.jpg" target="_blank">الرجاء انقر هنا لعرض نسخة أكبر من هذا الرقم. &lt;</a>/ أ&gt;

Watch this Scientific Journal Video about Fabrication of Nanopillar-Based Split Ring Resonators for Displacement Current Mediated Resonances in Terahertz Metamaterials at JoVE.com

Fabrication of Nanopillar-Based Split Ring Resonators for Displacement Current Mediated Resonances in Terahertz Metamaterials

ويرد بروتوكول لتصميم وتصنيع القائم على عمود نانوي رواية انقسام عصابة مرنان (SRR).

تصنيع حزام تقسيم دوائر الرنين عمود نانوي القائم على النزوح الحالي الرنين وساطة في تيراهيرتز يتعلق بما وارء

Terahertz (THz) split ring resonator (SRR) metamaterials (MMs) has been studied for gas, chemical, and biomolecular sensing applications because the SRR ...

fabrication-nanopillar-based-split-ring-resonators-for-displacement

Nanyang Technological University

Research

Education

JoVE Core

JoVE Journal

Physics

Engineering

Unit 1

Electromagnetic Induction

SCIENTISTS IN ACTION

7.7K Views.  University of Minnesota.  ويرد بروتوكول لتصميم وتصنيع القائم على عمود نانوي رواية انقسام عصابة مرنان (SRR). 

Video: Fabrication of Nanopillar-Based Split Ring Resonators for Displacement Current Mediated Resonances in Terahertz Metamaterials

Fabricating Metamaterials Using the Fiber Drawing Method

Metamaterials are man-made composite materials, fabricated by assembling components much smaller than the wavelength at which they operate 1. They owe their electromagnetic properties to the structure of their constituents, instead of the atoms that compose them. For example, sub-wavelength metal wires can be arranged to possess an effective electric permittivity that is either positive or negative at a given frequency, in contrast to the metals themselves 2. This unprecedented control over the behaviour of light can potentially lead to a number of novel devices, such as invisibility cloaks 3, negative refractive index materials 4, and lenses that resolve objects below the diffraction limit 5. However, metamaterials operating at optical, mid-infrared and terahertz frequencies are conventionally made using nano- and micro-fabrication techniques that are expensive and produce samples that are at most a few centimetres in size 6-7. Here we present a fabrication method to produce hundreds of meters of metal wire metamaterials in fiber form, which exhibit a terahertz plasmonic response 8. We combine the stack-and-draw technique used to produce microstructured polymer optical fiber 9 with the Taylor-wire process 10, using indium wires inside polymethylmethacrylate (PMMA) tubes. PMMA is chosen because it is an easy to handle, drawable dielectric with suitable optical properties in the terahertz region; indium because it has a melting temperature of 156.6 &deg;C which is appropriate for codrawing with PMMA. We include an indium wire of 1 mm diameter and 99.99% purity in a PMMA tube with 1 mm inner diameter (ID) and 12 mm outside diameter (OD) which is sealed at one end. The tube is evacuated and drawn down to an outer diameter of 1.2 mm. The resulting fiber is then cut into smaller pieces, and stacked into a larger PMMA tube. This stack is sealed at one end and fed into a furnace while being rapidly drawn, reducing the diameter of the structure by a factor of 10, and increasing the length by a factor of 100. Such fibers possess features on the micro- and nano- scale, are inherently flexible, mass-producible, and can be woven to exhibit electromagnetic properties that are not found in nature. They represent a promising platform for a number of novel devices from terahertz to optical frequencies, such as invisible fibers, woven negative refractive index cloths, and super-resolving lenses.

Metamaterials at terahertz frequencies offer unique opportunities, but are challenging to fabricate in bulk. We adapt the fabrication procedure for microstructured polymer optical fibers to inexpensively fabricate metamaterials potentially on an industrial scale. We produce polymethylmethacrylate fibers containing ~10 &mu;m diameter indium wires separated by ~100 &mu;m, which exhibit a terahertz plasmonic response.

افتعال يتعلق بما وارء باستخدام أسلوب الرسم الألياف

Metamaterials are man-made composite materials, fabricated by assembling components much smaller than the wavelength at which they operate 1. They owe ...

Terahertz Microfluidic Sensing Using a Parallel-plate Waveguide Sensor

Refractive index (RI) sensing is a powerful noninvasive and label-free sensing technique for the identification, detection and monitoring of microfluidic samples with a wide range of possible sensor designs such as interferometers and resonators 1,2. Most of the existing RI sensing applications focus on biological materials in aqueous solutions in visible and IR frequencies, such as DNA hybridization and genome sequencing. At terahertz frequencies, applications include quality control, monitoring of industrial processes and sensing and detection applications involving nonpolar materials.
Several potential designs for refractive index sensors in the terahertz regime exist, including photonic crystal waveguides 3, asymmetric split-ring resonators 4, and photonic band gap structures integrated into parallel-plate waveguides 5. Many of these designs are based on optical resonators such as rings or cavities. The resonant frequencies of these structures are dependent on the refractive index of the material in or around the resonator. By monitoring the shifts in resonant frequency the refractive index of a sample can be accurately measured and this in turn can be used to identify a material, monitor contamination or dilution, etc.
The sensor design we use here is based on a simple parallel-plate waveguide 6,7. A rectangular groove machined into one face acts as a resonant cavity (Figures 1 and 2). When terahertz radiation is coupled into the waveguide and propagates in the lowest-order transverse-electric (TE1) mode, the result is a single strong resonant feature with a tunable resonant frequency that is dependent on the geometry of the groove 6,8. This groove can be filled with nonpolar liquid microfluidic samples which cause a shift in the observed resonant frequency that depends on the amount of liquid in the groove and its refractive index 9.
Our technique has an advantage over other terahertz techniques in its simplicity, both in fabrication and implementation, since the procedure can be accomplished with standard laboratory equipment without the need for a clean room or any special fabrication or experimental techniques. It can also be easily expanded to multichannel operation by the incorporation of multiple grooves 10. In this video we will describe our complete experimental procedure, from the design of the sensor to the data analysis and determination of the sample refractive index.

The procedure for implementing a refractive index sensor for terahertz frequencies based on a grooved parallel-plate waveguide geometry is described here. The method yields a measurement of the refractive index of a small volume of liquid through monitoring of the shift in the resonant frequency of the waveguide structure

تيراهيرتز الاستشعار ميكروفلويديك باستخدام الاستشعار الدليل الموجي الموازي لوحة

Refractive index (RI) sensing is a powerful noninvasive and label-free sensing technique for the identification, detection and monitoring of microfluidic ...

Design, Fabrication, and Experimental Characterization of Plasmonic Photoconductive Terahertz Emitters

In this video article we present a detailed demonstration of a highly efficient method for generating terahertz waves. Our technique is based on photoconduction, which has been one of the most commonly used techniques for terahertz generation 1-8. Terahertz generation in a photoconductive emitter is achieved by pumping an ultrafast photoconductor with a pulsed or heterodyned laser illumination. The induced photocurrent, which follows the envelope of the pump laser, is routed to a terahertz radiating antenna connected to the photoconductor contact electrodes to generate terahertz radiation. Although the quantum efficiency of a photoconductive emitter can theoretically reach 100%, the relatively long transport path lengths of photo-generated carriers to the contact electrodes of conventional photoconductors have severely limited their quantum efficiency. Additionally, the carrier screening effect and thermal breakdown strictly limit the maximum output power of conventional photoconductive terahertz sources. To address the quantum efficiency limitations of conventional photoconductive terahertz emitters, we have developed a new photoconductive emitter concept which incorporates a plasmonic contact electrode configuration to offer high quantum-efficiency and ultrafast operation simultaneously. By using nano-scale plasmonic contact electrodes, we significantly reduce the average photo-generated carrier transport path to photoconductor contact electrodes compared to conventional photoconductors 9. Our method also allows increasing photoconductor active area without a considerable increase in the capacitive loading to the antenna, boosting the maximum terahertz radiation power by preventing the carrier screening effect and thermal breakdown at high optical pump powers. By incorporating plasmonic contact electrodes, we demonstrate enhancing the optical-to-terahertz power conversion efficiency of a conventional photoconductive terahertz emitter by a factor of 50 10.

We describe methods for the design, fabrication, and experimental characterization of plasmonic photoconductive emitters, which offer two orders of magnitude higher terahertz power levels compared to conventional photoconductive emitters.

تصميم وتصنيع، والتجريبية توصيف Plasmonic بواعث تيراهيرتز موصل كهربائي بفعل الضوء

In this video article we present a detailed demonstration of a highly efficient method for generating terahertz waves. Our technique is based on ...

Evaluating Plasmonic Transport in Current-carrying Silver Nanowires

Plasmonics is an emerging technology capable of simultaneously transporting a plasmonic signal and an electronic signal on the same information support1,2,3. In this context, metal nanowires are especially desirable for realizing dense routing networks4. A prerequisite to operate such shared nanowire-based platform relies on our ability to electrically contact individual metal nanowires and efficiently excite surface plasmon polaritons5 in this information support. In this article, we describe a protocol to bring electrical terminals to chemically-synthesized silver nanowires6 randomly distributed on a glass substrate7. The positions of the nanowire ends with respect to predefined landmarks are precisely located using standard optical transmission microscopy before encapsulation in an electron-sensitive resist. Trenches representing the electrode layout are subsequently designed by electron-beam lithography. Metal electrodes are then fabricated by thermally evaporating a Cr/Au layer followed by a chemical lift-off. The contacted silver nanowires are finally transferred to a leakage radiation microscope for surface plasmon excitation and characterization8,9. Surface plasmons are launched in the nanowires by focusing a near infrared laser beam on a diffraction-limited spot overlapping one nanowire extremity5,9. For sufficiently large nanowires, the surface plasmon mode leaks into the glass substrate9,10. This leakage radiation is readily detected, imaged, and analyzed in the different conjugate planes in leakage radiation microscopy9,11. The electrical terminals do not affect the plasmon propagation. However, a current-induced morphological deterioration of the nanowire drastically degrades the flow of surface plasmons. The combination of surface plasmon leakage radiation microscopy with a simultaneous analysis of the nanowire electrical transport characteristics reveals the intrinsic limitations of such plasmonic circuitry.

Silver nanowires can simultaneously transport electrons and optical information in the form of surface plasmons. A procedure is described here to realize such a shared circuitry and the limitations at propagating both information carriers are evaluated.

تقييم النقل Plasmonic في سيلفر الحالية الحاملة الأسلاك المتناهية الصغر

Plasmonics is an emerging technology capable of simultaneously transporting a plasmonic signal and an electronic signal on the same information ...

Fabrication and Characterization of Superconducting Resonators

Superconducting microwave resonators are of interest for a wide range of applications, including for their use as microwave kinetic inductance detectors (MKIDs) for the detection of faint astrophysical signatures, as well as for quantum computing applications and materials characterization. In this paper, procedures are presented for the fabrication and characterization of thin-film superconducting microwave resonators. The fabrication methodology allows for the realization of superconducting transmission-line resonators with features on both sides of an atomically smooth single-crystal silicon dielectric. This work describes the procedure for the installation of resonator devices into a cryogenic microwave testbed and for cool-down below the superconducting transition temperature. The set-up of the cryogenic microwave testbed allows one to do careful measurements of the complex microwave transmission of these resonator devices, enabling the extraction of the properties of the superconducting lines and dielectric substrate (e.g., internal quality factors, loss and kinetic inductance fractions), which are important for device design and performance.

Superconducting microwave resonators are of interest for detection of light, quantum computing applications and materials characterization. This work presents a detailed procedure for fabrication and characterization of superconducting microwave resonator scattering parameters.

تصنيع وتوصيف الموصلية الرنين

Superconducting microwave resonators are of interest for a wide range of applications, including for their use as microwave kinetic inductance detectors ...

Colloidal Synthesis of Nanopatch Antennas for Applications in Plasmonics and Nanophotonics

We present a method for colloidal synthesis of silver nanocubes and the use of these in combination with a smooth gold film, to fabricate plasmonic nanoscale patch antennas. This includes a detailed procedure for the fabrication of thin films with a well-controlled thickness over macroscopic areas using layer-by-layer deposition of polyelectrolyte polymers, namely poly(allylamine) hydrochloride (PAH) and polystyrene sulfonate (PSS). These polyelectrolyte spacer layers serve as a dielectric gap in between silver nanocubes and a gold film. By controlling the size of the nanocubes or the gap thickness, the plasmon resonance can be tuned from about 500 nm to 700 nm. Next, we demonstrate how to incorporate organic sulfo-cyanine5 carboxylic acid (Cy5) dye molecules into the dielectric polymer gap region of the nanopatch antennas. Finally, we show greatly enhanced fluorescence of the Cy5 dyes by spectrally matching the plasmon resonance with the excitation energy and the Cy5 absorption peak. The method presented here enables the fabrication of plasmonic nanopatch antennas with well-controlled dimensions utilizing colloidal synthesis and a layer-by-layer dip-coating process with the potential for low cost and large-scale production. These nanopatch antennas hold great promise for practical applications, for example in sensing, ultrafast optoelectronic devices and for high-efficiency photodetectors.

A protocol for the colloidal synthesis of silver nanocubes and fabrication of plasmonic nanoscale patch antennas with sub-10 nm gaps is presented.

الغروية توليف Nanopatch هوائيات للتطبيقات في Plasmonics وبصريات النانو

We present a method for colloidal synthesis of silver nanocubes and the use of these in combination with a smooth gold film, to fabricate plasmonic ...

Stimulated Stokes and Antistokes Raman Scattering in Microspherical Whispering Gallery Mode Resonators

Dielectric microspheres can confine light and sound for a length of time through high quality factor whispering gallery modes (WGM). Glass microspheres can be thought as a store of energy with a huge variety of applications: compact laser sources, highly sensitive biochemical sensors and nonlinear phenomena. A protocol for the fabrication of both the microspheres and coupling system is given. The couplers described here are tapered fibers. Efficient generation of nonlinear phenomena related to third order optical non-linear susceptibility &#935;(3) interactions in triply resonant silica microspheres is presented in this paper. The interactions here reported are: Stimulated Raman Scattering (SRS), and four wave mixing processes comprising Stimulated Anti-stokes Raman Scattering (SARS). A proof of the cavity-enhanced phenomenon is given by the lack of correlation among the pump, signal and idler: a resonant mode has to exist in order to obtain the pair of signal and idler. In the case of hyperparametric oscillations (four wave mixing and stimulated anti-stokes Raman scattering), the modes must fulfill the energy and momentum conservation and, last but not least, have a good spatial overlap.

Efficient generation of nonlinear phenomena related to third order optical non-linear susceptibility &#935;(3) interactions in triply resonant silica microspheres is presented in this paper. The interactions here reported are: Stimulated Raman Scattering (SRS), and four wave mixing processes comprising Stimulated Anti-stokes Raman Scattering (SARS).

حفز ستوكس وAntistokes رامان التشتت في Microspherical يهمس معرض الوضع الرنين

Dielectric microspheres can confine light and sound for a length of time through high quality factor whispering gallery modes (WGM). Glass microspheres ...

Measurement of Quantum Interference in a Silicon Ring Resonator Photon Source

Silicon photonic chips have the potential to realize complex integrated quantum information processing circuits, including photon sources, qubit manipulation, and integrated single-photon detectors. Here, we present the key aspects of preparing and testing a silicon photonic quantum chip with an integrated photon source and two-photon interferometer. The most important aspect of an integrated quantum circuit is minimizing loss so that all of the generated photons are detected with the highest possible fidelity. Here, we describe how to perform low-loss edge coupling by using an ultra-high numerical aperture fiber to closely match the mode of the silicon waveguides. By using an optimized fusion splicing recipe, the UHNA fiber is seamlessly interfaced with a standard single-mode fiber. This low-loss coupling allows the measurement of high-fidelity photon production in an integrated silicon ring resonator and the subsequent two-photon interference of the produced photons in a closely integrated Mach-Zehnder interferometer. This paper describes the essential procedures for the preparation and characterization of high-performance and scalable silicon quantum photonic circuits.

Silicon photonic chips have the potential to realize complex integrated quantum systems. Presented here is a method for preparing and testing a silicon photonic chip for quantum measurements.

قياس الكم التدخل في المصدر السيليكون الدائري الرنان فوتون

Silicon photonic chips have the potential to realize complex integrated quantum information processing circuits, including photon sources, qubit ...

Fabrication of Polymer Microspheres for Optical Resonator and Laser Applications

This paper describes three methods of preparing fluorescent microspheres comprising &#960;-conjugated or non-conjugated polymers: vapor diffusion, interface precipitation, and mini-emulsion. In all methods, well-defined, micrometer-sized spheres are obtained from a self-assembling process in solution. The vapor diffusion method can result in spheres with the highest sphericity and surface smoothness, yet the types of the polymers able to form these spheres are limited. On the other hand, in the mini-emulsion method, microspheres can be made from various types of polymers, even from highly crystalline polymers with coplanar, &#960;-conjugated backbones. The photoluminescent (PL) properties from single isolated microspheres are unusual: the PL is confined inside the spheres, propagates at the circumference of the spheres via the total internal reflection at the polymer/air interface, and self-interferes to show sharp and periodic resonant PL lines. These resonating modes are so-called "whispering gallery modes" (WGMs). This work demonstrates how to measure WGM PL from single isolated spheres using the micro-photoluminescence (&#181;-PL) technique. In this technique, a focused laser beam irradiates a single microsphere, and the luminescence is detected by a spectrometer. A micromanipulation technique is then used to connect the microspheres one by one and to demonstrate the intersphere PL propagation and color conversion from coupled microspheres upon excitation at the perimeter of one sphere and detection of PL from the other microsphere. These techniques, &#181;-PL and micromanipulation, are useful for experiments on micro-optic application using polymer materials.

Protocols for the synthesis of microspheres from polymers, the manipulation of microspheres, and micro-photoluminescence measurements are presented.

تصنيع المجهرية البوليمر لمرنان البصرية وتطبيقات الليزر

This paper describes three methods of preparing fluorescent microspheres comprising &#960;-conjugated or non-conjugated polymers: vapor diffusion, ...

Fabrication of Ultra-thin Color Films with Highly Absorbing Media Using Oblique Angle Deposition

Ultra-thin film structures have been studied extensively for use as optical coatings, but performance and fabrication challenges remain.&#160; We present an advanced method for fabricating ultra-thin color films with improved characteristics. The proposed process addresses several fabrication issues, including large area processing. Specifically, the protocol describes a process for fabricating ultra-thin color films using an electron beam evaporator for oblique angle deposition of germanium (Ge) and gold (Au) on silicon (Si) substrates.&#160; Film porosity produced by the oblique angle deposition induces color changes in the ultra-thin film. The degree of color change depends on factors such as deposition angle and film thickness. Fabricated samples of the ultra-thin color films showed improved color tunability and color purity. In addition, the measured reflectance of the fabricated samples was converted into chromatic values and analyzed in terms of color. Our ultra-thin film fabricating method is expected to be used for various ultra-thin film applications such as flexible color electrodes, thin film solar cells, and optical filters. Also, the process developed here for analyzing the color of the fabricated samples is broadly useful for studying various color structures.

We present a detailed method for fabricating ultra-thin color films with improved characteristics for optical coatings. The oblique angle deposition technique using an electron beam evaporator allows improved color tunability and purity. Fabricated films of Ge and Au on Si substrates were analyzed by reflectance measurements and color information conversion.

تصنيع الأفلام اللون رقيقة جداً مع الغاية استيعاب وسائل الإعلام استخدام الترسيب زاوية مائلة

Ultra-thin film structures have been studied extensively for use as optical coatings, but performance and fabrication challenges remain.&#160; We present ...